一种硅晶棒搬运夹具制造技术

本实用新型专利技术一种硅晶棒搬运夹具，包括盖板，气动马达，安装板，横梁，丝杠导轨滑组，夹紧板，聚氨酯块，软托板，气缸支架，气缸组件，软限位。气动马达通过螺丝紧固于安装板上。丝杠导轨滑组中丝杆两端设置有轴承，安装在安装板上，丝杆右端与气动马达通过平键连接，导轨通过螺丝紧固于横梁上。两个气缸支架分别通过螺丝紧固于一个螺母和两块滑块上，气缸组件安装于气缸支架上，气缸组件的气缸活塞杆通过接头与夹紧板紧固连接，软限位通过螺丝紧固于气缸支架上。两个夹紧板分别通过螺丝紧固于两块滑块上，聚氨酯块通过螺丝紧固于夹紧板上，软托板通过螺丝紧固于夹紧板上。适合搬运不同长度的硅晶棒，并使其在搬运过程中，表面不会有任何划痕。何划痕。何划痕。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶棒搬运夹具


[0001]本技术涉及一种硅晶棒搬运夹具，尤其在半导体工业中尤为突出。

技术介绍

[0002]目前，在一些硅晶棒加工车间，粗加工转精加工时，需要将不同长度的硅晶棒搬运至同一加工工作台，而这些硅晶棒最短的与最长的相差很大，同时由于对产品要求的特殊性即表面不允许有任何痕迹，此时吸盘、磁铁类的夹具将不能满足搬运的需要。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本技术提供的技术方案是一种硅晶棒搬运夹具。
[0004]本技术包括有盖板1，气动马达2，安装板3，横梁4，丝杠导轨滑组5，夹紧板6，聚氨酯块7，软托板8，气缸支架9，气缸组件10，软限位11，其中丝杠导轨滑组5包含两条导轨5
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1，八块滑块5
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2，两个螺母5
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3，一根丝杆5
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4。所述安装板3和横梁4通过螺丝紧固于盖板1上。气动马达2通过螺丝紧固于安装板3上。丝杠导轨滑组5中丝杆5
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4两端设置有轴承，安装在安装板3上，丝杆5
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4右端与气动马达2通过平键连接，导轨5
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1通过螺丝紧固于横梁4上。两个气缸支架9分别通过螺丝紧固于一个螺母5
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3和两块滑块5
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2上，气缸组件10安装于气缸支架9上，气缸组件10的气缸活塞杆通过接头与夹紧板6紧固连接，软限位11通过螺丝紧固于气缸支架9上。两个夹紧板6分别通过螺丝紧固于两块滑块5
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2上，聚氨酯块7通过螺丝紧固于夹紧板6上，软托板8通过螺丝紧固于夹紧板6上。
[0005]优选的，所述的横梁4上设置有双向刻度尺，方便操作人员确定夹板间距离与物料的长度是否相互匹配。
[0006]优选的，所述的气缸组件10的接头为浮动接头，可以有效地吸收气缸与导轨间的偏心。
[0007]优选的，所述丝杆5
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4为正反扣丝杆。
[0008]本技术的有益效果是，通过丝杠传动使得夹紧板的距离可以大范围调节，节省了夹紧气缸的安装距离，夹取硅晶棒两端面而不接触硅晶棒表面，以适合搬运不同长度的硅晶棒，并使其在搬运过程中，表面不会有任何划痕。
附图说明
[0009]图1为本技术实施例的整体结构示意图。
[0010]图2为本技术实施例的丝杠导轨滑组结构示意图。
[0011]图1中：1
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盖板，2
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气动马达，3
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安装板，4
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横梁，5
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丝杠导轨滑组，6
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夹紧板，7
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聚氨酯块，8
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软托板，9
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气缸支架，10
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气缸组件，11
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软限位
[0012]图2中：5
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1导轨，5
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2滑块，5
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3螺母，5
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4丝杆
具体实施方式
[0013]下面结合附图和实施例对本技术优选的技术方案做进一步的说明。
[0014]实施例，见图1
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2所示：一种棒类物料的夹具，包括有盖板1，气动马达2，安装板3，横梁4，丝杠导轨滑组5，夹紧板6，聚氨酯块7，软托板8，气缸支架9，气缸组件10，软限位11，其中丝杠导轨滑组5包含两条导轨5
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1，八块滑块5
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2，两个螺母5
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3，一根丝杆5
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4。所述安装板3和横梁4通过螺丝紧固于盖板1上。气动马达2通过螺丝紧固于安装板3上。丝杠导轨滑组5中丝杆5
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4两端设置有轴承，安装在安装板3上，丝杆5
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4右端与气动马达2通过平键连接，导轨5
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1通过螺丝紧固于横梁4上。两个气缸支架9分别通过螺丝紧固于一个螺母5
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3和两块滑块5
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2上，气缸组件10安装于气缸支架9上，气缸组件10的气缸活塞杆通过接头与夹紧板6紧固连接，软限位11通过螺丝紧固于气缸支架9上。两个夹紧板6分别通过螺丝紧固于两块滑块5
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2上，聚氨酯块7通过螺丝紧固于夹紧板6上，软托板8通过螺丝紧固于夹紧板6上。
[0015]具体地，初始时，气动马达2和气缸组件10处于不工作状态，气缸组件10的气缸活塞杆处于伸出状态。需要夹取短棒时，操作控制按钮使气动马达2正向转动，在气动马达2的带动下，丝杆5
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4转动，带动两侧螺母5
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3相互靠近，在螺母5
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3的带动下，夹具两侧的气缸支架9、气缸组件10、夹紧板6相互靠近，配合横梁4上的刻度尺观察两侧夹紧板6之间的距离，在该距离与所要夹取的棒料长度相近时，停止气动马达2的工作。操作夹具去夹取棒料，当软限位11与棒料上表面接触时，操作按钮使气缸组件10工作气缸活塞杆缩回，在夹具两侧的气缸组件10的活塞杆的带动下，夹具两侧的夹紧板6同时夹紧棒料，聚氨酯块7与棒料两端面直接接触，防止棒料的划伤。若来料和工作台安放处棒料处于两端悬空状态，设置有软托板8将进行二次防护，若棒料突然掉落，可进行承托作用。若来料和工作台安放处棒料不处于两端悬空状态，则不设置软托板8。
[0016]当需要释放棒料时，操作按钮使气缸组件10工作气缸活塞杆伸出，在夹具两侧的气缸组件10的活塞杆的带动下，夹具两侧的夹紧板6同时松开棒料。
[0017]当需要夹取长棒料时，操作控制按钮使气动马达2反向转动，在气动马达2的带动下，丝杆5
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4转动，带动两侧螺母5
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3相互远离，在螺母5
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3的带动下，夹具两侧的气缸支架9、气缸组件10、夹紧板6相互远离，配合横梁4上的刻度尺观察两侧夹紧板6之间的距离，在该距离与所要夹取的棒料长度相近时，停止气动马达2的工作。
[0018]然后进行和夹取、释放短棒料的一样的操作。
[0019]以上所述，仅为本实施例较佳的具体实施方式，但本实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本实施例揭露的技术范围内，根据本实施例的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实施例的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅晶棒搬运夹具，其特征在于，包括：盖板，气动马达，安装板，横梁，丝杠导轨滑组，夹紧板，聚氨酯块，软托板，气缸支架，气缸组件，软限位，其中丝杠导轨滑组包含两条导轨，八块滑块，两个螺母，一根丝杆；所述安装板和横梁通过螺丝紧固于盖板上；气动马达通过螺丝紧固于安装板上；丝杠导轨滑组中丝杆两端设置有轴承，安装在安装板上，丝杆右端与气动马达通过平键连接，导轨通过螺丝紧固于横梁上；两个气缸支架分别通过螺丝紧固于一个螺母和两块滑块上，气缸组件安装于气缸...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆倩，王二伟，
申请(专利权)人：北京费索科技有限公司，
类型：新型
国别省市：