【技术实现步骤摘要】
一种显影液的温控装置
[0001]本技术涉及一种显影液的温控装置，同时还涉及使用该温控装置的温控方法。
技术介绍
[0002]在半导体芯片的生产过程中，需要使用显影液和光刻胶，而对显影液和光刻胶的温度有着非常严苛的要求，一般都是需要在23
±
0.1摄氏度；而目前的显影液的温控装置是在显影液供应管的前端直接设置了电加热装置，利用电加热装置对显影液供应管中的显影液进行加热，然后在利用显影液供应管外部的降温装置对显影液进行冷却，这种结构导致温度的调控灵敏度比较低，并且温度的调控也可能不准确，容易出现偏差，尤其是显影液的流速出现波动时，其温度调控的准确度就更低。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种显影液的温控装置，该温控装置可以更加准确的调节显影液的温度。
[0004]为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种显影液的温控装置，包括显影液供应管，所述温控装置还包括第一换热三通接头、第二换热三通接头和换热套管，所述第一换热三通接头上设置有相互连通的第一贯穿管口、第一连...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种显影液的温控装置，包括显影液供应管，其特征在于：所述温控装置还包括第一换热三通接头、第二换热三通接头和换热套管，所述第一换热三通接头上设置有相互连通的第一贯穿管口、第一连接管口和换热介质注入管口，所述第二换热三通接头上设置有相互连通的第二贯穿管口、第二连接管口和换热介质流出管口，所述换热套管套装在显影液供应管的外部一段，所述显影液供应管依次贯穿第一换热三通接头的第一贯穿管口和第一连接管口、第二换热三通接头上的第二连接管口和第二贯穿管口，所述显影液供应管与第一贯穿管口和第二贯穿管口之间密封配合；所述换热套管一端密封插装固定于第一换热三通接头的第一连接管口，另一端密封插装固定于第二换热三通接头的第二连接管口，所述换热介质注入管口上密封插装有换热介质供应管，所述换热介质流出管口密封插装有换热介质流出管，所述换热介质供应管和换热介质流出管分别连接对换热介质进行调温的调温换热装置。2.如权利要求1所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述第一贯穿管口的直径大于显影液供应管，所述第一贯穿管口上设置有台阶孔，台阶孔的底部安装有密封圈，所述台阶孔内螺纹安装有中空的压紧螺柱。3.如权利要求2所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述换热介质注入管口和换热介质流出管口的结构相同，所述换热介质注入管口上设置有连接螺口，所述连接螺口螺纹连接接插头的一端，所述接插头的另一端设置有阶梯孔且设置了外螺纹段，所述换热介质供应管的端部活动安装有第一压紧螺套，所述换热介质供应管插入所述阶梯孔内且所述第一压紧...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋磊，许愿，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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