含光刻胶的显影液的浓度调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，包括：显影机储罐；显影机储罐具有超纯水供应管路、原液（TMAH 25%）供应管路和标准液（TMAH 2.38%~2.58%）供应管路，各管路上分别设有流量计和阀门；显影机储罐还具有由出口管路、前管路、浓度测量管路、回流管路以及与浓度测量管路并联的浊度测量管路共同组成的循环管路，出口管路与显影机储罐底部的出液口相连接，在出口管路上设有取样泵；浓度测量管路上设有流量计和浓度计；浊度测量管路上设有浊度计。本实用新型专利技术可直接对显影液浓度进行管控，实时对回收的显影液浓度进行检查并管控，使显影液回收再生系统得到有效利用，大幅减少废液的产生和新显影液的投入。废液的产生和新显影液的投入。废液的产生和新显影液的投入。

【技术实现步骤摘要】
含光刻胶的显影液的浓度调节装置


[0001]本技术属于TFT-LCD光刻
，具体涉及一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置。

技术介绍

[0002]液晶面板生产工厂适用碱性溶液四甲基氢氧化铵（Tetra-methyl ammonium hydroxide，TMAH)，此碱性溶液在显影过程中，起溶解光刻胶的作用。
[0003]实际显影工程上显影液使用方式有喷射方式浸渍渗透方式，随着面板大型化，光刻胶的浓度和碳酸盐浓度也跟着引起重视。
[0004]在显影过程中，两种方式都会与大气接触，显影液与空气接触后会吸收空气中的(CO2)气体生成碳酸盐(CO
32-)，而碳酸盐(CO
32-)会降低TMAH的浓度；浓度降低的TMAH会对光刻胶的溶解性能降低，会导致面板的线宽会变粗，如果将浓度降低的显影液当做废液处理，由于废液量大，处理的成本会增加，同时因需要补充新液造成制造成本增加。
[0005]为了调节显影液浓度需对显影液浓度进行实时测量，显影液里含光刻胶或者碳酸盐时，TMAH的浓度只能通过中和滴定法进行测量。但是，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，主要包括：显影机储罐（1）；所述显影机储罐（1）具有超纯水供应管路（L9）、原液供应管路（L10）和标准液供应管路（L11）；所述超纯水供应管路（L9）上设有第二流量计（4b）和第一阀门（S6），所述原液供应管路（L10）上设有第三流量计（4c）和第二阀门（S7），所述标准液供应管路（L11）上设有第四流量计（4d）和第四阀门（S9）；所述显影机储罐（1）还具有由出口管路（L1）、前管路（L2）、浓度测量管路（L3）、回流管路（L5）以及与所述浓度测量管路（L3）并联的浊度测量管路（L4）共同组成的循环管路（L1～L5），所述出口管路（L1）与所述显影机储罐（1）底部的出液口相连接，在所述出口管路（L1）上设有取样泵（2a）；所述浓度测量管路（L3）上设有第一流量计（4a）和浓度计（5）；所述浊度测量管路（L4）上设有浊度计（6）。2.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述浓度计（5）是利用电导率和超声波测量显影液浓度，将测出的浓度值输出给控制单元的部件；所述浊度计（6）是测量显影液里所含的光刻胶的吸光度，输出给控制单元的部件。3.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述循环管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：金太周，
申请(专利权)人：上海三盼半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：