一种晶舟盒料盒缓冲固定结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外壳、压紧机构、晶舟盒和底座，所述晶舟盒的底部固定连接有底座，所述晶舟盒的上方套接连接有外壳，所述外壳的内壁的顶部固定连接有压紧机构，所述压紧机构包括固定架、压紧板和缓冲弹片，所述固定架固定连接在压紧板的侧壁且与外壳固定连接，所述压紧板的下表面固定连接有缓冲弹片，所述缓冲弹片包括内架、外架和连接柱，所述外架固定连接在内架的表面，所述连接柱贯穿内架和外架且与压紧板固定连接。本实用新型专利技术通过在晶舟盒的表面套接连接有带压紧机构的外壳，方便在纵向方向对晶舟盒进行压紧、固定，且能够在运输晶舟盒的过程中起到缓冲的作用，减小晶舟盒在运输中产生的晃动。晃动。晃动。

【技术实现步骤摘要】
一种晶舟盒料盒缓冲固定结构


[0001]本技术涉及半导体生产设备
，具体为一种晶舟盒料盒缓冲固定结构。

技术介绍

[0002]半导体行业中，晶圆在运输和生产过程中会存放在晶舟盒内，一个晶舟盒内通常设有25个卡槽，能够存放25片晶圆。卡槽一方面能够固定晶圆的位置，另一方面避免相连的晶圆发生碰撞。正常情况下，晶舟盒内的晶圆处于水平面上，25片晶圆自下而上排列，晶圆受重力影响会紧贴卡槽的一侧，在运输合理的情况下，晶圆不会发生较大的震动，也不会出现破片等问题。
[0003]目前，晶圆在生产后多会使用晶舟盒进行存储和转运，由于晶舟盒缺乏缓冲固定的结构，容易在运输的过程中发生晃动，导致晶圆受到振动而损坏，给晶舟盒的转运带来不便。为此，需要设计一种新的技术方案给予解决。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，解决了现有技术中晶舟盒转运中容易出现晃动而导致晶圆损坏的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶舟盒盒料盒缓冲固定结构，包括外壳、压紧机构、晶舟盒和底座，所述晶舟盒的底部固定连接有底座，所述晶舟盒的上方套接连接有外壳，所述外壳的内壁的顶部固定连接有压紧机构，所述压紧机构包括固定架、压紧板和缓冲弹片，所述固定架固定连接在压紧板的侧壁且与外壳固定连接，所述压紧板的下表面固定连接有缓冲弹片，所述缓冲弹片包括内架、外架和连接柱，所述外架固定连接在内架的表面，所述连接柱贯穿内架和外架且与压紧板固定连接。
[0006]作为上述技术方案的改进，所述压紧板的中心固定连接有支撑柱，所述支撑柱与外壳固定连接。
[0007]作为上述技术方案的改进，所述外壳的外侧壁固定连接有把手，所述把手对称分布在外壳的左右两侧。
[0008]作为上述技术方案的改进，所述外壳的底部设有缘边，所述缘边套接在底座的表面且与底座扣合连接。
[0009]作为上述技术方案的改进，所述底座的边缘处开设有扣合槽，所述缘边的内壁固定连接有卡扣，所述卡扣与扣合槽扣合连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]1、本技术通过在晶舟盒的表面套接连接有带压紧机构的外壳，方便在纵向方向对晶舟盒进行压紧、固定，且能够在运输晶舟盒的过程中起到缓冲的作用，减小晶舟盒在运输中产生的晃动。
[0012]2、本技术通过在内架的表面设有架空的外架，方便在安装压紧机构时外架产
生形变，提高对于晶舟盒固定的稳定性。
附图说明
[0013]图1为本技术所述晶舟盒料盒缓冲固定结构爆炸示意图；
[0014]图2为本技术所述压紧机构整体结构示意图。
[0015]图中：外壳
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1，压紧机构
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2，晶舟盒
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3，底座
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4，固定架
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5，压紧板
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6，缓冲弹片
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7，内架
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8，外架
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9，连接柱
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10，支撑柱
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11，把手
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12，缘边
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13，扣合槽
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14，卡扣
‑
15。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0017]请参阅图1
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2，本技术提供一种技术方案：一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外壳1、压紧机构2、晶舟盒3和底座4，所述晶舟盒3的底部固定连接有底座4，所述晶舟盒3的上方套接连接有外壳1，所述外壳1的内壁的顶部固定连接有压紧机构2，所述压紧机构2包括固定架5、压紧板6和缓冲弹片7，所述固定架5固定连接在压紧板6的侧壁且与外壳1固定连接，所述压紧板6的下表面固定连接有缓冲弹片7，所述缓冲弹片7包括内架8、外架9和连接柱10，所述外架9固定连接在内架8的表面，所述连接柱10贯穿内架8和外架9且与压紧板6固定连接。
[0018]进一步改进地，如图2所示，所述压紧板6的中心固定连接有支撑柱11，所述支撑柱11与外壳1固定连接，通过在压紧板6的中心固定连接有与外壳1固定连接的支撑柱11，提高压紧机构2与外壳1连接的稳定性。
[0019]进一步改进地，如图1所示，所述外壳1的外侧壁固定连接有把手12，所述把手12对称分布在外壳1的左右两侧，通过在外壳1的外侧壁固定连接有对称分布的把手12，方便对外壳1的进行移动，提高拆装外壳1的方便性。
[0020]进一步改进地，如图1所示，所述外壳1的底部设有缘边13，所述缘边13套接在底座4的表面且与底座4扣合连接，通过在外壳1的底部设有缘边13，方便与底座4进行扣合连接，提高外壳1与晶舟盒3连接的稳定性。
[0021]具体改进地，如图1所示，所述底座4的边缘处开设有扣合槽14，所述缘边13的内壁固定连接有卡扣15，所述卡扣15与扣合槽14扣合连接，通过在底座4的边缘处开设有扣合槽14，配合缘边13内壁的卡扣15，提高外壳1与晶舟盒3连接的稳定性。
[0022]本技术的外壳
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1、压紧机构
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2、晶舟盒
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3、底座
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4、固定架
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5、压紧板
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6、缓冲弹片
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7、内架
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8、外架
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9、连接柱
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10、支撑柱
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11、把手
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12、缘边
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13、扣合槽
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14、卡扣
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15，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件、其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术通过在晶舟盒3的表面套接连接有带压紧机构2的外壳1，方便在纵向方向对晶舟盒3进行压紧、固定，且能够在运输晶舟盒3的过程中起到缓冲的作用，减小晶舟盒3在运输中产生的晃动。
[0023]本技术在使用时，将外壳1套接在晶舟盒3的表面，利用外壳1顶部的压紧机构2与晶舟盒3的顶部接触，通过按压外壳1使缓冲弹片7发生形变，利用外壳1底部的缘边13与晶舟盒3的底座4固定连接，提高晶舟盒3与外壳1连接的稳定性，避免晶舟盒3运输中在外壳
1发生晃动。
[0024]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外壳(1)、压紧机构(2)、晶舟盒(3)和底座(4)，其特征在于：所述晶舟盒(3)的底部固定连接有底座(4)，所述晶舟盒(3)的上方套接连接有外壳(1)，所述外壳(1)的内壁的顶部固定连接有压紧机构(2)，所述压紧机构(2)包括固定架(5)、压紧板(6)和缓冲弹片(7)，所述固定架(5)固定连接在压紧板(6)的侧壁且与外壳(1)固定连接，所述压紧板(6)的下表面固定连接有缓冲弹片(7)，所述缓冲弹片(7)包括内架(8)、外架(9)和连接柱(10)，所述外架(9)固定连接在内架(8)的表面，所述连接柱(10)贯穿内架(8)和外架(9)且与压紧板(6)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：付波，
申请(专利权)人：上海赛瑾精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：