前开式晶圆传送盒的门板开关机构制造技术

一种前开式晶圆传送盒的门板开关机构，是在两组前开式晶圆传送盒门板上的锁舌组之间设置联动机构，且将联动机构的两端分别与其两侧的锁舌组中的连接构件连接，通过转动或拉动联动机构并经各连接构件可同时带动各锁舌组中的上锁臂与下锁臂在门板上移动，进而带动各锁臂连接着的上锁舌与下锁舌进行伸出或缩回，从而实现前开式晶圆传送盒的门板与前开式晶圆传送盒门框的锁合或解离。本发明专利技术能使前开式晶圆传送盒门板上的上、下锁舌关联联动，实现同步伸出或缩回，保证前开式晶圆传送盒门板的锁舌能够同时进入前开式晶圆传送盒门框的锁口之中或从中缩回，保证门板能与门框的牢固锁定或安全脱离，切实保护前开式晶圆传送盒及其晶圆。晶圆。晶圆。

【技术实现步骤摘要】
前开式晶圆传送盒的门板开关机构


[0001]本专利技术涉及一种开关机构，尤其涉及一种前开式晶圆传送盒的门板开关机构，属于前开式晶圆传送盒的生产制造


技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是一种由圆柱形的单晶硅晶棒经过研磨、抛光、切片后形成的硅晶圆片。
[0003]半导体元器件的生产过程中，通常需要使用前开式晶圆传送盒对晶圆进行保护、运送和储存。前开式晶圆传送盒(英文为：Front Opening Unified Pod，英文简称：FOUP)，是一种半导体元器件生产企业内部自动化传送系统中专属于晶圆保护、运送和储存的重要传载容器。
[0004]前开式晶圆传送盒的内部可以容纳多片晶圆，其主要的组成部件为一个能够容纳多片晶圆的前开式容器本体，容器本体的开口通过门板进行封闭。为方便有效进行门板的开合，容器本体的开口上设有专门用于配合板门开合的门框，门框上设有锁口，门板上设有锁舌，门板通过其锁舌插入或退出锁口，完成与门框的锁合或分离。
[0005]如图1现有技术中前开式晶圆传送盒的立体结构示意图所示：
[0006]现有技术中，前开式晶圆传送盒的门框200上通常设有四个锁口，且四个锁口两两一组分成两组，各组中的两个锁口一个为上锁口(图中未示出)，设置在门框的上部横梁210上，另一个为下锁口221，设置在门框的下部横梁220上；
[0007]门板100上设置有与门框200上的锁口对应的四个锁舌，且四个锁舌同样分为两组，各组中包括一个上锁舌111和一个下锁舌121，通常，各组中的上锁舌111和下锁舌121上都连接着一个锁臂，如图1中所示的上锁臂112和下锁臂122，且上锁舌111的锁臂和下锁舌121的锁臂都与一个转盘130连接，通过转动转盘130，同时带动同一组内的上锁舌111与下锁舌121一起向外伸出或同时缩回，从而与门框200进行锁合或分离。
[0008]当门板锁合在门框上后，需要分别转动两组锁舌组上的转盘，将两组锁舌组上的四个锁舌同时收回后，才能取下门板，倘若只转动了一个转盘，仅将一组锁舌组中的锁舌收回而因各种原因没有将另一锁舌组中的锁舌收回就去取下门板，会造成门板或门框的损坏，影响前开式晶圆传送盒本体内部晶圆的安全。
[0009]此外，门板的上下部位具有结构差异，若门板的上下位置与门框的上、下横梁位置不符，颠倒安装的门板会影响前开式晶圆传送盒在自动化传送系统中的运行。而现有技术中的前开式晶圆传送盒其门板与门框之间没有防止门板颠倒安装的设施，因而无法防止门板颠倒安装现象的产生。

技术实现思路

[0010]为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种前开式晶圆传送盒的门板开关机构，目的在于：
[0011]为前开式晶圆传送盒的门板提供一种连锁关联机构，使前开式晶圆传送盒门板上的上、下锁舌关联联动，实现同步伸出或缩回，保证前开式晶圆传送盒门板的锁舌能够同时进入前开式晶圆传送盒门框的锁口之中或同时从锁口中收回脱离，从而保证门板能与门框牢固锁定或安全脱离，进而保护前开式晶圆传送盒及其晶圆。
[0012]为达上述目的，本专利技术提供如下的技术方案。
[0013]一种前开式晶圆传送盒的门板开关机构，用以前开式晶圆传送盒的门板与所述前开式晶圆传送盒其本体的门框进行锁合或解离，其中：
[0014]所述门框包括上横梁与下横梁，所述上横梁上设置有两个上锁口，所述下横梁上设置有两个下锁口；
[0015]所述门板的上部边缘上设置有与两个所述上锁口对应的两个上锁舌，所述门板的下部边缘上设置有与两个所述下锁口对应的两个下锁舌；且
[0016]各所述上锁舌的下方分别连接有上锁臂，各所述下锁舌的上方分别连接有下锁臂；
[0017]位于同一侧的所述上锁臂与所述下锁臂分别与一个连接构件活动连接，且一个所述上锁舌连同其连接着的所述上锁臂与所述上锁臂连接着的同一所述连接构件上的一个所述下锁臂并连同所述下锁臂连接着的所述下锁舌组成一个锁舌组；
[0018]两组所述锁舌组之间还设置有联动机构，所述联动机构的两端分别与其两侧的两组所述锁舌组中各自的所述连接构件连接，转动或拉动所述联动机构，能够通过各所述连接构件同时带动各所述锁舌组中各自的所述上锁臂与所述下锁臂在所述门板上进行上下移动，进而带动各自连接着的所述上锁舌与所述下锁舌进行伸出或缩回，且通过所述上锁舌与所述下锁舌的伸出或缩回使其插入或退出所述上锁口与所述下锁口中，实现所述门板与所述门框的锁合或解离。
[0019]进一步的：
[0020]所述上锁臂与所述下锁臂上分别设置有滑槽，所述门板其对应各所述滑槽的位置上设置有限位导向柱，所述限位导向柱套装在所述滑槽之中，各所述上锁臂与各所述下锁臂可分别通过其各自的所述滑槽且以各自对应的所述限位导向柱为限定和导向物在所述门板的板面上进行上下滑动。
[0021]进一步的：
[0022]所述连接构件为转盘，所述转盘通过其中心轴活动连接在所述门板上，且所述转盘的两侧分别设置有弧形的滑道；
[0023]同一所述锁舌组内的所述上锁臂与所述下锁臂各自相邻的一端上分别设置有凸轴，所述上锁臂与所述下锁臂分别通过其各自的所述凸轴套装在所述转盘其两侧的滑道上与所述转盘进行连接，转动或拉动所述联动机构，能够使所述联动机构连接的所述转盘向同一方向转动，向同一方向转动的各所述转盘各自通过其两侧的所述滑道分别带动所述凸轴在所述门板的板面上进行上下移动进而分别带动各所述凸轴所在的所述上锁臂与所述下锁臂进行上下移动，并以此分别带动所述上锁舌与所述下锁舌在所述门板的上、下边缘进行伸出或缩回。
[0024]可选的：
[0025]所述联动机构包括联动杆、弹簧和齿轮，其中：
[0026]所述联动杆通过其中心点上设置的转轴安装在所述门板上，且所述联动杆其两侧的端头上设置有轮齿；
[0027]所述弹簧与所述齿轮分别以所述联动杆的中心点为原点以原点对称形式设置在所述联动杆的两侧，其中，各所述弹簧的一端固定在一个所述转盘上，各所述弹簧的另一端分别连接在一个所述齿轮的轮毂上，且各所述齿轮分别与相邻一侧的所述联动杆的端头齿轮啮合；
[0028]以所述转轴为轴转动所述联动杆，转动的所述联动杆通过其两端的轮齿带动其两侧的所述齿轮分别进行上下方向相反的移动，移动的两个所述齿轮分别通过各自连接的所述弹簧带动各所述弹簧各自连接的所述转盘进行同向转动，同向转动的两个所述转盘分别带动各自连接的所述上锁臂与所述下锁臂进行同向或反向的移动并以此带动各所述上锁舌与所述下锁舌在所述门板的上、下边缘进行伸出或缩回。
[0029]可选的：
[0030]所述联动机构包括联动杆和弹簧，其中：
[0031]所述联动杆通过其中心点上设置的转轴安装在所述门板上；
[0032]两个所述弹簧以所述联动杆的中心点为原点以原点对称形式设置在所述联动杆的两侧，其中，各所述弹簧各自的一端固定在所述联动杆的一个端头上，各所述弹簧各自的另一端分别连接在一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种前开式晶圆传送盒的门板开关机构，用以前开式晶圆传送盒的门板与所述前开式晶圆传送盒其本体的门框进行锁合或解离，其特征在于：所述门框包括上横梁与下横梁，所述上横梁上设置有两个上锁口，所述下横梁上设置有两个下锁口；所述门板的上部边缘上设置有与两个所述上锁口对应的两个上锁舌，所述门板的下部边缘上设置有与两个所述下锁口对应的两个下锁舌；且各所述上锁舌的下方分别连接有上锁臂，各所述下锁舌的上方分别连接有下锁臂；位于同一侧的所述上锁臂与所述下锁臂分别与一个连接构件活动连接，且一个所述上锁舌连同其连接着的所述上锁臂与所述上锁臂连接着的同一所述连接构件上的一个所述下锁臂并连同所述下锁臂连接着的所述下锁舌组成一个锁舌组；两组所述锁舌组之间还设置有联动机构，所述联动机构的两端分别与其两侧的两组所述锁舌组中各自的所述连接构件连接，转动或拉动所述联动机构，能够通过各所述连接构件同时带动各所述锁舌组中各自的所述上锁臂与所述下锁臂在所述门板上进行上下移动，进而带动各自连接着的所述上锁舌与所述下锁舌进行伸出或缩回，且通过所述上锁舌与所述下锁舌的伸出或缩回使其插入或退出所述上锁口与所述下锁口中，实现所述门板与所述门框的锁合或解离。2.如权利要求1所述的前开式晶圆传送盒的门板开关机构，其特征在于：所述上锁臂与所述下锁臂上分别设置有滑槽，所述门板其对应各所述滑槽的位置上设置有限位导向柱，所述限位导向柱套装在所述滑槽之中，各所述上锁臂与各所述下锁臂可分别通过其各自的所述滑槽且以各自对应的所述限位导向柱为限定和导向物在所述门板的板面上进行上下滑动。3.如权利要求1所述的前开式晶圆传送盒的门板开关机构，其特征在于：所述连接构件为转盘，所述转盘通过其中心轴活动连接在所述门板上，且所述转盘的两侧分别设置有弧形的滑道；同一所述锁舌组内的所述上锁臂与所述下锁臂各自相邻的一端上分别设置有凸轴，所述上锁臂与所述下锁臂分别通过其各自的所述凸轴套装在所述转盘其两侧的滑道上与所述转盘进行连接，转动或拉动所述联动机构，能够使所述联动机构连接的所述转盘向同一方向转动，向同一方向转动的各所述转盘各自通过其两侧的所述滑道分别带动所述凸轴在所述门板的板面上进行上下移动进而分别带动各所述凸轴所在的所述上锁臂与所述下锁臂进行上下移动，并以此分别带动所述上锁舌与所述下锁舌在所述门板的上、下边缘进行伸出或缩回。4.如权利要求3所述的前开式晶圆传送盒的门板开关机构，其特征在于：所述联动机构包括联动杆、弹簧和齿轮，其中：所述联动杆通过其中心点上设置的转轴安装在所述门板上，且所述联动杆其两侧的端头上设置有轮齿；所述弹簧与所述齿轮分别以所述联动杆的中心点为原点以原点对称形式设置在所述联动杆的两侧，其中，各所述弹簧的一端固定在一个所述转盘上，各所述弹簧的另一端分别连接在一个所述齿轮的轮毂上，且各所述齿轮分别与相邻一侧的所述联动杆的端头齿轮啮合；
以所述转轴为轴转动所述联动杆，转动的所述联动杆通过其两端的轮齿带动其两侧的所述齿轮分别进行上下方向相反的移动，移动的两个所述齿轮分别通过各自连接的所述弹簧带动各所述弹簧各自连接的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李闯，喻成虎，袁继超，
申请(专利权)人：上海赛瑾精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：