本发明专利技术涉及半导体加工技术领域，且公开了一种智能制造的晶棒固定和打磨装置，包括壳体，所述壳体内壁的底端固定安装有工作台，所述工作台的左右两侧固定安装有导热片，所述壳体内壁顶端的左右两侧转动安装有降温腔，所述降温腔的内部固定安装有热敏电阻，所述降温腔内部的中部固定安装有扇片。该智能制造的晶棒固定和打磨装置，可以对不同形状的晶棒进行夹持，既节省了对不同大小晶棒夹持需要不同夹具的额外花费，还加快了对晶棒的加工效率，对晶棒表面进行打磨时可以减小打磨块和晶棒刚性碰撞的损伤，还可以在加工时对晶棒吹风，不仅降低了加工温度，还使得加工视野更好，使得加工精度提高。工精度提高。工精度提高。
【技术实现步骤摘要】
一种智能制造的晶棒固定和打磨装置
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体为一种智能制造的晶棒固定和打磨装置。
技术介绍
[0002]半导体在加工的过程中需要将特定晶向的晶种浸入过饱和的纯硅熔汤拉出晶棒，在对晶棒进行打磨的过程中需要使用夹具对其进行固定，但是不同大小的晶棒需要不同的夹具，使得成本提高，对晶棒进行打磨的过程中，磨具和晶棒发生刚性碰撞易导致磨具损坏，影响加工效率，打磨过程产生高温使得晶棒的硬度发生变化，易对加工精度造成影响。
[0003]为解决上述问题，专利技术者提供了一种智能制造的晶棒固定和打磨装置，可以对不同形状的晶棒进行夹持，既节省了对不同大小晶棒夹持需要不同夹持工具的额外花费，还加快了对晶棒的加工效率，对晶棒表面进行打磨时可以减小打磨块和晶棒刚性碰撞的损伤，还可以在加工时对晶棒吹风，不仅降低了加工温度，还使得加工视野更好，使得加工精度提高。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种智能制造的晶棒固定和打磨装置，具备可夹持不同形状大小的晶棒和降低打磨时刚性碰撞损伤和对工件进行风冷降温的优点，解决了需要不同夹持夹具进行夹持、打磨块和工件刚性碰撞造成损伤和加工温度高导致加工精度降低的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述可夹持不同形状大小的晶棒和降低打磨时刚性碰撞损伤和对工件进行风冷降温的目的，本专利技术提供如下技术方案：一种智能制造的晶棒固定和打磨装置，包括壳体，所述壳体内壁的底端固定安装有工作台，所述工作台的左右两侧固定安装有导热片，所述壳体内壁顶端的左右两侧转动安装有降温腔，所述降温腔的内部固定安装有热敏电阻，所述降温腔内部的中部固定安装有扇片，所述降温腔内部的左右两侧固定安装有电源，所述降温腔的底端固定安装有喷头，所述壳体内壁的顶端活动连接有连杆，所述连杆的中部固定安装有伸缩杆，所述壳体内壁顶端连杆的中部固定安装有弹簧杆，所述弹簧杆的底端固定安装有打磨块，所述壳体底部工作台的上方转动安装有转盘，所述转盘表面的边缘固定安装有电磁体，所述电磁体的顶端固定安装有复位弹簧，所述复位弹簧的另一端固定安装有磁铁，所述磁铁的另一端固定安装有滑块，所述转盘的表面固定安装有电阻条，所述电阻条的表面滑动连接有触头，所述转盘表面滑块靠近转盘中心的一端滑动安装有滑杆，所述滑杆靠近转盘中心的一端固定安装有固定块，所述固定块的内部固定安装有固定弹簧，所述固定弹簧靠近转盘中心的一端固定安装有限位块，所述固定块靠近转盘中心的一端固定安装有限位条。
[0008]优选的，所述导热片的另一端通过导热线连接有热敏电阻，热敏电阻根据加工件
的温度调整自身阻值。
[0009]优选的，所述热敏电阻为负温度系数电阻器，电阻值随着温度的上升而降低。
[0010]优选的，所述电源和扇片电性连接。
[0011]优选的，所述电磁体通电后和磁铁的相近端为同种磁极。
[0012]优选的，所述滑块靠近转盘中心处的一端为弧形，滑块移动时通过弧形结构带动滑杆移动。
[0013]优选的，所述电阻条的阻值随转盘的逆时针转动而减小，电阻条和电磁体电性连接。
[0014](三)有益效果
[0015]与现有技术相比，本专利技术提供了一种智能制造的晶棒固定和打磨装置，具备以下有益效果：
[0016]1、该智能制造的晶棒固定和打磨装置，通过驱动转盘转动，转盘转动带动触头在电阻条的表面滑动，使得电路的电阻值降低，和电阻条电性连接的电磁体的磁性增强，电磁体排斥磁铁，使得磁铁拉伸复位弹簧向远离电磁体的方向移动，磁铁带动滑块移动，滑块带动滑杆向靠近转盘中心的方向移动滑杆带动固定块移动，固定块带动限位条移动，对晶棒进行初步固定，固定块移动的同时限位块对晶棒的中心处进行固定，使得固定效果更加的明显，且能根据转盘的转速适应不同晶棒的直径，使得装置的实用性大大的增加。
[0017]2、该智能制造的晶棒固定和打磨装置，通过当打磨块和晶棒发生刚性碰撞时，打磨块通过弹簧杆的伸缩降低碰撞带来的损伤，在打磨过程中由于打磨块对晶棒进行加工导致温度升高，导热片将热能传递给热敏电阻，热敏电阻温度的升高导致电路的电阻值降低，电源对扇片的驱动力增加，扇片转动并通过喷头对晶棒的表面进行降温，并吹散晶棒表面的加工废屑，使得加工视野更好，进而提高了加工精度。
附图说明
[0018]图1为本专利技术结构示意图；
[0019]图2为本专利技术结构主视示意图；
[0020]图3为本专利技术图1中A结构放大示意图；
[0021]图4为本专利技术打磨结构示意图；
[0022]图5为本专利技术夹持结构示意图。
[0023]图中：1、壳体；2、工作台；3、导热片；4、降温腔；5、热敏电阻；6、扇片；7、电源；8、喷头；9、连杆；10、伸缩杆；11、弹簧杆；12、打磨块；13、转盘；14、电磁体；15、复位弹簧；16、磁铁；17、滑块；18、电阻条；19、触头；20、滑杆；21、固定块；22、固定弹簧；23、限位块；24、限位条。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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5，一种智能制造的晶棒固定和打磨装置，包括壳体1，壳体1内壁的底端固定安装有工作台2，工作台2的左右两侧固定安装有导热片3，导热片3的另一端通过导热线连接有热敏电阻5，热敏电阻5根据加工件的温度调整自身阻值，壳体1内壁顶端的左右两侧转动安装有降温腔4，降温腔4的内部固定安装有热敏电阻5，热敏电阻5为负温度系数电阻器，电阻值随着温度的上升而降低，降温腔4内部的中部固定安装有扇片6，降温腔4内部的左右两侧固定安装有电源7，电源7和扇片6电性连接，降温腔4的底端固定安装有喷头8，壳体1内壁的顶端活动连接有连杆9，连杆9的中部固定安装有伸缩杆10，壳体1内壁顶端连杆9的中部固定安装有弹簧杆11，弹簧杆11的底端固定安装有打磨块12，壳体1底部工作台2的上方转动安装有转盘13，转盘13表面的边缘固定安装有电磁体14，电磁体14通电后和磁铁16的相近端为同种磁极，电磁体14的顶端固定安装有复位弹簧15，复位弹簧15的另一端固定安装有磁铁16，磁铁16的另一端固定安装有滑块17，滑块17靠近转盘13中心处的一端为弧形，滑块17移动时通过弧形结构带动滑杆20移动，转盘13的表面固定安装有电阻条18，电阻条18的阻值随转盘13的逆时针转动而减小，电阻条18和电磁体14电性连接电阻条18的表面滑动连接有触头19，转盘13表面滑块17靠近转盘13中心的一端滑动安装有滑杆20，滑杆20靠近转盘13中心的一端固定安装有固定块21，固定块21的内部固定安装有固定弹簧22，固定本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种智能制造的晶棒固定和打磨装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)内壁的底端固定安装有工作台(2)，所述工作台(2)的左右两侧固定安装有导热片(3)，所述壳体(1)内壁顶端的左右两侧转动安装有降温腔(4)，所述降温腔(4)的内部固定安装有热敏电阻(5)，所述降温腔(4)内部的中部固定安装有扇片(6)，所述降温腔(4)内部的左右两侧固定安装有电源(7)，所述降温腔(4)的底端固定安装有喷头(8)，所述壳体(1)内壁的顶端活动连接有连杆(9)，所述连杆(9)的中部固定安装有伸缩杆(10)，所述壳体(1)内壁顶端连杆(9)的中部固定安装有弹簧杆(11)，所述弹簧杆(11)的底端固定安装有打磨块(12)，所述壳体(1)底部工作台(2)的上方转动安装有转盘(13)，所述转盘(13)表面的边缘固定安装有电磁体(14)，所述电磁体(14)的顶端固定安装有复位弹簧(15)，所述复位弹簧(15)的另一端固定安装有磁铁(16)，所述磁铁(16)的另一端固定安装有滑块(17)，所述转盘(13)的表面固定安装有电阻条(18)，所述电阻条(18)的表面滑动连接有触头(19)，所述转盘(13)表面滑块(17)靠近转盘(13)中心的一端滑动安装有...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨毅彬，
申请(专利权)人：杭州月重智能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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