激光器芯片腔面目检装置制造方法及图纸

技术编号:28483198 阅读:32 留言:0更新日期:2021-05-15 21:58
本实用新型专利技术实施例涉及芯片生产设备技术领域,提供一种激光器芯片腔面目检装置,包括基座、镜筒、移动测试台和夹具;移动测试台包括第一移动平台,第一移动平台与基座可滑动连接,夹具安装于第一移动平台;夹具沿第一移动平台的滑动方向设有倾斜面,具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于倾斜面;镜筒与显示装置电连接,镜筒的镜口朝向热沉上的芯片的腔面。本实用新型专利技术实施例提供的激光器芯片腔面目检装置结构简单,可对具有阶梯式芯片安装面的热沉上的多个芯片的腔面进行快速检测,提高生产效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
激光器芯片腔面目检装置


[0001]本技术涉及芯片生产设备
,尤其涉及一种激光器芯片腔面目检装置。

技术介绍

[0002]在半导体激光器的生产过程中,需要对激光器芯片的腔面进行表面缺陷的目检。目前产线上一般选用进口设备,价格昂贵,体积庞大而笨重,操作复杂,检测效率低,不能同时对多个芯片进行检测。
[0003]有些激光器产品会根据需要在一个热沉上设置很多个芯片,如图1所示为一种激光器产品的结构示意图,该激光器产品的热沉11具有阶梯式芯片安装面,多个芯片12分别安装于该阶梯式安装面的多个阶梯面13上,使多个芯片12整体呈一定倾斜角度排列。现有的目检设备不能够直接对这种带有多个芯片的激光器产品进行整体检测,而是需要先对每个芯片分别检测,然后将检测合格的多个激光芯片与热沉焊接,生产效率低下。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种激光器芯片腔面目检装置,用以解决现有的激光器芯片目检设备不适用于产线上对具有阶梯式芯片安装面的热沉上的多个芯片腔面进行快速检测的问题。
[0005]本技术实施例提供一种激光器芯片腔面目检装置,用于与显示装置电连接以检测激光器芯片的腔面,包括基座、镜筒、移动测试台和夹具;所述移动测试台包括第一移动平台,所述第一移动平台与所述基座可滑动连接,所述夹具安装于所述第一移动平台;所述夹具沿所述第一移动平台的滑动方向设有倾斜面,具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于所述倾斜面;所述镜筒与所述显示装置电连接,所述镜筒的镜口朝向所述热沉上的芯片的腔面。
[0006]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述倾斜面设有定位槽。
[0007]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述定位槽的相对侧设有取样槽,所述定位槽与所述取样槽相连通。
[0008]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述夹具与所述第一移动平台可拆卸连接。
[0009]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述第一移动平台与所述夹具设有相互配合的凹凸结构。
[0010]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述第一移动平台的下端面设有导向槽,所述基座固定有与所述导向槽配合的导轨。
[0011]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述第一移动平台转动安装有第一调节旋钮,所述第一调接旋钮的转动轴固定有第一齿轮,所述导轨设有与所述
第一齿轮相啮合的第一齿条。
[0012]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述导轨沿所述第一移动平台的滑动方向设有标尺。
[0013]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,还包括第二移动平台,所述第二移动平台滑动安装于所述第一移动平台,所述夹具安装于所述第二移动平台,所述第二移动平台的滑动方向与所述镜筒的轴线方向相同。
[0014]根据本技术一个实施例的激光器芯片腔面目检装置,所述第一移动平台转动安装有第二调节旋钮,所述第二调节旋钮的转动轴固定有第二齿轮,所述第二移动平台设有与所述第二齿轮相啮合的第二齿条。
[0015]本技术实施例提供的激光器芯片腔面目检装置,通过在移动测试台上安装夹具,并在夹具上设置倾斜面,通过倾斜面与激光器热沉的阶梯式芯片安装面互补,使多个芯片位于同一水平面上,在确定好镜筒与移动测试台的距离、镜筒的高度以及镜筒的放大倍数后,只需要水平移动第一移动平台,即可实现对热沉上的多个芯片腔面的快速检测,结构简单,提高了生产效率。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是一种激光器产品的结构示意图;
[0018]图2是本技术实施例激光器芯片腔面目检装置的结构示意图;
[0019]图3是本技术实施例的夹具的结构示意图;
[0020]图4本技术实施例的夹具与带芯片的热沉的安装示意图;
[0021]图5是本技术实施例的移动测试台的主视图;
[0022]图6是图5中移动测试台的左视图;
[0023]图7是本技术又一实施例的移动测试台的主视图;
[0024]图8是图7中移动测试台的左视图;
[0025]附图标记:
[0026]11、热沉;12、芯片;13、阶梯面;2、显示装置;3、基座;31、立柱;32、导轨;321、第一齿条;33、支撑座;34、升降杆;4、镜筒;5、移动测试台;51、第一移动平台;511、第一定位凸台;512、导向槽;513、第一安装座;514、第二安装座;515、滑槽;52、第二移动平台;521、第二定位凸台;522、第二齿条;523、第三定位凸台;53、第一调节旋钮;531、第一齿轮;54、第二调节旋钮;541、第二齿轮;6、夹具;61、倾斜面;611、定位槽;612、取样槽;62、定位凹槽;63、安装孔。
具体实施方式
[0027]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描
述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术实施例的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“第一”“第二”是为了清楚说明产品部件进行的编号,不代表任何实质性区别。“上”“下”“左”“右”的方向均以附图所示方向为准。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
[0029]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”“相连”“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]下面结合图1

图8描述本技术实施例的激光器芯片腔面目检装置。
[0031]如图2所示为本技术实施例激光器芯片腔面目检装置的结构示意图。该激光器芯片腔面目检装置用于与显示装置2电连接,以检测激光器芯片的腔面,包括基座3、镜筒4、移动测试台5和夹具6,镜筒4与显示装置2电连接,用于拍摄通过镜筒4看到的激光器腔面的图像,并将图像传输给显示装置2进行显示,以供检测人员观察目检。
[0032]如图5所示为本技术实施例的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光器芯片腔面目检装置,用于与显示装置电连接以检测激光器芯片的腔面,其特征在于,包括基座、镜筒、移动测试台和夹具;所述移动测试台包括第一移动平台,所述第一移动平台与所述基座可滑动连接,所述夹具安装于所述第一移动平台;所述夹具沿所述第一移动平台的滑动方向设有倾斜面,具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于所述倾斜面;所述镜筒与所述显示装置电连接,所述镜筒的镜口朝向所述热沉上的芯片的腔面。2.根据权利要求1所述的激光器芯片腔面目检装置,其特征在于,所述倾斜面设有定位槽。3.根据权利要求2所述的激光器芯片腔面目检装置,其特征在于,所述定位槽的相对侧设有取样槽,所述定位槽与所述取样槽相连通。4.根据权利要求1所述的激光器芯片腔面目检装置,其特征在于,所述夹具与所述第一移动平台可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的激光器芯片腔面目检装置,其特征在于,所述第一移动平台与所述夹具设有相互配合的凹凸结构。6.根据权利要求1~5任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员:费华胡慧璇卢昆忠
申请(专利权)人:武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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