涂布方法、涂布棒状头及涂布装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供即使高速地进行弯月面涂布，涂布膜厚也难以变动的涂布方法、涂布棒状头及涂布装置。在向涂布棒状头与基材之间供给涂布液而形成弯月面并使基材移动的涂布方法中，涂布方向上的棒状头涂布面剖面为凸起的曲线，在曲线的两端具有折弯点。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涂布方法、涂布棒状头及涂布装置
本专利技术的实施方式涉及涂布方法、涂布棒状头(barhead)及涂布装置。
技术介绍
由于使用有机半导体的有机薄膜太阳能电池、有机/无机杂化太阳能电池能够在活性层的形成中应用廉价的涂布法，所以作为低成本的太阳能电池而被期待。为了以低成本实现有机薄膜太阳能电池、有机/无机杂化太阳能电池，要求均匀地涂布形成有机活性层或其他层的涂布材料。各层的膜厚为数nm至数100nm左右，要求大面积且均匀性良好地形成这样的非常薄的层。例如，作为能够低成本且大面积地涂布极薄的层的卷对卷(R2R)涂布法之一，已知有弯月面(meniscus)涂布法。然而，在以往的弯月面涂布法中，由于在高速涂布的情况下基材与涂布棒状头之间的距离容易变动，所以涂布厚度容易变动。在如一般的太阳能电池模块那样要求均匀的涂布厚度的情况下，由于要求涂布厚度的变动较少，所以要求即使在高速涂布的情况下也能够得到均匀的涂布厚度的改良后的弯月面涂布法。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5981594号专利技术内容专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂布方法，所述涂布方法通过向涂布棒状头与基材之间供给涂布液而形成弯月面并使所述基材移动，从而在所述基材表面形成涂膜，其中，/n所述涂布棒状头的与长边方向垂直的方向上的剖面在外周部具有：/n(a)所述棒状头的与所述基材相向的柱面所对应的向外侧凸起的曲线部；以及/n(b)在所述曲线部的两末端，与所述柱面的长边方向平行的端部所对应的两个折弯点，/n并且所述剖面中的所述曲线部的曲率半径为10～100mm。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种涂布方法，所述涂布方法通过向涂布棒状头与基材之间供给涂布液而形成弯月面并使所述基材移动，从而在所述基材表面形成涂膜，其中，
所述涂布棒状头的与长边方向垂直的方向上的剖面在外周部具有：
(a)所述棒状头的与所述基材相向的柱面所对应的向外侧凸起的曲线部；以及
(b)在所述曲线部的两末端，与所述柱面的长边方向平行的端部所对应的两个折弯点，
并且所述剖面中的所述曲线部的曲率半径为10～100mm。


2.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，
所述曲线部为圆弧。


3.根据权利要求1或2所述的涂布方法，其中，
所述涂布棒状头与所述基材的最小间隔为80～600μm。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的涂布方法，其中，
所述两个折弯点中的至少一方的折弯角度为90～150°。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的涂布方法，其中，
所述两个折弯点之间的曲线部的长度为5～30mm。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的涂布方法，其中，
所述基材以在所述弯月面的形成部分向所述涂布棒状头凸起的方式弯曲，
在将所述涂布棒状头的所述剖面中的所述曲线部的曲率半径设为r1，并将所述基材的弯曲部中的曲率半径设为r2时，
用r0＝1/[(1/r1)+(1/r2)]表示的r0为20～80mm。


7.根据权利要求6所述的涂布方法，其中，满足：
r2>r1，或者
r2≥200mm。


8.根据权利要求1～7中任一项所述的涂布方法，其中，
所述涂布棒状头水平地固定，从下向上输送所述基材。


9.根据权利要求8所述的涂布方法，其中，
从所述涂布棒状头的上部供给涂布液。


10.一种涂布棒状头，所述涂布棒状头是向涂布棒状头与基材之间供给涂布液而形成弯月面并使所述基材移动的弯月面涂布用棒状头，其中，
所述涂布棒状头的与长边方向垂直的方向上的剖面在外周部具有：
(a)所述棒状头的与所述基材相向的柱面所对应的向外侧凸起的曲线部；以及
(b)在所述曲线部的两末端，与所述柱面的长边方向平行的端部所对应的两个折弯点，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：内藤胜之，信田直美，齐藤三长，齐田穰，
申请(专利权)人：株式会社东芝，东芝能源系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP