下载涂布方法、涂布棒状头及涂布装置的技术资料

文档序号:28432604

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本发明提供即使高速地进行弯月面涂布,涂布膜厚也难以变动的涂布方法、涂布棒状头及涂布装置。在向涂布棒状头与基材之间供给涂布液而形成弯月面并使基材移动的涂布方法中,涂布方向上的棒状头涂布面剖面为凸起的曲线,在曲线的两端具有折弯点。...
该专利属于株式会社东芝;东芝能源系统株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝;东芝能源系统株式会社授权不得商用。

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