一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，包括冷却水管接口和回收靶体，所述冷却水管接口安装在回收靶体的外壁上，在进行工作时，将冷却水管连接于冷却水管接口，将排水管连接于出水管接口，然后，向冷却水管中输入冷水，由于冷却水管接口和出水管接口之间通过上部冷却槽和下部盘型槽相连通，这样确保冷却水能够顺利从冷却水管接口处流向到出水管接口处，形成循环，对回收靶体的内壁进行冷却，使得升华后的金属铟能够冷凝附着在回收靶体中进行收集，在工作结束后，取出回收靶体，由于回收靶体内部均匀涂有脱模剂层，方便对金属铟进行脱出，本实用新型专利技术能够快速且均匀的对回收靶体内壁进行冷却，具有很好的实用性能。

【技术实现步骤摘要】
一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构
本技术属于回收靶相关
，具体涉及一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构。
技术介绍
ITO靶材是一种铟锡复合氧化物陶瓷材料，广泛应用于平板显示器件的透明电极、太阳能电池、飞机及高档汽车的防雾防霜玻璃等领域，是一种非常重要的光电材料。ITO靶材的原料是氧化锡和氧化铟，氧化铟由铟金属制备得到。铟金属是一种贵重金属，价格昂贵，自然界的含量十分稀缺，全球预估真正可以得到的铟仅1.5万吨。而ITO靶材在溅射时使用率较低，一般仅为30％-40％，因此回收提纯ITO废靶材中的金属铟十分必要。而铟金属可以在真空条件下加热升华，而锡金属不可以，铟金属的熔点为156.61℃，锡金属的熔点为231.89℃。因此当加热温度设置在铟金属的熔点之下时，铟金属从铟锡合金中升华，而锡金属仍旧保持固态。因此，在真空炉的顶部设置铟金属板，通过冷却水系统使其保持较低温度，使升华后的铟蒸气凝华沉积在铟金属板上进行收集。现有的回收靶技术存在以下问题：现有的回收靶在实际的ITO废靶中经升华提纯铟工作的应用中，还存在着一定的不足之处，现有的回收靶冷却是通过在其内部穿插水管的方式进行冷却，冷却管排布不均匀，并且不能直接带走热量，不能进行快速降温，对升华的铟金属不能很好的进行收集，实用性能较差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的回收靶冷却工作中的水管分布不均冷却效果差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，包括冷却水管接口和回收靶体，所述冷却水管接口安装在回收靶体的外壁上，所述回收靶体的内部设置有脱模剂层，所述脱模剂层的内部设置有回收槽，所述回收靶体的下端外壁上设置有出水管接口，所述回收靶体靠上侧内部设置有上部冷却槽，所述回收靶体靠下侧内部设置有下部盘型槽。优选的，所述上部冷却槽和下部盘型槽之间通过盘型槽入口相连接。优选的，所述下部盘型槽和出水管接口之间通过盘型槽出口相连接。优选的，所述回收靶体为金属圆盘，所述回收靶体的内部设置有放置槽，所述脱模剂层和回收靶体通过放置槽连接。优选的，所述冷却水管接口和出水管接口之间通过上部冷却槽和下部盘型槽相连通。优选的，所述下部盘型槽整体为盘式结构。与现有回收靶技术相比，本技术提供了一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，具备以下有益效果：本技术提供了一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构在现有的回收靶结构的基础上进行改进和创新，使得回收靶结构在实际的ITO废靶中经升华提纯铟的工作中，具有很好的实用性能，本技术回收靶结构主要是由冷却水管接口、回收靶体、回收槽、脱模剂层、出水管接口、上部冷却槽、盘型槽入口、下部盘型槽以及盘型槽出口等结构组成，在利用本技术进行工作时，将冷却水管连接于冷却水管接口，将排水管连接于出水管接口，然后，向冷却水管中输入冷水，由于冷却水管接口和出水管接口之间通过上部冷却槽和下部盘型槽相连通，这样确保冷却水能够顺利从冷却水管接口处流向到出水管接口处，形成循环，对回收靶体的内壁进行冷却，使得升华后的金属铟能够冷凝附着在回收靶体中进行收集，在工作结束后，取出回收靶体，由于回收靶体内部均匀涂有脱模剂层，方便对金属铟进行脱出，本技术一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构通过在回收靶体内部开设环形上部冷却槽和盘式下部盘型槽，能够使得冷却水均匀的在回收靶体内部进行流动，快速且均匀的对回收靶体内壁进行冷却，具有很好的实用性能。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：图1为本技术提出的一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶立体结构结构示意图；图2为本技术提出的ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶平面结构示意图；图3为本技术提出的ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶侧剖结构示意图；图4为本技术提出的下部盘型槽分布结构示意图；图中：1、冷却水管接口；2、回收靶体；3、回收槽；4、脱模剂层；5、出水管接口；6、上部冷却槽；7、盘型槽入口；8、下部盘型槽；9、盘型槽出口。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，包括冷却水管接口1和回收靶体2，冷却水管接口1安装在回收靶体2的外壁上，冷却水管接口1和出水管接口5之间通过上部冷却槽6和下部盘型槽8相连通，这样确保冷却水能够顺利从冷却水管接口1处流向到出水管接口5处，形成循环，回收靶体2为金属圆盘，回收靶体2的内部设置有放置槽，脱模剂层4和回收靶体2通过放置槽连接，通过脱模剂层4可以对升华后的铟进行收集，并且，方便后期对铟的分离，回收靶体2的内部设置有脱模剂层4，脱模剂层4的内部设置有回收槽3，回收靶体2的下端外壁上设置有出水管接口5，回收靶体2靠上侧内部设置有上部冷却槽6，上部冷却槽6和下部盘型槽8之间通过盘型槽入口7相连接，通过盘型槽入口7的作用，使得上部冷却槽6和下部盘型槽8之间能够进行连通，上部冷却槽6的水能够顺利进入下部盘型槽8中，回收靶体2靠下侧内部设置有下部盘型槽8，下部盘型槽8整体为盘式结构，这样可以大大增加冷却面积，确保回收靶体2的底端内壁冷却均匀，下部盘型槽8和出水管接口5之间通过盘型槽出口9相连接，通过盘型槽出口9的作用，使得下部盘型槽8和出水管接口5之间能够进行连通，下部盘型槽8内部的水能够顺利从出水管接口5中排出。本技术的工作原理及使用流程：本技术安装好过后，在利用本技术一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构进行工作时，首先，将冷却水管连接于冷却水管接口1，将排水管连接于出水管接口5，然后，向冷却水管中输入冷水，由于冷却水管接口1和出水管接口5之间通过上部冷却槽6和下部盘型槽8相连通，其中，上部冷却槽6和下部盘型槽8之间通过盘型槽入口7连通，这样确保冷却水能够顺利从冷却水管接口1处流向到出水管接口5处，形成循环，对回收靶体2的内壁进行冷却，使得当加热温度设置在铟金属的熔点之下时，铟金属从铟锡合金中升华，而锡金属仍旧保持固态，使升华后的铟蒸气能够凝华沉积在回收靶体2中进行收集，在工作结束后，取出回收靶体2，由于回收靶体2内部均匀涂有脱模剂层4，可以方便对金属铟进行脱出，本技术一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构具有很高的使用价值。尽管已经示出和描述了本实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，包括冷却水管接口(1)和回收靶体(2)，其特征在于：所述冷却水管接口(1)安装在回收靶体(2)的外壁上，所述回收靶体(2)的内部设置有脱模剂层(4)，所述脱模剂层(4)的内部设置有回收槽(3)，所述回收靶体(2)的下端外壁上设置有出水管接口(5)，所述回收靶体(2)靠上侧内部设置有上部冷却槽(6)，所述回收靶体(2)靠下侧内部设置有下部盘型槽(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，包括冷却水管接口(1)和回收靶体(2)，其特征在于：所述冷却水管接口(1)安装在回收靶体(2)的外壁上，所述回收靶体(2)的内部设置有脱模剂层(4)，所述脱模剂层(4)的内部设置有回收槽(3)，所述回收靶体(2)的下端外壁上设置有出水管接口(5)，所述回收靶体(2)靠上侧内部设置有上部冷却槽(6)，所述回收靶体(2)靠下侧内部设置有下部盘型槽(8)。


2.根据权利要求1所述的一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，其特征在于：所述上部冷却槽(6)和下部盘型槽(8)之间通过盘型槽入口(7)相连接。


3.根据权利要求1所述的一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔恒，葛春桥，柳春锡，金志洸，王梦涵，
申请(专利权)人：中山智隆新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44