一种晶圆喷砂机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆喷砂机，涉及晶圆加工领域。该晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐、第一带轮，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，且转动杆与第一带轮相连，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机。通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆喷砂机
本技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆喷砂机。
技术介绍
喷砂处理，是一种工件表面处理的工艺。采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料(铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海砂)高速喷射到需处理工件表面，使工件表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善。在晶圆的生产加工中会涉及到喷砂处理，喷砂处理又少不了喷砂机的使用，但是，以往所使用的喷砂机设置的除尘装置将砂石与碎石共同吸收，因此，当对砂石再次利用时会影响后期喷砂处理加工的效果。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆喷砂机。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，且转动杆与第一带轮相连，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有第二转轴，所述第二转轴远离第二电机的一端固定连接有第二带轮，所述装置主体的底部设置有聚流斗，所述聚流斗的底部设置有连接管，所述连接管远离聚流斗的一端固定连接有分离机构，所述喷砂罐的一端设置有输送管，所述输送管远离喷砂罐的一端延伸至装置主体的内部并固定连接有喷砂枪，所述装置主体的内侧壁设置有风机。优选的，所述连接杆远离移动板的一端贯穿调节箱并固定连接有固定块，所述固定块的表面开设有凹槽。优选的，所述调节轮为凸轮结构，所述调节轮的位置与移动板的位置相对应，所述移动板的侧壁且位于连接杆的两侧均固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离移动板的一端与调节箱的侧壁固定连接，所述伸缩杆的外表面设置有辅助弹簧，所述辅助弹簧的两端分别与移动板、调节箱固定连接。优选的，所述分离机构包括箱体，所述箱体的内部开设有第一腔室、第二腔室，所述第一腔室与第二腔室之间设置有过滤网，所述第一腔室与连接管相连通。优选的，所述分离机构远离连接管的一端设置有两个排料口，且排料口分别与第一腔室与第二腔室相对应，所述分离机构为倾斜向下设。优选的，所述喷砂罐的表面合适有多个控制阀。优选的，：所述装置主体的侧壁固定连接有集尘袋，所述集尘袋与风机的位置相对应，所述装置主体的内侧壁且位于风机的外侧固定连接有防护罩，所述防护罩为网状结构。优选的，所述第一带轮与第二带轮位于同一竖直平面，所述第一带轮与第二带轮通过皮带传动连接。本技术具有如下有益效果：1、与现有技术相比，该晶圆喷砂机，通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。2、通过对夹持结构的设计，使得该装置晶圆喷砂处理时不仅能够进行单面加工还可以实现双面处理，进而具有较广的使用范围，值得推广使用附图说明图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术内部结构示意图；图3为本技术调节箱内部结构俯视图；图4为本技术图3中A处局部放大图；图5为本技术分离机构内部结构示意图。图例说明：1、装置主体；2、转动杆；3、调节箱；4、第二转轴；5、移动板；6、连接杆；7、固定块；8、第一电机；9、第一转轴；10、调节轮；11、伸缩杆；12、辅助弹簧；13、第一带轮；14、第二电机；15、第二带轮；16、皮带；17、喷砂罐；18、控制阀；19、输送管；20、喷砂枪；21、风机；22、集尘袋；23、防护罩；24、聚流斗；25、连接管；26、分离机构；27、排料口；260、箱体；261、第一腔室；262、第二腔室；263、过滤网。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。参照图1-5，本技术提供的一种晶圆喷砂机：包括装置主体1、喷砂罐17，装置主体1的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆2，且转动杆2与第一带轮13相连，转动杆2的一端固定连接有调节箱3，用于调节固定块7的工作状态，调节箱3的内部设置有移动板5，移动板5的侧壁固定连接有连接杆6，调节箱3的内底部固定连接有第一电机8，提供固定块7对晶圆的夹紧，第一电机8的输出端固定连接有第一转轴9，第一转轴9的顶部固定连接有调节轮10，控制移动板5的运动，装置主体1的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机14，在进行喷砂处理时，便于晶圆进行换面处理，第二电机14的输出端固定连接有第二转轴4，第二转轴4远离第二电机14的一端固定连接有第二带轮15，装置主体1的底部设置有聚流斗24，聚流斗24的底部设置有连接管25，便于碎石与砂石的输送，连接管25远离聚流斗24的一端固定连接有分离机构26，用于筛分砂石与碎石，喷砂罐17的一端设置有输送管19，输送管19远离喷砂罐17的一端延伸至装置主体1的内部并固定连接有喷砂枪20，装置主体1的内侧壁设置有风机21，用于排出喷砂机内部加工中产生的灰尘。连接杆6远离移动板5的一端贯穿调节箱3并固定连接有固定块7，固定块7的表面开设有凹槽，方便对晶圆进行喷砂处理时的固定。调节轮10为凸轮结构，调节轮10的位置与移动板5的位置相对应，便于实现对移动板5的控制，移动板5的侧壁且位于连接杆6的两侧均固定连接有伸缩杆11，对移动板5具有支撑固定作用，同时不阻碍移动板5的正常运动，伸缩杆11远离移动板5的一端与调节箱3的侧壁固定连接，伸缩杆11的外表面设置有辅助弹簧12，在调节轮10撤去作用力的情况下提供移动板5的恢复力，辅助弹簧12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆喷砂机，包括装置主体(1)、喷砂罐(17)、第一带轮(13)，其特征在于：所述装置主体(1)的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆(2)，且转动杆(2)与第一带轮(13)相连，所述转动杆(2)的一端固定连接有调节箱(3)，所述调节箱(3)的内部设置有移动板(5)，所述移动板(5)的侧壁固定连接有连接杆(6)，所述调节箱(3)的内底部固定连接有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端固定连接有第一转轴(9)，所述第一转轴(9)的顶部固定连接有调节轮(10)，所述装置主体(1)的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机(14)，所述第二电机(14)的输出端固定连接有第二转轴(4)，所述第二转轴(4)远离第二电机(14)的一端固定连接有第二带轮(15)，所述装置主体(1)的底部设置有聚流斗(24)，所述聚流斗(24)的底部设置有连接管(25)，所述连接管(25)远离聚流斗(24)的一端固定连接有分离机构(26)，所述喷砂罐(17)的一端设置有输送管(19)，所述输送管(19)远离喷砂罐(17)的一端延伸至装置主体(1)的内部并固定连接有喷砂枪(20)，所述装置主体(1)的内侧壁设置有风机(21)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆喷砂机，包括装置主体(1)、喷砂罐(17)、第一带轮(13)，其特征在于：所述装置主体(1)的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆(2)，且转动杆(2)与第一带轮(13)相连，所述转动杆(2)的一端固定连接有调节箱(3)，所述调节箱(3)的内部设置有移动板(5)，所述移动板(5)的侧壁固定连接有连接杆(6)，所述调节箱(3)的内底部固定连接有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端固定连接有第一转轴(9)，所述第一转轴(9)的顶部固定连接有调节轮(10)，所述装置主体(1)的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机(14)，所述第二电机(14)的输出端固定连接有第二转轴(4)，所述第二转轴(4)远离第二电机(14)的一端固定连接有第二带轮(15)，所述装置主体(1)的底部设置有聚流斗(24)，所述聚流斗(24)的底部设置有连接管(25)，所述连接管(25)远离聚流斗(24)的一端固定连接有分离机构(26)，所述喷砂罐(17)的一端设置有输送管(19)，所述输送管(19)远离喷砂罐(17)的一端延伸至装置主体(1)的内部并固定连接有喷砂枪(20)，所述装置主体(1)的内侧壁设置有风机(21)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述连接杆(6)远离移动板(5)的一端贯穿调节箱(3)并固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的表面开设有凹槽。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述调节轮(10)为凸轮结构，所述调节轮(10)的位置与移动板(5)的位置相对应，所述移动板(5)的侧壁且位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：姬煜，赵通，
申请(专利权)人：江苏无恙半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32