真空室的检漏工装制造技术

本公开涉及真空检测技术领域，尤其涉及一种真空室的检漏工装。该检漏工装包括检测板，所述检测板具有抽真空口，所述抽真空口贯穿所述检测板，且所述检测板的内侧面设有用于与待检测真空室的连接法兰密封连接的橡胶密封圈和用于与所述连接法兰卡合的连接部。本公开的检漏工装，不需要其他螺钉、螺栓等紧固件即可实现与连接法兰的卡合固定，方便安装和拆卸，且采用橡胶密封圈进行密封，降低了设备的成本。

【技术实现步骤摘要】
真空室的检漏工装
本公开涉及真空检测
，尤其涉及一种真空室的检漏工装。
技术介绍
对于超高真空的真空室，需要用CF法兰连接，其为金属静密封，可以承受高温烘烤。当法兰与真空室连接完成后，需对法兰、接管、真空室之间的焊缝进行检测，CF法兰接口密封需要无氧铜密封圈和CF法兰盲板，无氧铜标准型号CF40-CF250价格不等，而大尺寸的铜密封圈(例如CF400)需要定制，只为漏率检测而使用密封圈和法兰盲板会增加成本，同时法兰盲板的拆装也很消耗时间。
技术实现思路
为了解决对法兰和真空室连接处的检测时使用铜密封圈和法兰盲板增加成本和拆卸不便的技术问题，本公开提供了一种真空室的检漏工装。本公开提供的一种真空室的检漏工装，包括检测板，所述检测板具有抽真空口，所述抽真空口贯穿所述检测板，且所述检测板的内侧面设有用于与待检测真空室的连接法兰密封连接的橡胶密封圈和用于与所述连接法兰卡合的连接部。可选的，所述检测板的内侧面包括操作区和密封区，所述操作区是以所述内侧面的中心为圆心的圆形区域，所述密封区围绕所述操作区设置，且所述密封区位于所述检测板的内侧面的边缘处。可选的，所述操作区向外凸起形成凸台，所述凸台做为与所述连接法兰卡合的所述连接部。可选的，所述密封区设有用于安装所述橡胶密封圈的环形安装槽。所述橡胶密封圈至少部分凸出于所述环形安装槽的槽口。可选的，所述环形安装槽自槽底向槽口方向逐渐收缩。可选的，所述环形安装槽的截面的形状为梯形或燕尾形，且所述环形安装槽的槽口的宽度小于所述橡胶密封圈的线径，所述环形安装槽的深度小于所述橡胶密封圈的线径。可选的，所述环形安装槽的槽口的宽度A＝0.9D，且所述环形安装槽的深度B＝0.7D，其中，D为所述橡胶密封圈的线径。可选的，还包括转接部件，所述转接部件设置在所述检测板的外侧面与所述抽真空口密封连接。可选的，所述转接部件与所述抽真空口的连接处通过第二密封圈密封。本公开实施例提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：本公开提供的检漏工装，通过在检测板的内侧面上设置的连接部，将检测板与真空室的连接法兰卡合固定，并通过橡胶圈实现检测板与连接法兰的密封连接，在抽真空口处将真空室的内部实现真空环境，此时只需要用氦气喷枪对被检测真空室的各焊缝喷氦气，根据氦检漏仪器的参数的变化，即可判断被检测部件是否有泄露。本公开的检漏工装，不需要其他螺钉、螺栓等紧固件即可实现与连接法兰的卡合固定，方便安装和拆卸，且采用橡胶密封圈进行密封，降低了设备的成本。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本公开一些实施例提供的真空室的检漏工装与连接法兰的装配图；图2为图1的B-B向剖视图；图3为本公开一些实施例提供的检漏工装的结构示意图；图4为本公开一些实施例提供的检漏工装的检测板的截面图；图5为图4中B的放大图。其中，1：检测板；2：转接部件；3：连接法兰；4：密封圈；5：把手；6：连接法兰；11：外侧面；12：内侧面；13：抽真空口；101：橡胶密封圈；102：台阶；103：环形安装槽；105：第一螺纹孔。具体实施方式为了能够更清楚地理解本公开的上述目的、特征和优点，下面将对本公开的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本公开，但本公开还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施例只是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。结合图1至图5所示，本公开实施例提供了一种真空室的检漏工装，包括检测板1，检测板1具有抽真空口13，抽真空口13贯穿检测板1，检测板1的内侧面12设有用于与待检测真空室的连接法兰6密封连接的橡胶密封圈101和用于与连接法兰6卡合的连接部。本公开的实施例中采用氦质谱检漏方法对真空室可能出现泄露的位置进行检测，及采用氦枪对可疑位置喷氦气，找出漏气的位置，随后对漏气位置进行后续处理。下面以CF400法兰为例，对真空室的检漏工装进行介绍。如图1所示，被检测部件的敞口端设置有CF400连接法兰6，检漏工装设置在CF400连接法兰6上与连接法兰6配合实现密封连接。具体的，检测板1采用铝制材料，其尺寸与CF400连接法兰6基本相同，体积较大，采用铝制材料可减轻整体重量，便于检漏工装与连接法兰6的装配。另外，铝制材料比较软，在将检漏工装与连接法兰6装配时，及时因为操作不当发生磕碰，也不会对连接法兰6造成损伤。进一步的，结合图3和图4所示，检测板1的形状为圆形，检测板1的内侧面12包括操作区和密封区，操作区是以内侧面12的中心为圆心的圆形区域，抽真空口13与操作区对应设置，密封区是围绕操作区设置的环形区域，密封区的内径等于或略大于操作区的直径，且密封区位于检测板1的内侧面12的边缘处，操作区向外凸起在内侧面12上形成凸台102，该凸台102在使用时做为连接部与连接法兰卡合，凸台102的直径d1略小于连接法兰6的内径，在检漏工装与连接法兰6装配时，凸台102卡合在连接法兰6的孔内，实现检漏工装与连接法兰6的卡合固定，并可以使检测板1可以稳固的放置在连接法兰6上，起到定位的作用，防止因为检测板1与连接法兰6的定位不好影响橡胶密封圈的密封效果。更进一步的，结合图5所示，在本公开的一些实施例中，密封区设有用于安装橡胶密封圈101的环形安装槽103。采用环形安装槽103与橡胶密封圈101配合安装，密封性更好。环形安装槽103自内侧面12向外侧面的11的方向开设，也就是说，环形安装槽103的槽口设置在内侧面12上，环形安装槽103自槽底向槽口方向逐渐收缩，也就是说槽口的宽度小于槽底的宽度，环形安装槽103的槽口的宽度小于橡胶密封圈101的线径，环形安装槽103的深度小于橡胶密封圈101的线径，这样设置可以防止检测板1的内侧面12朝下的时候，橡胶密封圈101从环形安装槽103内脱落，提高橡胶密封圈101安装的稳定性。为了实现橡胶密封圈101的有效密封，橡胶密封圈101至少部分凸出于环形安装槽103的槽口，进一步的，环形安装槽103的横截面的形状为梯形或燕尾形，环形安装槽103的槽口的宽度A＝0.9D，环形安装槽103的深度B＝0.7D，其中D是橡胶密封圈101的线径，这样设置，橡胶密封圈101会嵌入到环形安装槽103内，从而不会从中脱落。为了实现与抽真空装置的密封连接，在本公开的一些实施例中，检漏工装还设置转接部件，转接部件设置在检测板1的侧面上，且与抽真空口13密封连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空室的检漏工装，其特征在于，包括检测板(1)，所述检测板(1)具有抽真空口(13)，所述抽真空口(13)贯穿所述检测板(1)，且所述检测板(1)的内侧面(12)设有用于与待检测真空室的连接法兰(6)密封连接的橡胶密封圈(101)和用于与所述连接法兰(6)卡合的连接部。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空室的检漏工装，其特征在于，包括检测板(1)，所述检测板(1)具有抽真空口(13)，所述抽真空口(13)贯穿所述检测板(1)，且所述检测板(1)的内侧面(12)设有用于与待检测真空室的连接法兰(6)密封连接的橡胶密封圈(101)和用于与所述连接法兰(6)卡合的连接部。


2.根据权利要求1所述的真空室的检漏工装，其特征在于，所述检测板(1)的内侧面(12)包括操作区和密封区，所述操作区是以所述内侧面(12)的中心为圆心的圆形区域，所述密封区围绕所述操作区设置，且所述密封区位于所述检测板(1)的内侧面的边缘处。


3.根据权利要求2所述的真空室的检漏工装，其特征在于，所述操作区向外凸起形成凸台(102)，所述凸台(102)做为与所述连接法兰卡合的所述连接部。


4.根据权利要求3所述的真空室的检漏工装，其特征在于，所述密封区设有用于安装所述橡胶密封圈(101)的环形安装槽(103)。


5.根据权利要求4所述的真空室的检漏工装，其特征在于，所述橡胶密封圈(101)至少部分凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉清，吴超，
申请(专利权)人：新奥科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13