【技术实现步骤摘要】
一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法
本专利技术涉及气密性检漏的装置及工艺
，具体为一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法。
技术介绍
真空电子器件是构成行波管的重要组成部件，而真空电子器件的气密性是影响行波管使用寿命和性能的主要因素，因此对于真空电子器件的气密性检漏是保障器件可靠性的必要工序。目前针对真空电子器件的气密性检漏普遍采用氦质谱真空检漏法，虽然这种方法检测灵敏度高，但需要保证行波管的零部件在检漏时实现密封。当前行业内采取的方法是在真空橡胶垫上涂抹一层真空油脂，通过检漏仪抽真空实现工件的密封，虽然这种方法行之有效，但接触油脂的零部件需要再次清洗去除油脂，而对于内部结构复杂的零部件，真空油脂较难清洗去除干净，造成行波管被污染，残留的真空油脂在行波管工作时会发生分解，影响真空电子器件的性能，使行波管存在安全隐患。本申请介绍了一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法，可实现工件无污染密封检漏，并可防止微小、薄壁及细长工件的受压变形。通过可调节压力系统施加一定压力，作用于工件上，通过真空橡皮垫的形变实现工件的...
【技术保护点】
1.一种真空电子器件气密性检漏的装置，包括支撑架（1），其特征在于：所述压力系统（1）、支架系统、密封系统、辅助机构系统和平板（10），所述支架系统包括顶板（2）、立柱（3）和底板（9），所述密封系统包括密封框（5）和密封门（7），所述辅助机构系统包括手动施压装置（4）和自动施压装置（8）。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空电子器件气密性检漏的装置，包括支撑架（1），其特征在于：所述压力系统（1）、支架系统、密封系统、辅助机构系统和平板（10），所述支架系统包括顶板（2）、立柱（3）和底板（9），所述密封系统包括密封框（5）和密封门（7），所述辅助机构系统包括手动施压装置（4）和自动施压装置（8）。
2.根据权利要求1所述的一种真空电子器件气密性检漏的装置，其特征在于：所述压力系统（1）固定安装在顶板（2）的顶端中部。
3.根据权利要求1所述的一种真空电子器件气密性检漏的装置，其特征在于：所述顶板（2）可拆卸安装在立柱（3）上，所述立柱（3）可拆卸安装于顶板（2）和底板（9）之间。
4.根据权利要求1所述的一种真空电子器件气密性检漏的装置，其特征在于：所述密封框（5）固定连接在顶板（2）、底板（9）和立柱（3）的内侧。
5.根据权利要求1所述的一种真空电子器件气密性检漏的装置，其特征在于：所述底板（9）设为工作平台，所述底板（9）的底端设置有检漏仪（11），所述检漏仪（11）的顶端安装有平板（10），且所述底板（9）的中间设置凹槽用于放置真空橡胶垫。
6.根据权利要求1所述的一种真空电子器件气密性检漏的装置，其特征在于：所述辅助机构系统可拆卸安...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱校辰，李林，吴亚琴，姚建波，高峰，林晓辉，
申请(专利权)人：南京三乐集团有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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