一种用于蒸镀设备的基板承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于蒸镀设备的基板承载装置，涉及蒸镀技术领域。本实用新型专利技术包括一组滑移架，滑移架内固定有双向丝杆机构，两滑移架之间的两端均传动连接有拉持组件，拉持组件一侧设有夹持组件，夹持组件包括L形板，L形板顶部并排固定有若干横板。本实用新型专利技术通过设置一组夹持组件能够夹持基板本体和掩膜板的两侧，通过滑移架、双向丝杆机构和拉持组件的配合能够调节两个夹持组件之间的距离，从而能够拉紧基板本体和掩膜板，同时在拉持组件和夹持组件之间设置直杆、弹簧、垫环和滑动套，能够保证两个拉持组件之间的拉持力，解决了现有的承载结构不利于基板和掩膜板平整固定的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于蒸镀设备的基板承载装置
本技术属于蒸镀
，特别是涉及一种用于蒸镀设备的基板承载装置。
技术介绍
现有的蒸镀设备内真空腔室内基板和掩膜板的定位和固定，多采用支架或平台的方式进行支撑，然而此支架为中空的，会出现基板或掩膜板易下垂的情况，从而影响基板与掩膜板之间对位的精确性，影响膜的质量。现在多设计带磁性或压力的板体结构挤压吸附基板，用于消除基板和掩膜板的下垂情况，然而此结构多固定安装在真空腔室内，不利于基板和掩膜板的放料和定位，同时不利于控制基板的受力情况。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于蒸镀设备的基板承载装置，通过设置一组夹持组件能够夹持基板本体和掩膜板的两侧，通过滑移架、双向丝杆机构和拉持组件的配合能够调节两个夹持组件之间的距离，从而能够拉紧基板本体和掩膜板，同时在拉持组件和夹持组件之间设置直杆、弹簧、垫环和滑动套，能够保证两个拉持组件之间的拉持力，解决了现有的承载结构不利于基板和掩膜板平整固定的问题。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种用于蒸镀设备的基板承载装置，包括一组滑移架，所述滑移架内固定有双向丝杆机构，两所述滑移架之间的两端均传动连接有拉持组件，所述拉持组件一侧设有夹持组件；所述夹持组件包括L形板，所述L形板顶部并排固定有若干横板，所述横板顶部固定有液压杆，若干所述液压杆的输出端贯穿横板且固定有压杆；所述L形板的后侧并排固定有若干直杆，所述直杆一端固定有垫环；所述拉持组件包括拉持板，所述拉持板一表面通过若干拉杆固定有一连接板，所述连接板上并排固定有若干导向套，若干所述导向套分别套接在若干直杆上且与直杆滑动连接，所述导向套与垫环之间固定有弹簧，所述弹簧环绕设置在直杆外表面；所述拉持板两端均固定有传动块，所述传动块位于滑移架内部且与滑移架滑动连接，所述传动块与双向丝杆机构传动连接。进一步地，还包括真空腔室，所述真空腔室一侧设有开口，一组所述滑移架一端固定有侧门，所述侧门位于开口外部且通过锁具与真空腔室外壁固定连接，所述侧门内侧设有密封件，所述密封件与开口间隙配合。进一步地，还包括导轨，所述导轨固定在真空腔室内且与开口位置上相对，所述滑移架底部固定有滑块，所述滑移架通过滑块和导轨与真空腔室滑动连接。进一步地，所述双向丝杆机构包括双向螺杆和电机，所述电机固定在侧门一侧，所述双向螺杆位于滑移架内，所述双向螺杆一端与滑移架一侧转动连接，所述双向螺杆另一端贯穿滑移架另一侧和侧门且与电机输出端固定连接。进一步地，所述传动块上开设有螺纹孔，所述传动块通过螺纹孔与双向螺杆螺纹连接。进一步地，所述直杆周侧面固定有限位环，所述导向套的内径与直杆的外径相同。进一步地，还包括基板本体和掩膜板，两所述夹持组件上的压杆和L形板之间形成夹持腔，所述基板本体和掩膜板设置在夹持腔内，所述压杆底面和L形板内壁均设有橡胶垫。本技术具有以下有益效果：1、本技术通过设置一组夹持组件能够夹持基板本体和掩膜板的两侧，通过滑移架、双向丝杆机构和拉持组件的配合能够调节两个夹持组件之间的距离，从而能够拉紧基板本体和掩膜板，避免基板本体和掩膜板出现下垂的情况，保证了基板本体与掩膜板之间的精确对位，保证了图形位置的准确性。2、本技术通过在拉持组件和夹持组件之间设置直杆、弹簧、垫环和滑动套，使拉持板和夹持组件之间存在一定的缓冲力，且缓冲力一定，保证拉持力在一定范围内，避免拉持力过大造成基板本体或掩膜板变形或脱落的情况。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一种用于蒸镀设备的基板承载装置的结构示意图；图2为本技术仰视视角的结构示意图；图3为图2中A-A处的结构剖视图；图4为滑移架的结构示意图；图5为拉持组件和夹持组件的结构示意图；图6为夹持组件的结构示意图；图7为拉持组件的结构示意图；附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-滑移架，2-双向丝杆机构，3-拉持组件，4-夹持组件，5-导轨，6-基板本体，7-掩膜板，101-侧门，102-密封件，103-滑块，201-双向螺杆，202-电机，301-拉持板，302-拉杆，303-导向套，304-弹簧，305-传动块，306-螺纹孔，307-连接板，401-L形板，402-横板，403-液压杆，404-压杆，405-直杆，406-垫环，407-限位环。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-7所示，本技术为一种用于蒸镀设备的基板承载装置，包括一组滑移架1，滑移架1内固定有双向丝杆机构2，两滑移架1之间的两端均传动连接有拉持组件3，拉持组件3一侧设有夹持组件4；夹持组件4包括L形板401，L形板401顶部并排固定有若干横板402，横板402顶部固定有液压杆403，若干液压杆403的输出端贯穿横板402且固定有压杆404；L形板401的后侧并排固定有若干直杆405，直杆405一端固定有垫环406；拉持组件3包括拉持板301，拉持板301一表面通过若干拉杆302固定有一连接板307，连接板307上并排固定有若干导向套303，若干导向套303分别套接在若干直杆405上且与直杆405滑动连接，导向套303与垫环406之间固定有弹簧304，弹簧304环绕设置在直杆405外表面；拉持板301两端均固定有传动块305，传动块305位于滑移架1内部且与滑移架1滑动连接，传动块305与双向丝杆机构2传动连接。其中如图1-3所示，还包括真空腔室，真空腔室一侧设有开口，一组滑移架1一端固定有侧门101，侧门101位于开口外部且通过锁具与真空腔室外壁固定连接，侧门101内侧设有密封件102，密封件102与开口间隙配合。其中如图1和图3-4所示，还包括导轨5，导轨5固定在真空腔室内且与开口位置上相对，滑移架1底部固定有滑块103，滑移架1通过滑块103和导轨5与真空腔室滑动连接。其中如图1和图3-4所示，双向丝杆机构2包括双向螺杆201和电机202，电机202固定在侧门101一侧，双向螺杆201位于滑移架1内，双向螺杆201一端与滑移架1一侧转动连接，双向螺杆201另一端贯穿滑移架1另一侧和侧门101且与电机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于蒸镀设备的基板承载装置，其特征在于：包括一组滑移架(1)，所述滑移架(1)内固定有双向丝杆机构(2)，两所述滑移架(1)之间的两端均传动连接有拉持组件(3)，所述拉持组件(3)一侧设有夹持组件(4)；/n所述夹持组件(4)包括L形板(401)，所述L形板(401)顶部并排固定有若干横板(402)，所述横板(402)顶部固定有液压杆(403)，若干所述液压杆(403)的输出端贯穿横板(402)且固定有压杆(404)；/n所述L形板(401)的后侧并排固定有若干直杆(405)，所述直杆(405)一端固定有垫环(406)；/n所述拉持组件(3)包括拉持板(301)，所述拉持板(301)一表面通过若干拉杆(302)固定有一连接板(307)，所述连接板(307)上并排固定有若干导向套(303)，若干所述导向套(303)分别套接在若干直杆(405)上且与直杆(405)滑动连接，所述导向套(303)与垫环(406)之间固定有弹簧(304)，所述弹簧(304)环绕设置在直杆(405)外表面；/n所述拉持板(301)两端均固定有传动块(305)，所述传动块(305)位于滑移架(1)内部且与滑移架(1)滑动连接，所述传动块(305)与双向丝杆机构(2)传动连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于蒸镀设备的基板承载装置，其特征在于：包括一组滑移架(1)，所述滑移架(1)内固定有双向丝杆机构(2)，两所述滑移架(1)之间的两端均传动连接有拉持组件(3)，所述拉持组件(3)一侧设有夹持组件(4)；
所述夹持组件(4)包括L形板(401)，所述L形板(401)顶部并排固定有若干横板(402)，所述横板(402)顶部固定有液压杆(403)，若干所述液压杆(403)的输出端贯穿横板(402)且固定有压杆(404)；
所述L形板(401)的后侧并排固定有若干直杆(405)，所述直杆(405)一端固定有垫环(406)；
所述拉持组件(3)包括拉持板(301)，所述拉持板(301)一表面通过若干拉杆(302)固定有一连接板(307)，所述连接板(307)上并排固定有若干导向套(303)，若干所述导向套(303)分别套接在若干直杆(405)上且与直杆(405)滑动连接，所述导向套(303)与垫环(406)之间固定有弹簧(304)，所述弹簧(304)环绕设置在直杆(405)外表面；
所述拉持板(301)两端均固定有传动块(305)，所述传动块(305)位于滑移架(1)内部且与滑移架(1)滑动连接，所述传动块(305)与双向丝杆机构(2)传动连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀设备的基板承载装置，其特征在于，还包括真空腔室，所述真空腔室一侧设有开口，一组所述滑移架(1)一端固定有侧门(101)，所述侧门(101)位于开口外部且通过锁具与真空腔室外壁固定连接，所述侧门(101)内侧设有密封件(102)，所述密封件(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志宏，卞徐龙，卞小通，卞荣伟，
申请(专利权)人：江苏三房巷薄膜有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32