一种离子溅射镀膜机的旋转工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种离子溅射镀膜机的旋转工装，属于离子溅射镀膜机设备技术领域，包括第一旋转盘（1）、第二旋转盘（2）、一组连接杆（3）及旋转轴（4），所述旋转轴（4）顶端穿设于第一旋转盘（1）中心，底端与第二旋转盘（2）中心相连且通过连接头（5）与离子溅射镀膜机的旋转电机相连，所述连接杆（3）均匀设于第一旋转盘（1）和第二旋转盘（2）之间，所述连接杆（3）上设有一组均匀分布的挂钩（31）。该种离子溅射镀膜机的旋转工装结构简单，可容纳多个加工件，而且可使加工件表面各表面均能均匀镀膜，可有效提高产品的加工效率和加工质量。

【技术实现步骤摘要】
一种离子溅射镀膜机的旋转工装
本技术属于离子溅射镀膜机设备
，具体地，涉及一种离子溅射镀膜机的旋转工装。
技术介绍
离子溅射镀膜技术是现阶段被广泛使用的镀膜技术，普遍应用于微电子、陶瓷材料等领域，市场应用需求很大，采用离子溅射镀膜机来实现。离子溅射镀膜机内工作部分为密闭空间，将待加工件置于该密闭空间内进行离子溅射镀膜，为了使加工件表面能均匀地镀膜，需要使加工件进行旋转，因此需要设置旋转工装来配合对加工件各表面进行离子溅射镀膜，而且在进行大批量加工时，还需要该旋转工装可以容纳较多的加工件。
技术实现思路
为了解决以上问题，本技术提供一种离子溅射镀膜机的旋转工装，该种离子溅射镀膜机的旋转工装结构简单，可容纳多个加工件，而且可使加工件表面各表面均能均匀镀膜，可有效提高产品的加工效率和加工质量。为了达到上述目的，本技术通过以下技术方案来实现：一种离子溅射镀膜机的旋转工装，包括第一旋转盘、第二旋转盘、一组连接杆及旋转轴，所述旋转轴顶端穿设于第一旋转盘中心，底端与第二旋转盘中心相连且通过连接头与离子溅射镀膜机的旋转电机相连，所述连接杆均匀设于第一旋转盘和第二旋转盘之间，所述连接杆上设有一组均匀分布的挂钩。旋转轴与离子溅射镀膜机内的旋转电机通过连接头相连，可带动第二旋转盘旋转，第一旋转盘及连接杆与第二旋转盘相连，可随第二旋转盘转动，挂钩上可挂上加工件，加工件随连接杆同步转动，使加工件进行转动，可使加工件各个表面均能进行离子镀膜，提高了加工质量，而且还能同时加工多个产品，提高了加工效率。进一步地，所述第一旋转盘形状尺寸与第二旋转盘形状尺寸一致。使连接杆处于垂直状态，保持各加工件的加工距离一致，而且挂钩挂住的各加工件之间互不影响，使批次间的产品加工质量一致性高。进一步地，所述第一旋转盘中心处设有第一连接座，所述第一连接座通过一组均匀分布的第一连接筋与第一旋转盘固定相连，所述第一旋转盘、第一连接筋及第一连接座一体成型，所述第一连接座为空心圆柱体结构，所述第一旋转盘上设有一组均匀分布的第一连接孔，所述第一连接孔内径与连接杆直径相等。连接杆穿过第一连接孔与第一旋转盘固定，旋转轴穿过第一连接座。进一步地，所述第二旋转盘中心处设有第二连接座，所述第二连接座通过一组均匀分布的第二连接筋与第二旋转盘相连，所述第二旋转盘、第二连接座及第二连接筋一体成型，所述第二连接座为空心圆柱体结构，所述第二连接座内径与旋转轴外径相等，所述第二旋转盘上设有一组均匀分布的第二连接孔，所述第二连接孔未穿过第二旋转盘，所述第二连接孔与第一连接孔位置相对，且直径与连接杆直径相等。旋转轴穿过第二连接座与第二旋转盘固定相连，从而带动第二旋转盘旋转，连接杆依次穿过第一连接孔及第二连接孔，从而与第一旋转盘及第二旋转盘相连，第二连接孔未穿过第二旋转盘，可避免连接杆的位置移动，增强对连接杆的固定作用，进而避免产品位置移动，影响产品加工质量。进一步地，所述连接头包括第一连接头和第二连接头，所述第一连接头与第二连接头一体成型，所述第一连接头和第二连接头均为空心圆柱体状，所述第一连接头内径与第二连接座外径相等。第一连接头可增强连接头与第二旋转盘的固定作用，第二连接头可使旋转轴与旋转电机的输出端相连。进一步地，所述第二连接座上设有一组均匀分布的固定孔，所述第一连接头上设有一组均匀分布的安装孔，所述固定孔与安装孔内径相等，当所述第二连接座套设于第一连接头内部时，所述固定孔与安装孔相连通且可由螺钉穿过固定。通过螺钉穿过固定孔和安装孔，可进一步增强连接头与第二旋转盘的固定作用。进一步地，所述第一连接筋及第二连接筋数量均设为3个。既能保证第一旋转盘及第二旋转盘结构的稳固性，又能简化结构。有益效果：与现有技术相比，本技术具有以下优点：本技术提供的一种离子溅射镀膜机的旋转工装，该种离子溅射镀膜机的旋转工装通过旋转轴与离子溅射镀膜机内的旋转电机相连，可带动第二旋转盘、第一旋转盘及连接杆的转动，从而使加工件同步转动，使加工件各个表面均能进行离子镀膜，提高了加工质量，而且还能同时加工多个产品，提高了加工效率。附图说明图1为本技术所述的一种离子溅射镀膜机的旋转工装结构图；图2为本技术所述的第二旋转盘结构图；图3为本技术所述的连接头结构图。图中：1第一旋转座、11第一连接筋、12第一连接座、13第一连接孔、2第二旋转座、21第二连接筋、22第二连接座、221固定孔、23第二连接孔、3连接杆、31挂钩、4旋转轴、5连接头、51第一连接头、511安装孔、52第二连接头。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐述本技术。实施例1如图1所示，一种离子溅射镀膜机的旋转工装，包括第一旋转盘1、第二旋转盘2、一组连接杆3及旋转轴4，所述旋转轴4顶端穿设于第一旋转盘1中心，底端与第二旋转盘2中心相连且通过连接头5与离子溅射镀膜机的旋转电机相连，所述连接杆3均匀设于第一旋转盘1和第二旋转盘2之间，所述连接杆3上设有一组均匀分布的挂钩31。其中，所述第一旋转盘1中心处设有第一连接座12，所述第一连接座12通过一组均匀分布的第一连接筋11与第一旋转盘1固定相连，所述第一旋转盘1、第一连接筋11及第一连接座12一体成型，所述第一连接座12为空心圆柱体结构，所述第一旋转盘1上设有一组均匀分布的第一连接孔13，所述第一连接孔13内径与连接杆3直径相等。此外，如图2所示，所述第二旋转盘2中心处设有第二连接座22，所述第二连接座22通过一组均匀分布的第二连接筋21与第二旋转盘2相连，所述第二旋转盘2、第二连接座22及第二连接筋21一体成型，所述第二连接座22为空心圆柱体结构，所述第二连接座22内径与旋转轴4外径相等，所述第二旋转盘2上设有一组均匀分布的第二连接孔23，所述第二连接孔23未穿过第二旋转盘2，所述第二连接孔23与第一连接孔13位置相对，且直径与连接杆3直径相等。另外，如图3所示，所述连接头5包括第一连接头51和第二连接头52，所述第一连接头51与第二连接头52一体成型，所述第一连接头51和第二连接头52均为空心圆柱体状，所述第一连接头51内径与第二连接座22外径相等。实施例2如图1所示，一种离子溅射镀膜机的旋转工装，包括第一旋转盘1、第二旋转盘2、一组连接杆3及旋转轴4，所述旋转轴4顶端穿设于第一旋转盘1中心，底端与第二旋转盘2中心相连且通过连接头5与离子溅射镀膜机的旋转电机相连，所述连接杆3均匀设于第一旋转盘1和第二旋转盘2之间，所述连接杆3上设有一组均匀分布的挂钩31。所述第一旋转盘1形状尺寸与第二旋转盘2形状尺寸一致。其中，所述第一旋转盘1中心处设有第一连接座12，所述第一连接座12通过3组均匀分布的第一连接筋11与第一旋转盘1固定相连，所述第一旋转盘1、第一连接筋11及第一连接座12一体成型，所述第一连接座12为空心圆柱体结构，所述第一旋转盘1上设有一组均匀分布的第一连接孔13，所述第一连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子溅射镀膜机的旋转工装，其特征在于：包括第一旋转盘（1）、第二旋转盘（2）、一组连接杆（3）及旋转轴（4），所述旋转轴（4）顶端穿设于第一旋转盘（1）中心，底端与第二旋转盘（2）中心相连且通过连接头（5）与离子溅射镀膜机的旋转电机相连，所述连接杆（3）均匀设于第一旋转盘（1）和第二旋转盘（2）之间，所述连接杆（3）上设有一组均匀分布的挂钩（31）。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子溅射镀膜机的旋转工装，其特征在于：包括第一旋转盘（1）、第二旋转盘（2）、一组连接杆（3）及旋转轴（4），所述旋转轴（4）顶端穿设于第一旋转盘（1）中心，底端与第二旋转盘（2）中心相连且通过连接头（5）与离子溅射镀膜机的旋转电机相连，所述连接杆（3）均匀设于第一旋转盘（1）和第二旋转盘（2）之间，所述连接杆（3）上设有一组均匀分布的挂钩（31）。


2.根据权利要求1所述的一种离子溅射镀膜机的旋转工装，其特征在于：所述第一旋转盘（1）形状尺寸与第二旋转盘（2）形状尺寸一致。


3.根据权利要求1或2所述的一种离子溅射镀膜机的旋转工装，其特征在于：所述第一旋转盘（1）中心处设有第一连接座（12），所述第一连接座（12）通过一组均匀分布的第一连接筋（11）与第一旋转盘（1）固定相连，所述第一旋转盘（1）、第一连接筋（11）及第一连接座（12）一体成型，所述第一连接座（12）为空心圆柱体结构，所述第一旋转盘（1）上设有一组均匀分布的第一连接孔（13），所述第一连接孔（13）内径与连接杆（3）直径相等。


4.根据权利要求3所述的一种离子溅射镀膜机的旋转工装，其特征在于：所述第二旋转盘（2）中心处设有第二连接座（22），所述第二连接座（22）通过一组均匀分布的第二连接筋（21）与第二旋转盘（2）相连，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈泽丰，
申请(专利权)人：镇江晶鼎光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32