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一种用于蒸镀设备的基板承载装置制造方法及图纸
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下载一种用于蒸镀设备的基板承载装置的技术资料
文档序号:28334686
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本实用新型公开了一种用于蒸镀设备的基板承载装置,涉及蒸镀技术领域。本实用新型包括一组滑移架,滑移架内固定有双向丝杆机构,两滑移架之间的两端均传动连接有拉持组件,拉持组件一侧设有夹持组件,夹持组件包括L形板,L形板顶部并排固定有若干横板。本实...
该专利属于江苏三房巷薄膜有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏三房巷薄膜有限公司授权不得商用。
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