【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】长寿命激光器腔室电极和具有该长寿命激光器腔室电极的激光器相关申请的交叉引用本申请要求于2018年9月20日提交的第62/733708号美国申请的优先权,其全部内容通过引用并入本文。
本公开的主题涉及诸如被用于集成电路光刻制造工艺的激光器产生的光源。
技术介绍
在激光器放电腔室(诸如,ArF功率环放大器准分子放电腔室(“PRA”)或KrF准分子放电腔室)中,电极侵蚀对腔室模块的使用寿命施加了重大限制。延长KrF准分子放电腔室模块的使用寿命的一种措施是用耐磨损的材料制成阳极。例如,关于适合用作阳极材料的材料的信息可以在2007年11月27日发布的美国专利No.7301980和2004年2月10日发布的美国专利No.6690706中找到,这两个专利都转让给了本申请的申请人并且其全部内容通过引用整体而被并入本文。含氟的等离子体对金属具有高度腐蚀性,因此在腔室的操作期间导致电机腐蚀和侵蚀。例如,在阳极的表面上可能发生腐蚀产物堆积的局部区域的成核和生长。这导致电极之间的放电不均匀和下游电弧。这些腐蚀岛的堆 ...
【技术保护点】
1.一种用于激光器腔室的电极,所述电极包括第一金属和第二金属的合金,所述第一金属与氟形成的第一自由能大于或等于铜与氟形成的自由能,并且所述第二金属与氟形成的第二自由能小于所述第一自由能。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180920 US 62/733,7081.一种用于激光器腔室的电极,所述电极包括第一金属和第二金属的合金,所述第一金属与氟形成的第一自由能大于或等于铜与氟形成的自由能,并且所述第二金属与氟形成的第二自由能小于所述第一自由能。
2.根据权利要求1所述的用于激光器腔室的电极,其中所述第一金属是钴。
3.根据权利要求1所述的用于激光器腔室的电极,其中所述第二金属是铜。
4.根据权利要求1所述的用于激光器腔室的电极,其中所述第一金属是钴并且所述第二金属是铜。
5.根据权利要求4所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是CoCu(5-15wt%)。
6.根据权利要求5所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是Co90Cu10wt%。
7.根据权利要求1所述的用于激光器腔室的电极,其中所述第二金属是银。
8.根据权利要求1所述的用于激光器腔室的电极,其中所述第一金属是铜并且所述第二金属是银。
9.根据权利要求8所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是Cu(x)Ag(100-x)wt%,其中x处于大约95至大约60的范围内。
10.根据权利要求9所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是Cu60Ag40wt%。
11.一种用于激光器腔室的电极,所述电极包括钴和铜的合金。
12.根据权利要求11所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是CoCu(5-15wt%)。
13.根据权利要求11所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是Co90Cu10wt%。
14.一种用于激光器腔室的电极,所述电极包括铜和银的合金。
15.根据权利要求14所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是Cu(x)Ag(100-x)wt%,其中x处于大约95至大约60的范围内。
16.根据权利要求14所述的用于激光器腔室的电极,其中所述合金是Cu60Ag40wt%。
17.一...
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