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公开了一种用于激光器腔室的电极，该电极包括第一金属和第二金属的合金，第一金属与氟形成的第一自由能大于或等于铜与氟形成的自由能，并且第二金属与氟形成的第二自由能小于第一自由能。...
该专利属于西默有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西默有限公司授权不得商用。

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