温度控制装置制造方法及图纸

本申请涉及一种温度控制装置，安装于激光直写设备上，激光直写设备包括架体、设置在架体内用以进行激光直写的工作区域、位于工作区域上方的密闭区域、位于工作区域下方的温控区域及与工作区域、温度控制装置信号连接的控制器，温度控制装置包括：温度传感器，设置在工作区域内以检测工作区域内的温度；冷水机，与温度传感器信号连接；风道机构，竖向设置在工作区域内且连接温控区域及密闭区域；冷凝翅片，设置在温控区域内且连接冷水机及风道机构；风扇，设置在风道机构上；风机过滤器，设置在密闭区域内且用以将流向至工作区域的气流过滤。本申请的温度控制装置能够集成至激光直写设备上，且控温精度高。

【技术实现步骤摘要】
温度控制装置
本专利技术涉及一种温度控制装置，属于激光直写

技术介绍
在激光直写过程中，对设备内部腔体的环境要求很高，这个环境包括两方面：温度和洁净度。环境温度变化范围一般为0.5℃，洁净度要求一般为1000级，这两个技术参数相对来说较为苛刻，控制设备内部温度及洁净度成为一大难题。因此，激光直写设备的温度控制装置应运而生，但是，现有技术在控温过程中存在反应不及时，控温精度较差，难以集成到整机上等缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种温度控制装置，其能够集成至激光直写设备上，且控温精度高。为达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种温度控制装置，安装于激光直写设备上，所述激光直写设备包括架体、设置在所述架体内用以进行激光直写的工作区域、位于所述工作区域上方的密闭区域、位于所述工作区域下方的温控区域及与所述工作区域、温度控制装置信号连接的控制器，所述温度控制装置包括：温度传感器，设置在所述工作区域内以检测所述工作区域内的温度；冷水机，与所述温度传感器信号连接；风道机构，竖本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温度控制装置，安装于激光直写设备上，其特征在于，所述激光直写设备包括架体、设置在所述架体内用以进行激光直写的工作区域、位于所述工作区域上方的密闭区域、位于所述工作区域下方的温控区域及与所述工作区域、温度控制装置信号连接的控制器，所述温度控制装置包括：/n温度传感器，设置在所述工作区域内以检测所述工作区域内的温度；/n冷水机，与所述温度传感器信号连接；/n风道机构，竖向设置在所述工作区域内且连接所述温控区域及所述密闭区域；/n冷凝翅片，设置在所述温控区域内且连接所述冷水机及风道机构；/n风扇，设置在所述风道机构上；/n风机过滤器，设置在所述密闭区域内且用以将流向至所述工作区域的气流过滤。...

【技术特征摘要】
1.一种温度控制装置，安装于激光直写设备上，其特征在于，所述激光直写设备包括架体、设置在所述架体内用以进行激光直写的工作区域、位于所述工作区域上方的密闭区域、位于所述工作区域下方的温控区域及与所述工作区域、温度控制装置信号连接的控制器，所述温度控制装置包括：
温度传感器，设置在所述工作区域内以检测所述工作区域内的温度；
冷水机，与所述温度传感器信号连接；
风道机构，竖向设置在所述工作区域内且连接所述温控区域及所述密闭区域；
冷凝翅片，设置在所述温控区域内且连接所述冷水机及风道机构；
风扇，设置在所述风道机构上；
风机过滤器，设置在所述密闭区域内且用以将流向至所述工作区域的气流过滤。


2.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于，所述温控区域具有与所述工作区域连通设...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐顺达，吕帅，王冠楠，朱鹏飞，浦东林，
申请(专利权)人：苏州苏大维格科技集团股份有限公司，苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32