【技术实现步骤摘要】
具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置和方法
本专利技术属于激光测距领域，更具体地，涉及一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置和方法。
技术介绍
现代工业生产中，零件加工的精密程度越来越成为高性能设备的关键，准确且稳定的生产出所需要的特定尺寸和形貌的零件非常重要。因此，对所生产的零件进行精确的检测是保证高质量生产的重要环节。现有的技术中，申请号为201910648603.5公开了一种专利技术名称为“一种物体表面三维坐标测量系统以及测量方法”的专利申请，其处理器用于对测量臂、第一参考臂和第二参考臂返回的激光之间的干涉信号进行分析处理，以获得待测物体在Z轴方向的深度，同时还用于结合二维位移平台反应的待测物体在XY平面坐标生成待测物体三维坐标，这实质上是一种通过逐点扫描获得零件的形貌，其将样品设置在X、Y二维平台上，可以扩展了测量的范围，但其测量过程依赖于机械运动，必然会引入机械扫描误差，也会使得设备面临运动部件老化、不稳定等问题。而且测量速度还会受限于扫描的速度，难以在高灵敏度的同时获...
【技术保护点】
1.具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置，其特征在于，其包括第一二向色镜(4)、分束器(5)、第二二向色镜(6)、显微镜(9)、相机(17)、光谱仪(13)、采集控制单元(18)和可运动反射器件(15)，其中，/n第一二向色镜(4)的透射光方向上设置分束器(5)，分束器(5)反射光方向上设置有载物台，用于放置待测距或者测厚的样品，在载物台和分束器(5)之间设置显微镜(9)，显微镜(9)用于观察待测样品，分束器(5)透射光方向上设置可运动反射器件(15)，/n分束器(5)具有四个端口，四个端口分别位于矩形的四个边上，第一端口和第三端口位于相对的两个边上，第一端口...
【技术特征摘要】
1.具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置，其特征在于，其包括第一二向色镜(4)、分束器(5)、第二二向色镜(6)、显微镜(9)、相机(17)、光谱仪(13)、采集控制单元(18)和可运动反射器件(15)，其中，
第一二向色镜(4)的透射光方向上设置分束器(5)，分束器(5)反射光方向上设置有载物台，用于放置待测距或者测厚的样品，在载物台和分束器(5)之间设置显微镜(9)，显微镜(9)用于观察待测样品，分束器(5)透射光方向上设置可运动反射器件(15)，
分束器(5)具有四个端口，四个端口分别位于矩形的四个边上，第一端口和第三端口位于相对的两个边上，第一端口正对第一二向色镜(4)，第二端口正对显微镜，第三端口正对可运动反射器件(15)，第四端口的方向上设置有第二二向色镜(6)，
第二二向色镜(6)透射光方向上设置相机(17)，相机(17)与采集控制单元(18)相连，第二二向色镜(6)反射光方向上设置光谱仪(13)，光谱仪(13)连通采集控制单元(18)，采集控制单元(18)具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。
2.如权利要求1所述的一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置，其特征在于，工作时，在第一二向色镜(4)的透射光方向上还设置用于实现面阵扫频以测距或测厚的平行光，该平行光与分束器(5)分别设置在第一二向色镜(4)的两侧，在第一二向色镜(4)的反射光方向上设置有用于实现光学防抖的平行光，用于实现光学防抖的平行光与分束器(5)分别位于第一二向色镜(4)的两个相互垂直的反射光方向上。
3.如权利要求2所述的一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置，其特征在于，还包括可调谐激光器(1)、第一准直器(2)、扩束器(3)、宽光谱光源(8)和第二准直器(7)，其中，
可调谐激光器(1)出射光方向上依次设置第一准直器(2)和扩束器(3)，扩束器(3)正对第一二向色镜(4)的一侧，扩束器(3)和分束器(5)分别位于第一二向色镜(4)的两侧，
宽光谱光源(8)的出射光方向上设置有第二准直器(7)，第二准直器(7)与分束器(5)分别位于第一二向色镜(4)的两个相互垂直的反射光方向上。
4.如权利要求3所述的一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置，其特征在于，还包括第三准直器(12)，第三准直器(11)位于第二二向色镜(6)与光谱仪(13)之间，在可运动反射器件(15)和分束器(5)之间设置有滤光片(11)，滤光片(11)为中性滤光片，用于衰减光强。
5.如权利要求4所述的一种具有主动光学防抖...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨克成，鄢淦威，李微，郭文平，夏珉，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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