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本发明公开一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置，涉及激光扫频测距领域，包括第一、二二向色镜、分束器、显微镜、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件，第一二向色镜的透射光方向上设分束器，分束器反射光方向上设载物台，载物台...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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