定位方法、存储装置、计算机设备及测试装置制造方法及图纸

技术编号:28293831 阅读:33 留言:0更新日期:2021-04-30 16:16
本申请公开了一种定位方法、存储装置、计算机设备及测试装置。该定位方法包括:对待测试工件进行粗定位;将粗定位后的待测试工件搬运至承载台;获取承载于承载台的待测试工件的初始位置数据;确定初始位置数据与预设位置数据之间的偏差数据;根据偏差数据调控调节台,其中调节台与承载台连接,以调整待测试工件的位置。通过对工件进行粗定位和后续位置调节,本申请提供的定位方法能够调节待测试工件的位置至预设位置,进而避免因工件位置不准而导致的测试效率低的状况发生。

【技术实现步骤摘要】
定位方法、存储装置、计算机设备及测试装置
本申请涉及半导体测试
,特别是涉及一种定位方法、存储装置、计算机设备及测试装置。
技术介绍
现有对晶粒(die)进行检测的测试装置中,常因晶粒的位置不准而使得检测效率不高,而导致生产进度受影响较大。
技术实现思路
本申请主要提供一种定位方法、存储装置、计算机设备及测试装置,以解决晶粒的位置不准导致的测试效率低的问题。为解决上述技术问题,本申请采用的一个技术方案是:提供一种定位方法。所述定位方法包括:对待测试工件进行粗定位;将粗定位后的所述待测试工件搬运至承载台;获取承载于承载台的待测试工件的初始位置数据;确定所述初始位置数据与预设位置数据之间的偏差数据;根据所述偏差数据调控调节台,其中所述调节台与所述承载台连接,以调整所述待测试工件的位置。为解决上述技术问题,本申请采用的另一个技术方案是:提供一种具有存储功能的存储装置。所述存储装置存储有程序数据,所述程序数据能够被处理器执行以实现如上述的定位方法。为解决上述技术问题,本申请采用的另一个技术方案是:提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定位方法,其特征在于,所述定位方法包括:/n对待测试工件进行粗定位;/n将粗定位后的所述待测试工件搬运至承载台;/n获取承载于所述承载台的所述待测试工件的初始位置数据;/n确定所述初始位置数据与预设位置数据之间的偏差数据;/n根据所述偏差数据调控调节台,其中所述调节台与所述承载台连接,以调整所述待测试工件的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种定位方法,其特征在于,所述定位方法包括:
对待测试工件进行粗定位;
将粗定位后的所述待测试工件搬运至承载台;
获取承载于所述承载台的所述待测试工件的初始位置数据;
确定所述初始位置数据与预设位置数据之间的偏差数据;
根据所述偏差数据调控调节台,其中所述调节台与所述承载台连接,以调整所述待测试工件的位置。


2.根据权利要求1所述的定位方法,其特征在于,所述对待测试工件进行粗定位,包括:
将多个所述待测试工件对应地安装于载盘的多个第一承载槽内;
将多个所述载盘对应地安装于载台的多个第二承载槽内。


3.根据权利要求1所述的定位方法,其特征在于,通过图像采集的方式获取所述初始位置信息。


4.根据权利要求1所述的定位方法,其特征在于,所述偏差数据包括偏差位移量和偏转角度。


5.根据权利要求4所述的定位方法,其特征在于,所述调节台包括三个调节子机构,三个所述调节子机构均与所述承载台活动连接,其中两个所述调节子机构沿第一方向设置且沿与所述第一方向垂直的第二方向间隔设置,另一所述调节子机构沿所述第二方向设置;
所述根据所述偏差数据调控调节台,包括:
根据所述偏差位移量和所述偏转角度确定与三个所述调节子机构相对应的执行位移量;
驱动三个所述调节子机构执行所述执行位移量。


6.根据权利要求4所述的定位方法,其特征在于,所述确定所...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁晖刘纪文
申请(专利权)人:前海晶云深圳存储技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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