测试装置及其测试机构制造方法及图纸

本申请公开了一种测试装置及其测试机构。该测试机构包括：固定座，固定有测试板，测试板设有测试接口，测试接口用于与待测试工件对接；调整座，与固定座连接，用于调节固定座的位置。通过设置调整座调节固定座的位置，从而调整测试板的测试接口的位姿，提升测试接口与工件的接触有效率，进而本申请能够提供的测试机构能够提升测试效果。构能够提升测试效果。构能够提升测试效果。

【技术实现步骤摘要】
测试装置及其测试机构


[0001]本申请涉及半导体测试
，特别是涉及一种测试装置及其测试机构。

技术介绍

[0002]现有对晶粒(die)进行检测的测试装置中，其中测试板的位置常因难以调节而导致测试板对晶粒的测试效果不佳。

技术实现思路

[0003]本申请主要提供一种测试装置及其测试机构，以解决测试板的位置无法调节的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种测试机构。所述测试机构包括：固定座，固定有测试板，所述测试板设有测试接口，所述测试接口用于与待测试工件对接；调整座，与所述固定座连接，用于调节所述固定座的位置。
[0005]在一些实施例中，所述调整座包括：
[0006]第一调整组件，用于沿第一方向调节所述固定座的位置；
[0007]第二调整组件，与所述第一调整组件层叠设置，所述第一调整组件和所述固定座分别设置于所述第二调整组件的两侧，用于沿与所述第一方向相垂直的第二方向调节所述固定座的位置。
[0008]在一些实施例中，所述调整座还包括支撑件和第三调整组件，所述支撑件的底面叠置且连接于所述第二调整组件背离所述第一调整组件的一侧，所述支撑件与所述底面相垂直的侧面上依次层叠设置有所述第三调整组件和所述固定座，所述第三调整组件用于沿与所述第一方向和所述第二方向均垂直的升降方向调节所述固定座的位置。
[0009]在一些实施例中，所述第一调整组件、所述第二调整组件和所述第三调整组件均包括：
[0010]第一调节板；<br/>[0011]第二调节板，与所述第一调节板层叠设置，并被所述第一调节板限定为沿设定方向运动；
[0012]连接件，设有调节孔，所述连接件的一端固定于所述第一调节板上，所述连接件的另一端通过紧固件和所述调节孔配合而连接于所述第二调节板；
[0013]调节杆，连接于所述第一调节板背离所述连接件的一侧，并抵接于所述第二调节板上。
[0014]在一些实施例中，所述第一调整组件、所述第二调整组件和所述第三调整组件还包括锁紧件，所述锁紧件设置于所述第一调节板上，并用于从与所述调节杆相反的一侧止挡所述第二调节板。
[0015]在一些实施例中，所述调节杆为千分尺。
[0016]在一些实施例中，所述固定座包括：
[0017]第一固定件，与所述调整座连接，设有避位孔，所述测试板承载于所述第一固定件，且所述测试接口自所述避位孔露出；
[0018]第二固定件，与所述第一固定件连接，以夹持所述测试板。
[0019]在一些实施例中，所述测试板包括：
[0020]第一测试子板，设有所述测试接口，承载于所述第一固定件上；
[0021]第二测试子板，插接于所述第一测试子板。
[0022]在一些实施例中，所述固定座还包括第三固定件，所述第三固定件与所述第一固定件垂直连接，所述第二测试子板还固定于所述第三固定件上。
[0023]为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种测试装置。所述测试装置包括如权上述的测试机构。
[0024]本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请公开了一种测试装置及其测试机构。通过设置固定座和调整座，其中固定座固定有测试板，测试板设有测试接口，测试接口用于与待测试工件对接，调整座与固定座连接并可用于调节固定座的位置，从而调整测试接口的位姿，提升测试接口与工件的接触有效率，因而本申请提供的测试机构能够调整测试板的位置，提升测试效果。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
[0026]图1是本申请提供的测试装置一实施例的结构示意图；
[0027]图2是图1所示测试装置中承载组件的结构示意图；
[0028]图3是图2所示承载组件上A区域的放大结构示意图；
[0029]图4是图2所示承载组件中载盘的结构示意图；
[0030]图5是图2所示承载组件中载盘的仰视结构示意图；
[0031]图6是图1所示测试装置中承载组件和搬运装置的结构示意图；
[0032]图7是图6所示搬运装置中取放机构的结构示意图；
[0033]图8是图1所示测试装置中定位机构和测试机构的结构示意图；
[0034]图9是图8所示定位机构中承载台和调节台的结构示意图；
[0035]图10是图9所示承载台和调节台的详细结构示意图；
[0036]图11是图8所示定位机构中视觉采集装置的结构示意图；
[0037]图12是图8所示测试机构的结构示意图；
[0038]图13是图12所示测试机构中第一调整组件、第二调整组件和第三调整组件的结构示意图；
[0039]图14是本申请提供的定位方法一实施例的流程示意图；
[0040]图15是图14所示方法中步骤S10的流程示意图；
[0041]图16是图14所示方法中步骤S40的流程示意图；
[0042]图17是图14所示方法中步骤S50的流程示意图；
[0043]图18是本申请提供的计算机设备一实施例的结构示意图；
[0044]图19是本申请提供的存储装置一实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0045]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0046]本申请实施例中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0047]在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其他实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其他实施例相结合。
[0048]本申请提供一种测试装置100，参阅图1，图1是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试机构，其特征在于，所述测试机构包括：固定座，固定有测试板，所述测试板设有测试接口，所述测试接口用于与待测试工件对接；调整座，与所述固定座连接，用于调节所述固定座的位置。2.根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于，所述调整座包括：第一调整组件，用于沿第一方向调节所述固定座的位置；第二调整组件，与所述第一调整组件层叠设置，所述第一调整组件和所述固定座分别设置于所述第二调整组件的两侧，用于沿与所述第一方向相垂直的第二方向调节所述固定座的位置。3.根据权利要求2所述的测试机构，其特征在于，所述调整座还包括支撑件和第三调整组件，所述支撑件的底面叠置且连接于所述第二调整组件背离所述第一调整组件的一侧，所述支撑件与所述底面相垂直的侧面上依次层叠设置有所述第三调整组件和所述固定座，所述第三调整组件用于沿与所述第一方向和所述第二方向均垂直的升降方向调节所述固定座的位置。4.根据权利要求3所述的测试机构，其特征在于，所述第一调整组件、所述第二调整组件和所述第三调整组件均包括：第一调节板；第二调节板，与所述第一调节板层叠设置，并被所述第一调节板限定为沿设定方向运动；连接件，设有调节孔，所述连接件的一端固定于所述第一调节板上，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁晖，刘纪文，
申请(专利权)人：前海晶云深圳存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：