高效上下料系统技术方案

本发明专利技术公开了高效上下料系统，包括：四组检测设备，四组所述检测设备上均设置有检测台，四组所述检测设备之间固定连接连接有放料台，所述放料台上固定连接有四组与检测台位置相适配的放料盘；上下料机械手机构，所述上下料机械手机构用于同时对四组检测设备进行服务。此高效上下料系统，通过设置了上下料机械手机构，使得传统的探针测试台工作效率低下且浪费机械手资源的问题得到了解决，有效地提高了工作效率，通过设置了驱动装置，使得升降装置和旋转机构可同时工作又可以分开工作，有效节省了不必要的动力资源浪费，通过设置了旋转机构，使得机械手在对晶圆进行上下料时性能更加优化，有效地提高了实用性。

【技术实现步骤摘要】
高效上下料系统
本专利技术涉及半导体分立器件GPP芯片的电参数测试及分类
，具体为高效上下料系统。
技术介绍
多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进。探针测试台是一种用于机械工程领域的计量仪器，是目前可用于对晶圆进行检测的仪器。传统的全自动探针测试台是一套机械手服务于一台设备(或一台只有一个工位的设备)，在晶圆测试的过程中，机械手大部分时间处于闲置待命状态，这就大大浪费了机械手的资源，本专利技术中，一套机械手服务四台设备(或一台具有四个工位的设备)，在其中一台设备(或一个工位)测试的过程中，机械手可以利用空闲时间为其他三台设备(或一台设备的其他三个工位)执行上、下料动作，大大节约了时间和设备摆放的空间。为此，我们提出一种高效上下料系统。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高效上下料系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：高效上下料系统，包括：四组检测设备，四组所述检测设备上均设置有检测台，四组所述检测设备之间固定连接连接有放料台，所述放料台上固定连接有四组与检测台位置相适配的放料盘；上下料机械手机构，所述上下料机械手机构用于同时对四组检测设备进行服务；升降装置，所述升降装置用于将上下料机械手机构进行升降并配合对晶圆进行检测；旋转机构，所述旋转机构用于将上下料机械手机构进行旋转并配合检测；驱动装置，所述驱动装置用于带动升降装置和旋转机构进行运作。上下料机械手机构、升降装置、旋转机构和驱动装置的设置，使得全自动探针测试台在对晶圆进行检测时的整体性能得到了优化。优选的，所述驱动装置包括电动机、第一转轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、限位块和感应装置，所述电动机安装在任意两组相邻检测设备之间，所述电动机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴上开设有第一滑槽，所述第一转轴上滑动连接有第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第一锥齿轮和第二锥齿轮上均固定连接有与第一滑槽相适配的限位块，所述第一锥齿轮和第二锥齿轮上均开设有滑动槽，所述滑动槽之间设置有感应装置。驱动装置有效节省了不必要的动力资源浪费。优选的，所述感应装置包括伸缩杆、感应杆和控制台，所述伸缩杆的两端分别与第一锥齿轮和第二锥齿轮上的滑动槽转动连接，所述伸缩杆安装连接有感应杆，所述感应杆安装连接有与四组检测设备均固定连接的控制台。感应装置用于驱动装置对升降装置和旋转机构的控制。优选的，所述升降装置包括第三锥齿轮、保护箱、第一螺纹杆、移动块和滑动板，所述第三锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接，所述第三锥齿轮上方设置有与检测设备固定连接的保护箱，所述保护箱转动连接有第一螺纹杆的一端，所述第一螺纹杆的另一端与第三锥齿轮固定连接，所述第一螺纹杆上螺纹连接有多组与保护箱滑动连接的移动块，所述保护箱上方设置有与四组检测设备均滑动连接的滑动板。升降装置的设置有效地配合了机械手在对晶圆操作时的高度调整。优选的，所述旋转机构包括第二转轴、第四锥齿轮、齿轮柱、支撑台和齿轮套，所述第二转轴的一端与控制台转动连接，所述第二转轴上固定连接有与第二锥齿轮啮合连接的第四锥齿轮，所述第二转轴的另一端固定连接有齿轮柱，所述第二转轴上活动连接有与多组移动块固定连接的支撑台，所述放料台滑动连接有与齿轮柱滑动连接的齿轮套，所述齿轮套的顶部固定连接有上下料机械手机构。旋转机构有效地提高了实用性。优选的，所述上下料机械手机构包括转动盘、第一马达、主动轮、齿轮带、从动轮、齿条块、机械手、吸盘和连接装置，所述转动盘设置有两组，且呈上下设置，所述底部转动盘的底部与齿轮套顶部固定连接，两组所述转动盘内均安装连接有两组第一马达，两组所述第一马达的输出端均固定连接有主动轮，所述主动轮传动连接有齿轮带，所述齿轮带传动连接有与转动盘转动连接的从动轮，两组所述齿轮带之间啮合连接有与转动盘滑动连接的齿条块，所述齿条块上固定连接有机械手的一端，所述机械手的另一端固定连接有用于对晶圆进行吸附的吸盘，两组所述转动盘之间设置有连接装置。上下料机械手机构有效地提高了工作效率。优选的，所述连接装置包括连接环、第二马达、第一齿轮和第二齿轮，所述连接环的一端与底部转动盘固定连接，所述连接环的另一端与顶部转动盘转动连接，所述底部转动盘上安装有第二马达，所述第二马达的输出端固定连接有第一齿轮，所述顶部转动盘的底部固定连接有与第一齿轮啮合连接的第二齿轮。连接装置使得两组机械手既可以同时工作又可以单独工作。优选的，所述第二转轴的材质为耐磨材质。耐磨材质使得第二转轴更加耐用。优选的，所述移动块和支撑台的材质均为高强度材质。特殊材质使得机器工作时更加稳定。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过设置了上下料机械手机构，使得传统的探针测试台工作效率低下且浪费机械手资源的问题得到了解决，有效地提高了工作效率，通过设置了驱动装置，使得升降装置和旋转机构可同时工作又可以分开工作，有效节省了不必要的动力资源浪费，通过设置了旋转机构，使得机械手在对晶圆进行上下料时性能更加优化，有效地提高了实用性。附图说明图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术驱动装置结构示意图；图3为本专利技术支撑装置部分结构示意图；图4为本专利技术旋转机构部分结构示意图；图5为图4另一视角示意图；图6为图2中A区域放大图；图7为图3中B区域放大图；图8为图4中C区域放大图；图9为图5中D区域放大图。图中：1-检测设备；2-检测台；3-放料台；4-放料盘；5-上下料机械手机构；6-升降装置；7-旋转机构；8-驱动装置；9-电动机；10-第一转轴；11-第一滑槽；12-第一锥齿轮；13-第二锥齿轮；14-限位块；15-滑动槽；16-感应装置；17-伸缩杆；18-感应杆；19-控制台；20-第三锥齿轮；21-保护箱；22-第一螺纹杆；23-移动块；24-滑动板；25-第二转轴；26-第四锥齿轮；27-齿轮柱；28-支撑台；29-齿轮套；30-转动盘；31-第一马达；32-主动轮；33-齿轮带；34-从动轮；35-齿条块；36-机械手；37-吸盘；38-连接装置；39-连接环；40-第二马达；41-第一齿轮；42-第二齿轮。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-9，本专利技术提供一种技术方案：高效上下料系统，包括：四组检测设备1，四组所述检测设备1上均设置有检测台2，四组所述检测设备1之间固定连接连接有放料台3，所述放本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高效上下料系统，其特征在于：包括：/n四组检测设备(1)，四组所述检测设备(1)上均设置有检测台(2)，四组所述检测设备(1)之间固定连接连接有放料台(3)，所述放料台(3)上固定连接有四组与检测台(2)位置相适配的放料盘(4)；/n上下料机械手机构(5)，所述上下料机械手机构(5)用于同时对四组检测设备(1)进行服务；/n升降装置(6)，所述升降装置(6)用于将上下料机械手机构(5)进行升降并配合对晶圆进行检测；/n旋转机构(7)，所述旋转机构(7)用于将上下料机械手机构(5)进行旋转并配合检测；/n驱动装置(8)，所述驱动装置(8)用于带动升降装置(6)和旋转机构(7)进行运作。/n

【技术特征摘要】
1.高效上下料系统，其特征在于：包括：
四组检测设备(1)，四组所述检测设备(1)上均设置有检测台(2)，四组所述检测设备(1)之间固定连接连接有放料台(3)，所述放料台(3)上固定连接有四组与检测台(2)位置相适配的放料盘(4)；
上下料机械手机构(5)，所述上下料机械手机构(5)用于同时对四组检测设备(1)进行服务；
升降装置(6)，所述升降装置(6)用于将上下料机械手机构(5)进行升降并配合对晶圆进行检测；
旋转机构(7)，所述旋转机构(7)用于将上下料机械手机构(5)进行旋转并配合检测；
驱动装置(8)，所述驱动装置(8)用于带动升降装置(6)和旋转机构(7)进行运作。


2.根据权利要求1所述的高效上下料系统，其特征在于：所述驱动装置(8)包括电动机(9)、第一转轴(10)、第一锥齿轮(12)、第二锥齿轮(13)、限位块(14)和感应装置(16)，所述电动机(9)安装在任意两组相邻检测设备(1)之间，所述电动机(9)的输出端固定连接有第一转轴(10)，所述第一转轴(10)上开设有第一滑槽(11)，所述第一转轴(10)上滑动连接有第一锥齿轮(12)和第二锥齿轮(13)，所述第一锥齿轮(12)和第二锥齿轮(13)上均固定连接有与第一滑槽(11)相适配的限位块(14)，所述第一锥齿轮(12)和第二锥齿轮(13)上均开设有滑动槽(15)，所述滑动槽(15)之间设置有感应装置(16)。


3.根据权利要求2所述的高效上下料系统，其特征在于：所述感应装置(16)包括伸缩杆(17)、感应杆(18)和控制台(19)，所述伸缩杆(17)的两端分别与第一锥齿轮(12)和第二锥齿轮(13)上的滑动槽(15)转动连接，所述伸缩杆(17)安装连接有感应杆(18)，所述感应杆(18)安装连接有与四组检测设备(1)均固定连接的控制台(19)。


4.根据权利要求3所述的高效上下料系统，其特征在于：所述升降装置(6)包括第三锥齿轮(20)、保护箱(21)、第一螺纹杆(22)、移动块(23)和滑动板(24)，所述第三锥齿轮(20)与第一锥齿轮(12)啮合连接，所述第三锥齿轮(20)上方设置有与检测设备(1)固定连接的保护箱(21)，所述保护箱(21)转动连接有第一螺纹杆(22)的一端，所述第一螺纹杆(22)的另一端与第三锥齿轮(20)固定连接，所述第一螺纹杆(22)上螺纹连接有多组与保护箱(21)滑动连接的移动块(23)，所述保护箱(21)上方设置有与四组检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛善高，邢莹，杜斌伟，吕磊，周豪，胡晓霞，
申请(专利权)人：三河建华高科有限责任公司，
类型：发明
国别省市：河北;13