吸盘组件和具有其的光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种吸盘组件和具有其的光刻机，吸盘组件包括：吸盘装置，其上表面水平且适于放置待吸件,其底部设有驱动装置，驱动装置包括驱动器、驱动件、从动件和升降机构，驱动件与驱动器相连，从动件与驱动件配合，升降机构设在从动件上，吸盘装置上形成有沿第一方向延伸且上下贯通的长条形孔；压杆，其设在吸盘装置的上方、沿与第一方向垂直的第二方向延伸，升降机构包括可上下移动的升降杆，升降杆穿过长条形孔与压杆相连，驱动器工作时驱动件与从动件配合带动升降杆在长条形孔内移动以带动压杆沿第一方向移动，升降杆在上下移动时带动压杆上下移动以将待吸件压紧在吸盘装置上。根据本实用新型专利技术的吸盘组件，将待吸件压平，提高其平整度。提高其平整度。提高其平整度。

【技术实现步骤摘要】
吸盘组件和具有其的光刻机


[0001]本技术涉及光刻机领域，尤其是涉及一种吸盘组件和具有其的光刻机。

技术介绍

[0002]吸盘是光刻机的重要组成部分，吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对吸盘所吸附的板材例如印刷电路板(Printed Circuit Board，PCB)板的制版的生产制造有重要影响。在使用光刻机进行PCB制版时，由于光刻机自身的焦深有限，要求曝光面有较高的平面度，这不仅需要光刻机的吸盘有较高的平面度，还需要PCB板有较高的平面度。
[0003]然而，由于各种原因，PCB板通常会有一定程度的边缘翘曲问题，导致仅仅依靠吸盘的吸附力，无法将PCB板吸平。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种吸盘组件，该吸盘组件可以将翘曲的待吸件压平，提高其平整度。
[0005]本技术的另一个目的在于提出一种具有所述吸盘组件的光刻机。
[0006]根据本技术第一方面实施例的吸盘组件，包括：吸盘装置，所述吸盘装置的上表面水平，所述吸盘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸盘组件，其特征在于，包括：吸盘装置，所述吸盘装置的上表面水平，所述吸盘装置的上表面上适于放置待吸件,所述吸盘装置的底部设有至少一个驱动装置，所述驱动装置包括驱动器、驱动件、从动件和升降机构，所述驱动件与所述驱动器相连，所述从动件与所述驱动件配合，所述升降机构设在所述从动件上，所述吸盘装置上形成有沿第一方向延伸且沿上下方向贯通的至少一个长条形孔；压杆，所述压杆设在所述吸盘装置的上方，所述压杆沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸，其中，所述升降机构包括可上下移动的升降杆，所述升降杆的上端穿过所述长条形孔与所述压杆相连，当所述驱动器工作时所述驱动件与所述从动件配合带动所述升降杆在所述长条形孔内移动以带动所述压杆相对于所述吸盘装置在水平面内沿所述第一方向移动，所述升降杆在上下移动时带动所述压杆上下移动以适于将所述待吸件压紧在所述吸盘装置上。2.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘装置的底部设有安装板，所述安装板上设有沿所述第一方向延伸的第一导轨，所述从动件沿所述第一方向可移动地设在所述第一导轨上。3.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于，进一步包括：拖链结构，所述拖链结构的一端与所述安装板相连，所述拖链结构的另一端与所述从动件相连。4.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡刚，项宗齐，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：