一种双台面直写式曝光机及其曝光方法技术

本发明专利技术提供了一种双台面直写式曝光机及其曝光方法，所述直写式曝光机包括底座、设置于底座上的龙门机构、顺序设置于龙门机构的对位机构和曝光机构，设置于所述底座平行排列的沿扫描方向y方向延伸的导轨，分别设置于所述导轨上的第一工作台运动和第二工作台，所述第一工作台和所述第二工作台均包括置于所述导轨上的z轴运动机构、连接于所述z轴运动机构的基板台面，z轴运动机构带动基板台面在z轴方向上下滑动，所述曝光机构包括固定于龙门机构的x方向排列的多个镜头。在曝光时，第一工作台和第二工作台交替对位曝光操作。能够提高曝光精度并且避免第一工作台和第二工作台相撞。度并且避免第一工作台和第二工作台相撞。度并且避免第一工作台和第二工作台相撞。

【技术实现步骤摘要】
一种双台面直写式曝光机及其曝光方法


[0001]本专利技术涉及激光直写式曝光机
，具体为一种双台面直写式曝光机及其曝光方法。

技术介绍

[0002]激光直写式曝光是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图，相比于传统的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接转移技术，直写式曝光技术产能高，对位精度高。在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。
[0003]为了提高曝光机的产能，市场上出现了双台面的直写式曝光机，其中一种双台面直写式曝光机，包括底座和通过龙门机构顺序设置在所述底座上的对位机构、曝光机构，在所述底座上设置有两个相互平行设置的步进轴运动组件，所述步进轴运动组件上分别安装有Z轴运动组件，所述Z轴运动组件分别与基板承载台面固定连接，所述基板承载台面一上一下设置成两层，所述曝光机构包括安装在所述龙门机构上的扫描轴运动组件，所述扫描轴运动组件上安装有曝光系统，所述扫描轴运动组件能够带动所述曝光系统运动。上述双台面直写式曝光机通过曝光系统的运动，实现对待曝光基板的完全曝光，由于曝光系统的不稳定，容易导致曝光误差增大。/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双台面直写式曝光机，包括底座、设置于底座上的龙门机构、顺序设置于龙门机构的对位机构和曝光机构，设置于所述底座平行排列的沿扫描方向y方向延伸的导轨，分别设置于所述导轨上的第一工作台和第二工作台，所述第一工作台和所述第二工作台均包括置于所述导轨上的z轴运动机构、连接于所述z轴运动机构的基板台面， z轴运动机构带动基板台面在z轴方向上下滑动，其特征在于：所述曝光机构包括固定于龙门机构的x方向排列的多个镜头。2.根据权利要求1所述的双台面直写式曝光机，其特征在于：所述曝光机构的镜头在x方向排列成至少一排，当所述镜头在y方向排列两排以上时，所述镜头在x方向错位排列。3.根据权利要求1所述的双台面直写式曝光机，其特征在于：所述对位机构和曝光机构之间距离至少一个基板台面的距离。4.根据权利要求1所述的双台面直写式曝光机，其特征在于：所述龙门机构分开设置，包括第一龙门机构和第二龙门机构，所述对位机构设置于第一龙门机构，所述曝光机构设置于第二龙门机构。5.一种双台面直写式曝光机的曝光方法，其特征在于：在双台面直写式曝光机运行过程中，第一工作台进行对位和曝光操作时，第二工作台进行上下板操作；第二工作台进行对位和曝光操作时，第一工作台进行上下板操作；第一工作台和第二工作台重复上述操作，往返运动。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：章卫平，刘栋，蔡瑞，朱道龙，李伟成，张雷，
申请(专利权)人：苏州源卓光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：