一种镀膜实验真空系统及其工作方法技术方案

本发明专利技术公开了一种镀膜实验真空系统，涉及到抽真空技术领域，包括依次连接的进片锁室真空系统、镀膜段真空系统和出片锁室真空系统，其中，还包括抽真空系统、第一门阀、第二门阀、第三门阀和第四门阀，抽真空系统分别与进片锁室真空系统、镀膜段真空系统和出片锁室真空系统连接，第一门阀设于进片锁室真空系统的一端，第二门阀设于进片锁室真空系统与镀膜段真空系统之间，第四门阀设于出片锁室真空系统的一端，第三门阀设于镀膜段真空系统与出片锁室真空系之间。本发明专利技术中的镀膜实验真空系统结构简单、可靠性强，而且成本较低，利于Low

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜实验真空系统及其工作方法


[0001]本专利技术涉及到抽真空
，尤其涉及到一种镀膜实验真空系统及其工作方法。

技术介绍

[0002]随着环保意识的增强，促进了国家对建筑节能要求的提高。近几年Low
‑
E玻璃(低辐射玻璃)的使用越来越广泛，市场的发展对Low
‑
E玻璃的产品多样性也提出了新要求。Low
‑
E玻璃生产厂家对新膜系的开发越来越重视。在大线上进行实验开发不仅影响正常生产，而且非常不经济。因此开发一条实验线已经成为行业大厂的首选做法。
[0003]已有的实验线真空系统复杂，可靠性较差，而且成本较高，不利于Low
‑
E玻璃产品研发。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种镀膜实验真空系统及其工作方法，用于解决上述技术问题。
[0005]本专利技术采用的技术方案如下：
[0006]一种镀膜实验真空系统，包括依次连接的进片锁室真空系统、镀膜段真空系统和出片锁室真空系统，其中，还包括抽真空系统、第一门阀、第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜实验真空系统，其特征在于，包括依次连接的进片锁室真空系统、镀膜段真空系统和出片锁室真空系统，其中，还包括抽真空系统、第一门阀、第二门阀、第三门阀和第四门阀，所述抽真空系统分别与所述进片锁室真空系统、所述镀膜段真空系统和所述出片锁室真空系统连接，所述第一门阀设于所述进片锁室真空系统的一端，所述第二门阀设于所述进片锁室真空系统与所述镀膜段真空系统之间，所述第四门阀设于所述出片锁室真空系统的一端，所述第三门阀设于所述镀膜段真空系统与所述出片锁室真空系之间。2.如权利要求1所述的镀膜实验真空系统，其特征在于，所述进片锁室真空系统包括进片锁室，其中，所述第一门阀设于所述进片锁室的一端。3.如权利要求2所述的镀膜实验真空系统，其特征在于，所述镀膜段真空系统包括进片等待室、镀膜室和出片等待室，其中，所述进片等待室的一端通过所述第二门阀与所述进片锁室的另一端连接，所述进片等待室的另一端与所述镀膜室的一端连接，所述镀膜室的另一端与所述出片等待室连接。4.如权利要求3所述的镀膜实验真空系统，其特征在于，所述出片锁室真空系统包括出片锁室，所述出片锁室的一端通过所述第三门阀与所述出片等待室的另一端连接，所述出片锁室的另一端设有所述第四门阀。5.如权利要求4所述的镀膜实验真空系统，其特征在于，还包括若干第一真空规，所述进片锁室、所述镀膜室和所述出片锁室的内壁上分别设有一所述第一真空规。6.如权利要求4所述的镀膜实验真空系统，其特征在于，所述抽真空系统包括第一粗抽泵组、第二粗抽泵组、镀膜室前级泵组、第一管道、第二管道、第三管道和真空管道，其中，所述第一粗抽泵组通过所述第一管道与所述进片锁室连接，所述第二粗抽泵组通过所述第二管道与所述出片锁室连接，所述真空管道的两连接所述第一管道和所述第二管道，所述镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贝，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：