尤其用于偏振激光射束的光学组件以及具有该光学组件的EUV辐射产生设备制造技术

本发明专利技术涉及一种尤其用于偏振激光射束(30)的光学组件(23)，其包括具有射束入射面(5a、6a、...)和射束出射面(5b、6b、...)的多个板状光学元件(5、6、...)和用于共同固定板状光学元件(5、6、...)的保持件(1)。在每两个相邻的板状光学元件(5、6、...)之间布置至少三个间距保持件(11a

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】尤其用于偏振激光射束的光学组件以及具有该光学组件的EUV辐射产生设备


[0001]本专利技术涉及一种尤其用于偏振激光射束的光学组件，其包括多个板状光学元件以及用于共同固定板状光学元件的保持件。本专利技术还涉及一种具有至少一个这种光学组件的EUV辐射产生设备。

技术介绍

[0002]当激光射束以所谓的布鲁斯特角照射在光学元件的射束入射面上时，板状透射光学元件能够用于偏振(例如非偏振的)激光射束形式的光。在这种情况下，在射束入射面上反射的辐射分量几乎仅垂直于激光射束的入射平面偏振到射束入射面上(s偏振)，即对于垂直于该s偏振的第二(p偏振)辐射分量的反射率几乎为零。因此，由射束入射面透射的辐射分量通常具有高的p偏振辐射分量，该p偏振辐射分量平行于照射的激光射束的入射平面。
[0003]用于偏振激光射束的光学组件能够具有平面平行的板的形式的多个透射光学元件，所述透射光学元件彼此平行，并且其射束入射面相对于入射激光射束分别以布鲁斯特角取向，以便进一步减小由相应的平面平行的板透射的、相对较小的s偏振的辐射分量，使得从偏振器装置出射的激光射束几乎仅是p偏振的。
[0004]然而，尤其在平面平行的板彼此以相对较小的间距布置的情况下，产生如下问题：在以下部分射束之间发生相长干涉和相消干涉，所述部分射束在射束入射面或者说平面平行的板的射束出射面上被反射。因此，为了避免干涉效应，通常选择在射束路径中彼此相继的两个板之间的如此大的间距，使得所反射的部分射束不重叠。然而在这种情况下，偏振器装置可能需要相当大的结构空间。/>[0005]在PCT/EP2017/067480中，为了避免上述的干涉效应，提出使板状光学元件的射束入射面和射束出射面分别以至少一个楔角(Keilwinkel)相对于彼此取向。以这种方式，板状光学元件能够以尽可能小的间距相对于彼此布置。尽管板状光学元件呈楔形，但是为了满足布鲁斯特条件，板状光学元件如此相对于彼此取向(通常相对于彼此旋转)，使得激光射束继续以布鲁斯特角照射到射束入射面上。为了以相对于彼此预定的取向和位置来容纳板状光学元件而设置保持件，该保持件例如能够与板状光学元件的侧向边缘接合，以便将板状光学元件固定在保持件中。

技术实现思路

[0006]专利技术任务
[0007]本专利技术基于如下任务：如此进一步构造开头提到的类型的光学组件，使得板状光学元件能够以高精度相对于彼此定位，以及提供一种具有这种光学组件的EUV辐射产生设备。
[0008]专利技术主题
[0009]根据第一方面，该任务通过开头提到的类型的光学组件来解决，其中，在每两个相邻的板状光学元件之间布置至少三个间距保持件(Abstandshalter)、尤其是至少四个间距保持件，所述间距保持件分别构造用于点状地贴靠(Anlage)在第一板状光学元件的射束出射面上，并且构造用于点状地贴靠在相邻的第二板状光学元件的射束入射面上。
[0010]间距保持件为了实现点状的贴靠而被至少部分地引入到两个相邻的板状光学元件之间的间隙中。板状光学元件相对于彼此的精确角位置(角精度为约
±
0.02
°
)借助将至少三个间距保持件点状地贴靠在相应的射束入射面或者说射束出射面上实现，所述至少三个间距保持件布置在间隙内的至少三个不同的位置上。取决于板状光学元件的尺寸或者说几何形状，可能有利的是，使用四个间距保持件或者必要时更多间距保持件替代三个间距保持件，以便提高机械稳定性并且最小化倾斜危险(Kippgefahr)。例如，为了间隔开其纵向侧是其横向侧两倍或者三倍长的矩形板状光学元件，四个间距保持件或者必要时更多间距保持件可能是有意义的。
[0011]板状光学元件能够在堆叠方向上上下堆叠，并且通过被引入到板状光学元件之间的间隙中的间距保持件以板状光学元件的相对角位置相对于彼此取向。在最简单的情况下，光学组件具有两个上下堆叠的板状光学元件，然而通常两个以上的、例如三个、四个、五个、六个...板状光学元件上下堆叠，以便使激光射束偏振。这里描述的光学组件不一定强制性必须用于偏振激光射束；相反地，它们能够例如用作标准量具(Etalon)，因为在标准量具的情况下必要时板状光学元件的偏斜的(windschief)或者说倾斜的取向能够是有意义的。在用作标准量具的情况下，光学组件通常具有两个板状光学元件，所述板状光学元件通过间隙分开，该间隙例如能够楔形地构造。由于板状光学元件的楔形形状或者说非平行的取向，在这种情况下使用间隔板或类似物也是成问题的。
[0012]与上述的间距保持件的使用相反，板状光学元件通常被单独夹持，即为每个单独的板状光学元件制作一个保持件或者说支架(Fassung)，所述保持件或者说支架具有精密加工的承放面以及弹簧夹或者说弹簧预紧的夹板，以便保持板状光学元件。多个板状光学元件的通过相应的弹簧夹具的这种保持需要表面相对于彼此取向时的高精度以及需要对于单个夹具的相当大的空间，该空间能够通过间距保持件的逐点的贴靠而显著减小。
[0013]在一种实施方式中，间距保持件具有用于点状地贴靠在相应的射束出射面和相应的射束入射面上的球面。球面能够形成在球上，所述球松动地支承在保持件、例如球保持架中。这种松动的球能够高精度地制造。球面或者说球不必形成完整的球体；相反地，球能够在侧向上被切断和/或被安装在轴上。至关重要的是，球面贴靠在相应的板状光学元件上，以便实现点状的贴靠。板状光学元件相对于彼此的角位置分别取决于球面的球直径，该球直径在制造间距保持件时能够被精确地调设。与上述夹具的情况相比，通过使用球面能够在板状光学元件之间实现更小的间距。
[0014]在一种扩展方案中，布置在第一板状光学元件和第二板状光学元件之间的至少两个间距保持件的球面具有不同的球直径。板状光学元件通常相对比彼此倾斜，即它们不是彼此平行地取向，使得在两个相邻的板状光学元件之间形成楔形的间隙。板状光学元件尤其能够在两个空间平面中相对于彼此倾斜，即实际上相对于彼此任意偏斜地取向。为了使相对于彼此倾斜的板状光学元件适当地取向，通常需要使用具有不同的球直径的间距保持件。
[0015]在一种扩展方案中，间距保持件分别具有球形头，在所述球形头上形成球面，其中，在球形头上连接有用于将相应的间距保持件支承在保持件中的轴(Schaft)。基于板状光学元件相对于彼此倾斜的取向，需要将球面尽可能精确地定位在垂直于堆叠方向的平面中，因为点状贴靠的侧向偏移改变板状光学元件之间的角度。间距保持件的精确定位也可以通过使用球形销或者说球形螺栓来实现，所述球形销或者说球形螺栓具有球形头和轴，该轴能够以足够的精度支承在保持件中、例如在钻孔或类似物中。与此相对，在使用支承在球保持架中的球的情况下存在所述球可能会从球保持架中掉出的问题。
[0016]在一种扩展方案中，轴具有轴肩(Absatz)，并且，在其球面具有不同球直径的至少两个间距保持件的情况下，在球形头和轴肩之间的第一轴区段的直径与间距保持件的、轴肩和轴端部之间的第二轴区段的长度尺寸不同。为了具体地调设在板状光学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学组件(23)，尤其是用于偏振激光射束(30)的光学组件，所述光学组件包括：多个板状光学元件(5、6、...)，所述板状光学元件具有射束入射面(5a、6a、...)和射束出射面(5b、6b、...)，保持件(1)，所述保持件用于共同固定所述板状光学元件(5、6、...)，其特征在于，在每两个相邻的板状光学元件(5、6、...)之间布置至少三个间距保持件(11a
‑
d)，所述间距保持件分别构造用于点状地贴靠在第一板状光学元件(5)的射束出射面(5a、6a、...)上以及构造用于点状地贴靠在相邻的第二板状光学元件(6)的射束入射面(6b、7b、...)上。2.根据权利要求1所述的光学组件，其中，所述间距保持件(11a
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d)具有球面(12a)，所述球面用于点状地贴靠在相应的射束出射面(5b、6b、...)和相应的射束入射面(6a、7a、...)上。3.根据权利要求2所述的光学组件，在所述光学组件中，布置在所述第一板状光学元件(5)和所述第二板状光学元件(6)之间的至少两个间距保持件(11a
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d)的球面(12a)具有不同的球直径(D1)。4.根据权利要求2或3所述的光学组件，在所述光学组件中，所述间距保持件(11a
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d)分别具有球形头(12)，在所述球形头上形成球面(12a)，其中，在所述球形头(12)上连接有用于将相应的间距保持件(11a
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d)支承在所述保持件(1)中的轴(13)。5.根据权利要求4所述的光学组件，在所述光学组件中，所述轴(13)具有轴肩(15)，并且在所述光学组件中，在至少两个间距保持件(11a
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d)的情况下，所述球形头(12)和所述轴肩(15)之间的第一轴区段(13a)的直径(D2)与所述间距保持件(11a
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d)的、所述轴肩(15)和轴端部(16)之间的第二轴区段(13b)的长度(L)尺寸不同，其中，所述至少两个间距保持件的球面具有不同球直径(D1)。6.根据以上权利要求中任一项所述的光学组件，在所述光学组件中，所述间距保持件(11a
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d)垂直于第一板状光学元件(5)的射束入射面(5a)可倾斜和/或可移动地被支承在所述保持件(1)中。7.根据权利要求6所述的光学组件，在所述光学组件中，间距保持件(11a
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d)的相应的轴(13)具有凸出弯曲的轴端部(16)，并且，所述保持件(1)包括至少一个弹簧元件(19)，所述弹簧元件用于将所述轴端部(16)压靠在所述保持件(1)的贴靠面(22a
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员：O，
申请(专利权)人：通快激光系统半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：