控制微振荡反射镜的驱动设备的方法、控制装置和偏转反射镜设备制造方法及图纸

描述了一种用于控制微振荡反射镜的驱动装置的方法、控制设备和偏转反射镜设备。在该方法中，生成至少一个致动信号(20)且将其用于控制驱动装置使得驱动装置以振荡的方式驱动微振荡反射镜。捕获表征微振荡反射镜的偏转(22)的至少一个位置信号(26)。基于至少一个位置信号(26)调节至少一个控制信号(20)，使得微振荡反射镜以其共振频率被驱动。将至少一个位置信号(26)的振幅与至少一个阈值连续地比较。在至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔被确定。基于至少一个时间间隔调节至少一个控制信号(20)。例如，控制信号(20)是脉冲宽度调制的信号。在该情况下，单极方波脉冲以周期性间隔生成。控制信号(20)的脉冲控制驱动装置的梳状驱动器，使得微振荡反射镜被激励以振荡。转换为振幅改变的梳状驱动器的梳状电容作为位置信号(26)被输出。为了使控制信号(20)的占空比适配于微振荡反射镜的共振频率，将位置信号(26)与阈值进行比较。在位置信号(26)通过阈值的特定通行之间确定对应的时间间隔。相应地，基于时间间隔调适控制信号(20)的占空比。时间间隔调适控制信号(20)的占空比。时间间隔调适控制信号(20)的占空比。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】控制微振荡反射镜的驱动设备的方法、控制装置和偏转反射镜设备


[0001]本专利技术涉及一种用于控制微振荡反射镜的驱动设备的方法，其中
[0002]‑
生成至少一个致动信号，并由此致动驱动设备，使得其以振荡方式驱动微振荡反射镜，
[0003]‑
感测至少一个位置信号，该至少一个位置信号表征微振荡反射镜的偏转，
[0004]‑
基于至少一个位置信号，闭环控制至少一个致动信号，使得微振荡反射镜以其共振频率被驱动，
[0005]此外，本专利技术涉及一种用于控制微振荡反射镜的至少一个驱动设备的控制装置，该控制装置
[0006]‑
具有至少一个信号生成设备，用于生成至少一个致动信号，用该致动信号可以致动至少一个驱动设备，
[0007]‑
具有至少一个位置感测设备，用该位置感测设备可以感测表征微振荡反射镜的偏转的至少一个位置信号，
[0008]‑
并且具有至少一个设备，其以闭环可控的方式连接到至少一个信号生成设备，使得微振荡反射镜可以以其共振频率被驱动。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于控制微振荡反射镜(16)的驱动设备(18)的方法，其中
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生成至少一个致动信号(20)，并由此致动所述驱动设备(18)，使得所述驱动设备(18)以振荡方式驱动所述微振荡反射镜(16)，
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感测至少一个位置信号(26)，所述至少一个位置信号(26)表征所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)，
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基于所述至少一个位置信号(26)，闭环控制所述至少一个致动信号(20)，使得所述微振荡反射镜(16)以其共振频率被驱动，其特征在于，将所述至少一个位置信号(26)的振幅连续地与至少一个阈值(38a、38b、38c)进行比较，且在所述至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少两个通行之间确定至少一个时间间隔(42a、42b、42c)，并且基于所述至少一个时间间隔(42a、42b、42c)闭环控制所述至少一个致动信号(20)。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，至少一个阈值(38a、38b、38c)被预先定义为恒定值，和/或至少一个阈值(38a、38b、38c)能够以可变方式来设定。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述至少一个位置信号(26)的零交叉被预先定义为阈值(38c)，
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和/或所述至少一个阈值(38a)被预先定义为在所述至少一个位置信号(26)的振幅的最大值(50、62)之间，
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和/或所述至少一个阈值(38b)的振幅被预先定义为低于在所述至少一个位置信号(26)的不同脉冲(48、58)的振幅的最大值(50、62)，
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其中，所述至少一个位置信号(26)的脉冲(48、58)的振幅的最大值(50、62)在所述至少一个位置信号(26)的周期内以相同的符号出现。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)通过阈值(38a；38b)的通行与所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下一个周期中通过相同阈值(38a；38b)的通行之间的时间间隔(42a)被确定，并且由此确定所述微振荡反射镜(16)的振荡的周期持续时间。5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)通过第一阈值(38a)的通行与通过第二阈值(38b)的下一个通行之间的时间间隔(42b)被确定，并由此确定所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)。6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下降脉冲(58)处通过阈值(38c)的通行与所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下一个上升脉冲(48)处通过相同的阈值(38c)的通行之间的时间间隔(42c)被确定，
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和/或在所述至少一个位置信号在所述至少一个位置信号的上升脉冲处通过阈值的通行与所述至少一个位置信号在所述至少一个位置信号的下一个下降脉冲处通过相同的阈值的通行之间的时间间隔被确定，
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并且从所述至少一个时间间隔(42c)确定所述至少一个致动信号(20)与所述至少一个位置信号(26)之间的相位关系。7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，
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在所述至少一个位置信号(26)的至少一个下降沿(54、64)中感测所述至少一个位置信号(26)通过所述至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少一个通行，
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和/或在所述至少一个位置信号的至少一个上升沿中感测所述至少一个位置信号通过所述至少一个阈值的至少一个通行。8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，用至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：J尼斯，J申克，M克莱瑟，
申请(专利权)人：法雷奥开关和传感器有限责任公司，
类型：发明
国别省市：