本发明专利技术公开了一种存储装置及搬运装置，属于生产线设备领域。该存储装置包括：底座，用于放置待存储物，底座沿第一方向的两端分别设置有挡板；防尘罩，其位于底座上方，防尘罩的下端与底座连接，防尘罩沿第一方向两端分别能与挡板抵接，形成用于放置待存储物的存储空间，防尘罩被配置为，其能沿第一方向被伸展和压缩，且防尘罩沿第一方向的两端至少其中一端能选择性挡板抵接。该搬运装置包括存储装置。本发明专利技术通过在底座的上方增设防尘罩确保了片盒中的硅片在搬运过程中不会受到外界污染，同时防尘罩采用可伸展和压缩的形式，使得进行片盒转移过程中需要打开防尘罩时，防尘罩占用空间小，不会与其他设备发生干涉。不会与其他设备发生干涉。不会与其他设备发生干涉。
【技术实现步骤摘要】
一种存储装置及搬运装置
[0001]本专利技术涉及生产线设备
，尤其涉及一种存储装置及搬运装置。
技术介绍
[0002]自动化生产线依靠其可以保障较高的产品成品率及总体产率，吸引着越来越多的厂家实现自动化产线，尤其是芯片自动化生产线。随着芯片特征尺寸越来越小，但芯片上的元器件却不断增加，从而对芯片生产制造环节的洁净度控制也日趋严格，需要尽量减小在芯片制造过程中引入的污染。
[0003]芯片在自动化产线中可能存在的污染主要源于，用来加工芯片的硅片，其通常被存放于前端敞开的片盒中，在自动化运输过程中可能导致硅片污染，进而使得芯片的洁净度受到影响。
[0004]为此，亟需提供一种存储装置及搬运装置以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种存储装置及搬运装置，以避免片盒中硅片在搬运过程中的洁净度受到影响。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]一种存储装置，包括：
[0008]底座，用于放置待存储物，所述底座沿第一方向的两端分别设置有挡板；
[0009]防尘罩，其位于所述底座上方，所述防尘罩的下端与所述底座连接，所述防尘罩沿所述第一方向两端分别能与所述挡板抵接，形成用于放置所述待存储物的存储空间，所述防尘罩被配置为，其能沿所述第一方向被伸展和压缩，且所述防尘罩沿所述第一方向的两端至少其中一端能选择性与所述挡板抵接。
[0010]作为可选，所述存储装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述防尘罩包括沿第一方向设置的第一端和第二端，所述第一驱动组件驱动所述第一端选择性靠近或远离所述底座一端的挡板，所述第二驱动组件驱动所述第二端选择性靠近或远离所述底座另一端的挡板。
[0011]作为可选，所述第一驱动组件包括两组均沿所述第一方向延伸的第一同步带轮组件，所述第二驱动组件包括两组均沿所述第一方向延伸的第二同步带轮组件：
[0012]所述防尘罩的两侧均设置有与所述第一同步带轮组件连接的第一连接件和与所述第二同步带轮组件连接的第二连接件。
[0013]作为可选，所述第一同步带轮组件包括第一主动轮、第一从动轮、以及绕设于所述第一主动轮和所述第一从动轮上的第一同步带，所述第一同步带与所述第一连接件连接；
[0014]所述第二同步带轮组件包括第二主动轮、第二从动轮、以及绕设于所述第二主动轮和所述第二从动轮上的第二同步带，所述第二同步带与所述第二连接件连接；
[0015]位于所述防尘罩同侧的所述第一主动轮和所述第二从动轮同轴设置，所述第二主
动轮和所述第一从动轮同轴设置。
[0016]作为可选，所述第一驱动组件还包括第一电机、与所述第一电机传动连接的第一转轴，所述第一转轴沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一转轴的两端均穿设有所述第一主动轮和所述第二从动轮；
[0017]所述第二驱动组件还包括第二电机、与所述第二电机传动连接的第二转轴，所述第二转轴与所述第一转轴平行，所述第二转轴的两端均穿设有所述第二主动轮和所述第一从动轮；
[0018]所述第一从动轮和所述第二从动轮均为惰轮结构。
[0019]作为可选，所述第一电机的输出轴垂直于所述第一转轴，所述第一电机的输出轴和所述第一转轴之间通过涡轮蜗杆传动组件或锥齿轮传动组件传动连接。
[0020]作为可选，所述第一电机和所述第二电机均设置于所述底座上，所述底座还设置有用于承载所述待存储物的承载板，所述承载板位于所述第一电机和所述第二电机上方。
[0021]作为可选，所述第一电机和所述第二电机分别位于所述第一方向的两端，且均位于所述第二方向的同一端，所述承载板倾斜设置，所述承载板较高的一端位于所述第一电机和所述第二电机上方，所述承载板较低的一端位于所述第二方向的另一端，且所述承载板较低的一端还设置有防止所述待存储物滑移出所述承载板的围板。
[0022]作为可选，所述存储装置还包括位于所述防尘罩两侧的导向轴，所述导向轴沿所述第一方向延伸，位于所述防尘罩同侧的所述第一连接件和所述第二连接件与同一所述导向轴滑动连接。
[0023]作为可选，所述第一连接件和所述第二连接件均设置有与所述导向轴配合的导向孔，所述导向轴穿设于所述导向孔中。
[0024]作为可选，所述防尘罩的端部设置有第一密封圈，所述挡板朝向所述防尘罩的一侧设置有第二密封圈，所述防尘罩的端部与所述挡板抵接时，所述第一密封圈和所述第二密封圈被配置为，两者中一个密封圈能环绕在另一个密封圈外侧，形成迷宫式密封圈组件。
[0025]作为可选，所述防尘罩的端部还设置有第三密封圈，所述第一密封圈环绕于所述第三密封圈的外侧，所述防尘罩的端部与所述挡板抵接时，所述第二密封圈位于所述第一密封圈和所述第三密封圈之间。
[0026]作为可选，所述底座沿所述第一方向能放置两个所述待存储物。
[0027]一种搬运装置，包括移动装置以及上述任意一种存储装置，所述移动装置能带动所述存储装置移动。
[0028]本专利技术的有益效果：
[0029]通过在底座的上方增设防尘罩确保了片盒中的硅片在搬运过程中不会受到外界污染，同时防尘罩采用可伸展和压缩的形式，使得进行片盒转移过程中需要打开防尘罩时，防尘罩占用空间小，不会与其他设备发生干涉。
附图说明
[0030]图1是本专利技术实施例中的一种存储装置的结构示意图；
[0031]图2是本专利技术实施例中的一种存储装置的部分结构示意图一；
[0032]图3是本专利技术实施例中的一种存储装置的部分结构示意图二；
[0033]图4是本专利技术实施例中的一种存储装置的部分结构示意图三；
[0034]图5是图4中A处放大示意图；
[0035]图6是本专利技术实施例中的一种搬运装置的结构示意图。
[0036]图中：
[0037]100、存储装置；200、片盒；300、移动装置；
[0038]1、底座；11、底板；12、承载板；13、围板；
[0039]2、挡板；3、防尘罩；4、第二密封圈；
[0040]51、第一电机；52、第一转轴；53、第一主动轮；54、第一从动轮；55、第一同步带；
[0041]61、第二电机；62、第二转轴；63、第二主动轮；64、第二从动轮；65、第二同步带；
[0042]7、锥齿轮传动组件；8、第一连接件；9、第二连接件；10、导向轴。
具体实施方式
[0043]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0044]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种存储装置，其特征在于，包括：底座(1)，用于放置待存储物，所述底座(1)沿第一方向的两端分别设置有挡板(2)；防尘罩(3)，其位于所述底座(1)上方，所述防尘罩(3)的下端与所述底座(1)连接，所述防尘罩(3)沿所述第一方向两端分别能与所述挡板(2)抵接，形成用于放置所述待存储物的存储空间，所述防尘罩(3)被配置为，其能沿所述第一方向被伸展和压缩，且所述防尘罩(3)沿所述第一方向的两端至少其中一端能选择性与所述挡板(2)抵接。2.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述存储装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述防尘罩(3)包括沿第一方向设置的第一端和第二端，所述第一驱动组件驱动所述第一端选择性靠近或远离所述底座(1)一端的挡板(2)，所述第二驱动组件驱动所述第二端选择性靠近或远离所述底座(1)另一端的挡板(2)。3.根据权利要求2所述的存储装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括两组均沿所述第一方向延伸的第一同步带轮组件，所述第二驱动组件包括两组均沿所述第一方向延伸的第二同步带轮组件：所述防尘罩(3)的两侧均设置有与所述第一同步带轮组件连接的第一连接件(8)和与所述第二同步带轮组件连接的第二连接件(9)。4.根据权利要求3所述的存储装置，其特征在于，所述第一同步带轮组件包括第一主动轮(53)、第一从动轮(54)、以及绕设于所述第一主动轮(53)和所述第一从动轮(54)上的第一同步带(55)，所述第一同步带(55)与所述第一连接件(8)连接；所述第二同步带轮组件包括第二主动轮(63)、第二从动轮(64)、以及绕设于所述第二主动轮(63)和所述第二从动轮(64)上的第二同步带(65)，所述第二同步带(65)与所述第二连接件(9)连接；位于所述防尘罩(3)同侧的所述第一主动轮(53)和所述第二从动轮(64)同轴设置，所述第二主动轮(63)和所述第一从动轮(54)同轴设置。5.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述第一驱动组件还包括第一电机(51)、与所述第一电机(51)传动连接的第一转轴(52)，所述第一转轴(52)沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一转轴(52)的两端均穿设有所述第一主动轮(53)和所述第二从动轮(64)；所述第二驱动组件还包括第二电机(61)、与所述第二电机(61)传动连接的第二转轴(62)，所述第二转轴(62)与所述第一转轴(52)平行，所述第二转轴(62)的两端均穿设有所述第二主动轮(63)和所述第一从动轮(54)；所述第一从动轮(54)和...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘凯，王刚，甄静，张伊颉，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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