一种硅片取放机构制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片搬运设备领域，涉及一种硅片取放机构。本实用新型专利技术通过取放抓手将硅片从花篮与石墨舟之间进行相互搬运，可同时对应处理2石墨舟，4花篮或8花篮上的硅片取放需求，极大的提高了硅片取放效率，通在双面移动轨道两侧设置两个取放组件，即4个取放部件两两背靠背设置在双面移动轨道上，每个取放部件进行独立工作，X轴驱动部件可快速响应产能需要以及取放部件在双面移动轨道上远距离搬运硅片需求。硅片需求。硅片需求。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片取放机构


[0001]本技术涉及硅片搬运设备领域，涉及一种硅片取放机构。

技术介绍

[0002]目前，硅片工艺必不可少的使用花篮、石墨舟等载具进行不同工艺工序切换。一般要求将硅片从花篮转到石墨舟以及石墨舟转到花篮两种自动化需求。随着硅片工业化生产，对自动化取放产能要求越来越高，现有采用机器人带一组吸嘴进行硅片取放槽，不仅成本高昂，同时机器人长时间负荷运行，不仅速度已到极限同时还会减少机器人使用寿命。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种极大的提高了硅片取放效率，可快速响应产能需要以及远距离搬运硅片需求的硅片取放机构。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种硅片取放机构，包括双面移动轨道以及两个取放组件，两个取放组件对称设置在所述双面移动轨道的两侧导轨上，所述双面移动轨道上设置有X轴驱动部件，所述X轴驱动部件与所述取放组件驱动连接，所述X轴驱动部件驱动所述取放组件在所述双面移动轨道上往复直线运动；
[0006]所述取放组件包括两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片取放机构，其特征在于，包括双面移动轨道以及两个取放组件，两个取放组件对称设置在所述双面移动轨道的两侧导轨上，所述双面移动轨道上设置有X轴驱动部件，所述X轴驱动部件与所述取放组件驱动连接，所述X轴驱动部件驱动所述取放组件在所述双面移动轨道上往复直线运动；所述取放组件包括两个取放部件，两个取放部件滑设在所述双面移动导轨的导轨上，所述取放部件包括位置调节单元以及取放抓手，所述取放抓手设置在所述位置调节单元上，所述位置调节单元驱动所述取放抓手将硅片从花篮与石墨舟之间进行相互搬运。2.如权利要求1所述的硅片取放机构，其特征在于，所述位置调节单元包括升降架、升降滑轨以及连接板，所述升降滑轨设置在所述连接板上，所述升降架上设置有升降滑块，所述升降滑块滑设在所述升降滑轨上，升降驱动器，所述升降驱动器设置在所述连接板上，所述升降驱动器与所述升降架驱动连接，所述升降驱动器带动所述升降架沿着升降滑轨做直线运动。3.如权利要求2所述的硅片取放机构，其特征在于，所述位置调节单元还包括平移板，所述平移板上设置有平移滑块，所述升降架底部设置有平移滑轨，所述平移滑块滑设在所述平移滑轨上，平移驱动器，所述平移驱动器设置在所述升降架上，所述平移驱动器与所述平移板驱动连接，所述平移驱动器驱动平移板沿着所述平移滑轨做直线运动。4.如权利要求1所述的硅片取放机构，其特征在于，所述取放抓手包括抓手架，所述抓手架上均匀设置有多个定位槽，所述定位槽上设置有用于抓取硅片的吸板，相联吸板之...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，李学文，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技南通有限公司，
类型：新型
国别省市：