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本实用新型涉及硅片搬运设备领域，涉及一种硅片取放机构。本实用新型通过取放抓手将硅片从花篮与石墨舟之间进行相互搬运，可同时对应处理2石墨舟，4花篮或8花篮上的硅片取放需求，极大的提高了硅片取放效率，通在双面移动轨道两侧设置两个取放组件，即4个...
该专利属于罗博特科智能科技南通有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技南通有限公司授权不得商用。

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