一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，包括机体和供气主管，所述机体内设有阳极氧化槽，所述阳极氧化槽的两侧均设有空气搅拌系统，所述供气主管通过支架固定安装在阳极氧化槽内腔顶部，所述供气主管尖端侧壁设有用于保持供气主管内部气体压力的减压阀，所述供气主管另一端连接有三条分支管，三条所述分支管的外壁均设有气体流量计，三条所述分支管均匀间隔分布，且底端均延伸至阳极氧化槽内腔底端，所述供气主管靠近进风一端外部设有抽风罩。本实用新型专利技术为一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，能够解决阳极氧化槽内空气搅拌效果不佳引起的温度分布不均匀的问题，实现阳极附近温度均匀分布，保持在

【技术实现步骤摘要】
一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置


[0001]本技术涉及铝阳极氧化槽槽液空气搅拌相关
，具体为一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置。

技术介绍

[0002]10.5G是目前LCD行业最大尺寸的生产线，相对于8.5/7/6G等，等离子刻蚀工艺所用的上部电极耗材尺寸也是最大的；上部电极应用于TET
‑
LCD等离子刻蚀设备内，大多数为铝制品，表面需进行阳极氧化处理，优质的阳极氧化皮膜赋予上部电极良好的耐电压、阻抗及耐腐蚀性能；铝表面阳极氧化处理是在阳极氧化槽中进行，阳极氧化槽槽液温度是阳极氧化一个重要工艺参数，当槽液温度从10℃上升到20℃，则阳极氧化膜的溶解速度增加约3倍，这意味着当槽液温度分布不均匀时阳极氧化皮膜厚度的均匀性也很难满足，因此必须对槽液温度进行控制，维持在适宜温度范围，需要保持在
±
1℃范围内；随着电极尺寸的增大，意味着阳极氧化槽体积也大大增加，对于阳极氧化槽槽液温度控制提出新的挑战；
[0003]当阳极氧化槽槽液温度不均匀时，生成的阳极氧化膜膜厚均匀性也很差，影响上部电极性能，因为膜厚均匀性差的上部电极，表面皮膜厚度较低区域在DryEtch过程中容易发生Etch过度，引起Paticle、Arcing等不良，直接表现在于基板生产过程中Etch不良甚至报废，上部电极寿命不足下机；因此要想得到膜厚均匀的阳极氧化膜，槽液温度均匀性必须加以控制；
[0004]现阶段维持阳极氧化槽槽液温度稳定通常采用单管空气搅拌的方式，即在阳极氧化槽底部引入单根气体管道，在阳极氧化槽底部分为两支管道，在支管上开距离相等的孔来通入气体至槽内，通过气体来对槽液进行搅拌，从而达到温度均衡的目的。但实际生产中会出现阳极氧化槽中段搅拌明显，两端搅拌不明显，阳极氧化槽两端的槽液温度明显高于中间的情况，产生上述原因的因素有：1、气体流量，因阳极氧化产品是悬挂在导电杆上浸入阳极氧化槽液中，这就要求空气搅拌气体流量不能太大，否则产品会产生摇摆，但在10.5G阳极氧化槽中较小的气体流量会出现槽中段和槽两端气体流量相差较大，导致空气搅拌效果不明显；2、空气搅拌不能分段控制，现有的单管式空气搅拌系统不能对特定区域的温度进行调节；所以这里设计生产了一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，以便于解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，包括机体和供气主管，所述机体内设有阳极氧化槽，所述阳极氧化槽的两侧均设有空气搅拌系统，所述供气主管通过支架固定安装在阳极氧化槽内腔顶部，所述供气主管尖端侧壁设有用于保持供气主管内部气体压力的减压阀，所述供气主管另一端连接有三
条分支管，三条所述分支管的外壁均设有气体流量计，三条所述分支管均匀间隔分布，且底端均延伸至阳极氧化槽内腔底端，所述供气主管靠近进风一端外部设有抽风罩。
[0007]优选的，三条所述分支管的尖端贯穿槽壁与极板之间的间隙，且连接有气体扩散管。
[0008]优选的，每根所述气体扩散管均为PP管，且长度均为1.2米。
[0009]优选的，所述供气主管的外壁上还设有总管电磁阀，且在连接有总管电磁阀的位置上通过旁通管设有旁通隔膜阀。
[0010]优选的，每根所述分支管的外壁均设有分支隔膜阀。
[0011]优选的，三根所述分支管通过汇总管连接有压力表。
[0012]优选的，每根所述气体扩散管的径向侧壁均开设有若干个均匀间隔分布的气孔。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.本技术为一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，能够解决阳极氧化槽内空气搅拌效果不佳引起的温度分布不均匀的问题，实现阳极附近温度均匀分布，保持在
±
1℃范围内，简单实用。
[0015]2.本技术，由于一体式供气会导致阳极氧化槽中段与两端空气搅拌作用有很大差距，将一体式供气改为分段式供气，另外通过新增气体流量计实现单独调节气体流量，可以根据实际情况调节气体流量，将分支管等距地引入阳极氧化槽下部，连接长度为1.2m的新设计的气体扩散管，在阳极氧化槽两侧各安装一个空气搅拌系统，通入气体实现槽液整体明显搅拌，温度均匀分布。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例的结构示意图；
[0017]图2为本技术实施例的局部侧视图；
[0018]图3为本技术实施例的局部俯视图；
[0019]图中：1、机体；2、供气主管；21、分支管；3、减压阀；4、总管电磁阀；5、旁通隔膜阀；6、压力表；7、气体流量计；8、分支隔膜阀；9、阳极氧化槽；10、抽风罩；11、气体扩散管。
具体实施方式
[0020]为了便于使用，本技术实施例提供了一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例
[0022]请参阅图1
‑
3，本实施例提供了一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，包括机体1和供气主管2，机体1内设有阳极氧化槽9，阳极氧化槽9的两侧均设有空气搅拌系统，通过在阳极氧化槽9两侧各安装一个空气搅拌系统，通入气体实现槽液整体明显搅拌，温度均匀分布，供气主管2通过支架固定安装在阳极氧化槽9内腔顶部，供气主管2尖端侧壁设有用于保持供气主管2内部气体压力的减压阀3，通过减压阀3保持供气主管2内气体压力稳定，供气
主管2另一端连接有三条分支管21，三条分支管21的外壁均设有气体流量计7，在供气主管2的尖端引出3条分支管21，分支管21上配有气体流量计7，通过新增气体流量计7实现单独调节气体流量，可以根据实际情况调节气体流量，三条分支管21均匀间隔分布，且底端均延伸至阳极氧化槽9内腔底端，供气主管2靠近进风一端外部设有抽风罩10。
[0023]三条分支管21的尖端贯穿槽壁与极板之间的间隙，且连接有气体扩散管11，考虑到一体式供气会导致阳极氧化槽9中段与两端空气搅拌作用有很大差距，通过采用分段式供气方案，通过新设计的气体扩散管11使气体在阳极氧化槽9内均匀扩散，每根气体扩散管11的径向侧壁均开设有若干个均匀间隔分布的气孔，实现对阳极氧化槽9的槽液的整体搅拌，温度分布均匀；
[0024]每根气体扩散管11均为PP管，且长度均为1.2米。
[0025]供气主管2的外壁上还设有总管电磁阀4，且在连接有总管电磁阀4的位置上通过旁通管设有旁通隔膜阀5。
[0026]每根分支管21的外壁均设有分支隔膜阀8。
[0027]三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，包括机体(1)和供气主管(2)，其特征在于：所述机体(1)内设有阳极氧化槽(9)，所述阳极氧化槽(9)的两侧均设有空气搅拌系统，所述供气主管(2)通过支架固定安装在阳极氧化槽(9)内腔顶部，所述供气主管(2)尖端侧壁设有用于保持供气主管(2)内部气体压力的减压阀(3)，所述供气主管(2)另一端连接有三条分支管(21)，三条所述分支管(21)的外壁均设有气体流量计(7)，三条所述分支管(21)均匀间隔分布，且底端均延伸至阳极氧化槽(9)内腔底端，所述供气主管(2)靠近进风一端外部设有抽风罩(10)。2.根据权利要求1所述的一种铝阳极氧化槽槽液空气搅拌装置，其特征在于：三条所述分支管(21)的尖端贯穿槽壁与极板之间的间隙，且连接有气体扩散管(11)。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓刚，万俊，刘超，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：