【技术实现步骤摘要】
一种接触式微位移检测装置
[0001]本专利技术涉及测量
,具体涉及一种接触式微位移检测装置。
技术介绍
[0002]微位移检测技术是精密定位、精密仪器加工制造、精密测量等应用领域中的关键技术之一,在尖端的工业生产领域和科学研究中占有极其重要的地位。随着科技不断进步,微纳米技术迅速兴起,使微位移检测技术的要求不断提高。
[0003]公开号为CN208902127U的专利文献公开了一种光纤微位移传感器,包括传动杆、相对设置的两锯齿状的反射镜和分别射入和射出的两个准直透镜等;传动杆推动其中一个锯齿状的反射镜,引起两反射镜的反射小形成偏差,以此造成光路反射时光路行程产生变化;导致测量光路的光信号相位相对参考光路发生变化,通过相位比较器两个探测相位变化量便可以解调位移变化。
[0004]但是上述技术方案存在以下技术问题:无法避免光源误差、几何安装误差与环境因素影响引起的误差等多种不确定因素。
技术实现思路
[0005]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题,特别创新地提出了一种接触式微位
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种接触式微位移检测装置,包括中空的壳体,所述壳体内横向设有测量杆(11),所述测量杆(11)的左端穿出壳体外,其特征在于:所述测量杆(11)中部的上下两侧从内向外依次设有磁控弹性体(7)、压电片(5)和U型安装槽(3),两个所述U型安装槽(3)相背设置,且分别与壳体的上、下内侧壁围成分别用于放置第一永磁体(6)与第二永磁体(14)的空腔,所述第一永磁体(6)和第二永磁体(14)相对一侧的磁极极性相反,且均固定在U型安装槽(3)的槽底,两个所述压电片(5)均连接有引线(8),所述引线(8)穿过壳体上设置的通孔(14),引出至壳体外;所述壳体内靠右固设有定向板(17),所述测量杆(11)右端穿过定向板(17)自由悬空,所述壳体右内侧壁上设有用于为测量杆(11)右端提供缓冲的垫块(12);所述壳体左侧壁和定向板(17)上供测量杆(11)穿过的穿孔内均设有导向环(13),所述测量杆(11)滑动连接在穿孔内,所述测量杆(11)上靠左固定连接有左推板(15),靠右固定连接有右推板(16),所述左推板(15)与左侧壁之间连接有左弹性复位机构(2),所述右推板(16)与定向板(17)之间连接有右弹性复位机构(18)。2.根据权利要求1所述的一种接触式微位移检测装置,其特征在于:所述测量杆(11)中部的上下两侧设为扁平状,两个所述磁控弹性体(7)分别固定在测量杆(11)中部扁平部位(19)的上、下两侧。3.根据...
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