本发明专利技术涉及一种微结构的制备方法，将微结构制备在盖玻片上，并在盖玻片上同时制备能够分辨盖玻片正反面方向的特殊标记图案。本发明专利技术中的微结构的制备方法，在盖玻片上的微结构制备，面积小且薄，方便了其移动、放置，为批量观察微结构提供了基础。特殊标记图案方便后续观察微结构时对盖玻片的准确放置。本发明专利技术还涉及一种微结构的批量观察方法，在样品台上放置多个制备有微结构的盖玻片，通过移动样品台实现对微结构的批量观察。该微结构观察方法，提高了微结构的观察效率。本发明专利技术还涉及微结构观察装置，为实现前述微结构观察方法提供了设备基础，能够实现多个微结构的批量观察，实现了微结构的快速、高效观察。高效观察。高效观察。
【技术实现步骤摘要】
微结构的制备方法、批量观察方法以及观察装置
[0001]本专利技术涉及一种微结构的制备方法，本专利技术还涉及微结构的批量观察方法以及观察装置。
技术介绍
[0002]近年来，随着微机电系统、光学成像、显微医疗等领域技术水平的快速发展，微结构在各个领域的使用范围越来越广，微结构也逐渐引起了人们的重视。在利用飞秒激光双光子聚合技术制备样品的过程中，微结构一般是被制备在载玻片上的，在载玻片上制备微结构具有效率低、耗材多、难以被用于其他研究等缺点。若选择在盖玻片上制备微结构则有许多优势，例如，在生物检测方面，如果对制作的微结构进行进一步的分子修饰，需要将其浸入不同的液体，这样盖玻片由于其壁薄及尺寸远远小于载玻片，可以给实验操作带来很多便利。但如果在盖玻片上制备微结构，则不易分清样品所在盖玻片的正面还是反面。因此，如何在盖玻片上制备`合适的标记就显得比较重要了，制备的标记既要能较易区分盖玻片的正反面，又要不影响主体微结构的布局。
[0003]随着微结构这一种必须借助于光学显微镜或电子显微镜才能观察到的晶体结构越来越重要，其作为微结构领域科学实验研究的关键部分，具有尺寸小，样式多等特性，而这也是造成微结构难以被观察的原因，如何实现对微结构快速高效的观察是一个需要解决的重要课题。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的第一个技术问题是针对上述现有技术提供一种利用现有实验仪器就能完成在盖玻片上的制备，并能判断所制备的微结构位于盖玻片的正面还是反面的微结构的制备方法。
[0005]本专利技术所要解决的第二个技术问题是针对上述现有技术提供一种能够自动完成对盖玻片上微结构的批量观察，提高微结构观察效率的微结构的批量观察方法。
[0006]本专利技术所要解决的第三个技术问题是针对上述现有技术提供一种结构简单、成本低且能完成微结构的自动化批量观察的微结构观察装置。
[0007]本专利技术解决上述第一个技术问题所采用的技术方案为：一种微结构的制备方法，其特征在于：包括以下步骤
[0008]S1、在载玻片上方间隔粘结两个垫片，并在两个垫片之间滴入光刻胶溶液；
[0009]S2、将盖玻片跨设于两个垫片上，使得盖玻片覆盖在光刻胶溶液上；
[0010]S3、按压盖玻片以排出光刻胶溶液内的空气，使得光刻胶溶液与盖玻片的下表面充分接触，如此形成待加工样品；
[0011]S4、将待加工样品放置在微结构加工平台上，在盖玻片的下表面上进行设计图案微结构的加工；
[0012]S5、在光刻胶溶液的边角处加工出能够分辨盖玻片正反面方向的特殊标记图案；
[0013]S6、将加工好的样品放置在无水乙醇中浸泡，除去未固化的光刻胶溶液，然后再移动并翻转盖玻片，将盖玻片放在无水乙醇中再浸泡后取出晾干，完成微结构在盖玻片上的制备。
[0014]优选地，两个垫片之间的距离为1～1.5cm。
[0015]简单地，所述垫片为两层胶纸。
[0016]优选地，所述垫片沿载玻片的宽度方向跨设粘结在载玻片上。
[0017]方便辨识地，所述盖玻片为矩形；
[0018]S5中，在光刻胶溶液位于盖玻片中心与一个角的连线一侧的位置处加工所述特殊标记图案。
[0019]优选地，S6中，使用镊子夹持盖玻片沿与垫片平行的方向缓慢移动，待盖玻片宽度的3/5移出载玻片时，使用镊子夹持盖玻片的边缘并翻转180
°
，然后将盖玻片再在无水乙醇中浸泡2分钟后取出晾干。
[0020]本专利技术解决上述第二个技术问题所采用的技术方案为：一种微结构的批量观察方法，其特征在于：用于观察的微结构为利用前述制备方法制备在盖玻片上的微结构；
[0021]用于放置制备有微结构的盖玻片的样品台具有多个放置位，多个放置位设置于样品台的观察区域；
[0022]样品台固定在能实现三维方向上移动的移动平台上；
[0023]步骤一、将多个制备有微结构的盖玻片分别放置在样品台上的各放置位内，放置时，根据盖玻片上制备的特殊标记图案分辨盖玻片正反面，进而使得盖玻片放置在样品台上后，盖玻片上的微结构位于盖玻片的上方；
[0024]步骤二、配合移动平台的移动，利用电子显微目镜依次实现对样品台上各盖玻片上的微结构的观察。
[0025]可选择地，利用电子显微目镜拍摄微结构的图像，进而传送至显示屏上进行显示观察；和/或
[0026]利用电子显微目镜实时传送微结构的图像至显示屏上进行显示。
[0027]本专利技术解决上述第三个技术问题所采用的技术方案为：一种微结构观察装置，其特征在于：包括
[0028]三维移动平台，能够实现前后、左右、上下三个维度上的移动；
[0029]样品台，能拆装地设置在三维移动平台上，样品台的上表面上排列设置有至少两个放置位；
[0030]电子显微目镜，设置在三维移动平台旁且位于样品台的上方；
[0031]显示屏；
[0032]控制电路板，分别与三维移动平台、电子显微目镜、显示屏电信号连接。
[0033]为了为微结构观察提供足够的亮度，提高观察的精度，所述样品台内部对应于放置位设置有环形的光源。
[0034]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术中的微结构的制备方法，实现了在盖玻片上的微结构制备，由于盖玻片面积小且薄，方便了其移动、放置，为同时放置多个盖玻片在同一个样品台上提供了可能性，进而为批量观察微结构提供了基础。
[0035]同时在盖玻片上制备能够分辨盖玻片正反面方向的特殊标记图案，以方便在在后
续观察微结构时能够快速区分微结构的制备位置，提高后续观察微结构时对盖玻片的放置效率。
[0036]本专利技术中的微结构观察方法，对基于该微结构制备方法制备出的微结构，能够进行批量进行观察，在观察过程中，无需取下一个微结构才能观察下一个微结构，提高了微结构的观察效率；实现微结构显微观察的自动化，优化微结构观察的繁琐步骤，在观察过程中也减少了寻找微结构所需时间。
[0037]而本专利技术中的微结构观察装置为实现前述微结构观察方法提供了设备基础，能够实现多个微结构的批量观察，实现了微结构的快速、高效观察。
附图说明
[0038]图1为本专利技术实施例中微结构的制备方法的流程图。
[0039]图2为本专利技术实施例中俯视角度特殊标记图案相对于盖玻片的位置示意图。
[0040]图3为本专利技术实施例中微结构观察装置的立体图。
[0041]图4为本专利技术实施例中样品台的示意图。
具体实施方式
[0042]以下结合附图实施例对本专利技术作进一步详细描述。
[0043]如图1所示，本实施例中的微结构的制备方法，包括以下步骤：
[0044]S1、在载玻片上方间隔粘结两个垫片，本实施例中的所使用垫片为两层胶纸，操作时，分别在载玻片长度方向上1/3的位置处以及2/3的位置处沿载玻片的宽度方向跨设粘结在载玻片上，使得两个垫片之间的距离为1～1.5cm。由于垫片具有一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微结构的制备方法，其特征在于：包括以下步骤S1、在载玻片上方间隔粘结两个垫片，并在两个垫片之间滴入光刻胶溶液(2)；S2、将盖玻片(1)跨设于两个垫片上，使得盖玻片(1)覆盖在光刻胶溶液(2)上；S3、按压盖玻片(1)以排出光刻胶溶液(2)内的空气，使得光刻胶溶液(2)与盖玻片(1)的下表面充分接触，如此形成待加工样品；S4、将待加工样品放置在微结构加工平台上，在盖玻片(1)的下表面上进行设计图案微结构的加工；S5、在光刻胶溶液(2)的边角处加工出能够分辨盖玻片(1)正反面方向的特殊标记图案(3)；S6、将加工好的样品放置在无水乙醇中浸泡，除去未固化的光刻胶溶液(2)，然后再移动并翻转盖玻片(1)，将盖玻片(1)放在无水乙醇中浸泡后并取出晾干，完成微结构在盖玻片(1)上的制备。2.根据权利要求1所述的微结构的制备方法，其特征在于：两个垫片之间的距离为1～1.5cm。3.根据权利要求1所述的微结构的制备方法，其特征在于：所述垫片为两层胶纸。4.根据权利要求1所述的微结构的制备方法，其特征在于：所述垫片沿载玻片的宽度方向跨设粘结在载玻片上。5.根据权利要求1至4任一权利要求所述的微结构的制备方法，其特征在于：所述盖玻片(1)为矩形；S5中，在光刻胶溶液(2)位于盖玻片(1)中心与一个角的连线一侧的位置处加工所述特殊标记图案(3)。6.根据权利要求1至4任一权利要求所述的微结构的制备方法，其特征在于：S6中，使用镊子夹持盖玻片(1)沿与垫片平行的方向缓慢移动，待盖玻片(1)宽度的3/5移出载玻片时，使用镊子夹持盖玻片(1)的边缘并翻转180
°
，然后将盖玻片(1)再在无...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐泽宇，陶卫东，龚逸枫，黄灵慧，余玲燕，贺正毅，陈从林，陈显兵，孟祥俊，
申请(专利权)人：宁波格特威电机有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。