一种蒸镀速率测量装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀速率测量装置及蒸镀设备，该蒸镀速率测量装置包括：至少两个石英晶体微天平；切换机构，所述切换机构的输入端可选择的与所述至少两个石英晶体微天平中一个石英晶体微天平电连接，以用于切换所述至少两个石英晶体微天平；振荡器，所述振荡器与所述切换机构的输出端电连接；信号处理机构，所述信号处理机构与所述振荡器电连接，以用于对接收到的信号进行处理得出蒸镀速率。该蒸镀速率测量装置相比现有技术中的装置，减少了装置的排线工作量以及信号处理器连接端口的占用量，并且能够提高生产效率以及降低工作人员的工作量。率以及降低工作人员的工作量。率以及降低工作人员的工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀速率测量装置及蒸镀设备


[0001]本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀速率测量装置及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]在蒸镀领域，蒸镀材料时会用多个石英晶体微天平(Quartz CrystalMicrobalance，QCM)来测量蒸镀速率，其中一个QCM用于测量，其他QCM 则作为备用使用。传统的QCM接口电路是一个QCM对应一个振荡器和一个测量通道。如果备用的QCM比较多，会占用大量振荡器和测试通道。在测量通道比较少时，可能没有备用的QCM，在蒸镀过程中QCM异常就需要停止蒸镀设备，然后打开真空腔更换QCM，会消耗大量时间。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种蒸镀速率测量装置及蒸镀设备，上述蒸镀速率测量装置相比现有技术中的装置，减少了装置的排线工作量以及信号处理器连接端口的占用量，并且能够提高生产效率以及降低工作人员的工作量。
[0004]为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0005]一种蒸镀速率测量装置，包括：
[0006]至少两个石英晶体微天平；/>[0007]切换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀速率测量装置，其特征在于，包括：至少两个石英晶体微天平；切换机构，所述切换机构的输入端可选择的与所述至少两个石英晶体微天平中一个石英晶体微天平电连接，以用于切换所述至少两个石英晶体微天平；振荡器，所述振荡器与所述切换机构的输出端电连接；信号处理机构，所述信号处理机构与所述振荡器电连接，以用于对接收到的信号进行处理得出蒸镀速率。2.根据权利要求1所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，包括两个所述石英晶体微天平，所述切换机构包括第一同轴继电器，两个所述石英晶体微天平分别与第一同轴继电器的常开通道和常闭通道连接，所述振荡器与所述第一同轴继电器的输出端连接。3.根据权利要求1所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，包括四个所述石英晶体微天平，所述切换机构包括第二同轴继电器、第三同轴继电器以及第四同轴继电器，其中，两个所述石英晶体微天平分别与所述第二同轴继电器的常开通道和常闭通道连接，另外两个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐家元，李小东，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：