一种用于直拉单晶硅炉的排气罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，其结构包括底板、支撑脚、防漏容器、排气出口管道和输送机构，通过设置了输送机构在底板下端，进入防漏容器内部中的熔硅通过通道向外壳内部中传输，且电机带动绞龙转动，绞龙带动熔硅向上传输，并通过传输通道向石英坩埚内传输，便于对熔硅的收集和传导，二次利用，避免熔硅泄露，降低原料的损耗；通过设置了启动装置在防漏容器底端，防漏容器底端在容纳了一定的熔硅时，挡板受到重力向下转动，并推动推杆，使推杆挤压开关，并控制电机启动，可自动控制电机启动，便于对熔硅的传输。便于对熔硅的传输。便于对熔硅的传输。

【技术实现步骤摘要】
一种用于直拉单晶硅炉的排气罩


[0001]本技术涉及单晶硅生产装备
，具体涉及一种用于直拉单晶硅炉的排气罩。

技术介绍

[0002]高纯度的单晶硅是制备电子元件和太阳能电池的主要原料，是重要的电子信息材料，在现有技术中，已经公开了多种制备晶体硅的方法，其中目前比较常用的方法是直拉法，在直拉单晶硅生产工艺中，需要向直拉单晶硅炉中通入氩气进行冷却，并带走拉单晶过程中产生的废气，排气罩可辅助单晶硅炉气体的排放。
[0003]排气罩辅助直拉单晶硅炉排出挥发混合气体，且辅助罩内中的防漏容器在对发生漏硅事故时，常具有对熔硅起到容纳作用，且较难对熔硅起到疏导，降低排气罩的实用性。

技术实现思路

[0004](一)要解决的技术问题
[0005]为了克服现有技术不足，现提出一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，解决了排气罩辅助直拉单晶硅炉排出挥发混合气体，且辅助罩内中的防漏容器在对发生漏硅事故时，常具有对熔硅起到容纳作用，且较难对熔硅起到疏导，降低排气罩的实用性的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，包括底板(1)和排气出口管道(4)，所述底板(1)底部固定连接有支撑脚(2)；其特征在于：还包括输送机构(5)，所述输送机构(5)固定安装于防漏容器(3)底端，所述输送机构(5)包括启动装置(51)、通道(52)、外壳(53)、电机(54)、绞龙(55)和传输通道(56)，所述启动装置(51)固定安装于防漏容器(3)底端，所述通道(52)与防漏容器(3)底端相贯通，所述外壳(53)固定安装于底板(1)左端，并且通道(52)左端与外壳(53)相连接，所述外壳(53)内底端与电机(54)螺栓连接，所述电机(54)输出轴与绞龙(55)下端同轴转动，所述传输通道(56)设于外壳(53)上端。2.根据权利要求1所述的一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，其特征在于：所述启动装置(51)包括挡板(511)、推杆(512)、弹簧(513)和开关(514)，所述挡板(511)与通道(52)上端转动连接，所述推杆(512)与底板(1)右端滑动连接，所述推杆(512)右端与弹簧(513)固定连接，所述推杆(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张忠华，张俊，吴雄，凌继贝，
申请(专利权)人：内蒙古豪安能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：