下载一种用于直拉单晶硅炉的排气罩的技术资料

文档序号:28096256

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本实用新型公开了一种用于直拉单晶硅炉的排气罩,其结构包括底板、支撑脚、防漏容器、排气出口管道和输送机构,通过设置了输送机构在底板下端,进入防漏容器内部中的熔硅通过通道向外壳内部中传输,且电机带动绞龙转动,绞龙带动熔硅向上传输,并通过传输通道...
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