一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，所述底座上固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液。该直拉式单晶硅棒生产的冷却设备的蓄水箱在水泵的驱动下通过进水管、Y形分流管对水流进行均匀分散，并通过连接管与冷水管构成连通结构，从而通过冷水管对晶体表面进行冷却降温，且冷水管通过出水管与蓄水箱构成循环结构，从而保证冷水管内水流持续处于低温状态，进而保证冷水套的降温效率，该装置风扇在第一电动推杆的驱动下通过第一伸缩臂、凹形连接板与晶体构成水平推动结构，从而通过风扇于晶体下方对其进行散热，并通过副炉上方通孔将热气排出。热气排出。热气排出。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备

：
[0001]本技术涉及采单晶硅棒生产
，具体为一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备。

技术介绍
：
[0002]单晶硅棒，是用于制造半导体器件、太阳能电池的，单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的，是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒。单晶硅棒于生产过程中，需要通过降温辅助其成型，于是使用冷却设备对其进行加工。
[0003]而现有冷却设备于使用过程仅靠单一的降温装置进行冷却，从而导致单晶硅棒冷却速率较低，且副炉下方加热仓内的热气容易影响晶体的冷却效率。由此，设计一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备以解决上述问题。

技术实现思路
：
[0004]本技术的目的在于提供一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，以解决上述
技术介绍
中提出现有的冷却设备于使用过程仅靠单一的降温装置进行冷却，从而导致单晶硅棒冷却速率较低，且副炉下方加热仓内的热气容易影响晶体的冷却效率的问题。
[0005]本技术由如下技术方案实施：一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，包括底座，所述底座上固定设有坩埚传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，包括底座(1)，所述底座(1)上固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述底座(1)上方固定设有加热仓(2)，且坩埚旋转轴于加热仓(2)内连接碳坩埚，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液，所述加热仓(2)上方固定设有副炉(3)，且副炉(3)顶端设有晶体提升装置(4)，所述晶体提升装置(4)下方于副炉(3)内设有吊线，且吊线下端连接籽晶(5)，且籽晶(5)下端生成晶体(6)，其特征在于：所述副炉(3)、加热仓(2)于连接处穿插有隔热板(7)，且两组隔热板(7)于外端分别穿插有L形卡合杆，所述加热仓(2)上端面对应开设有两组卡合孔，且L形卡合杆卡合于卡合孔内；所述隔热板(7)上方于副炉(3)背面设有盒体，且盒体内固定设有第一电动推杆(8)，所述第一电动推杆(8)一端设有第一伸缩臂(9)，且第一伸缩臂(9)另一端连接凹形连接板(10)，所述凹形连接板(10)上固定连接风扇(11)，且副炉(3)上端面均匀开设有多组通孔；所述副炉(3)于两侧外壁分别设有盒体，且盒体内固定设有第二电动推杆(12)，所述两组第二电动推杆(12)的相对面分别设有第二伸缩臂(13)，且第二伸缩臂(13)另一端分别设有冷水套(14)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴雄，任宝宝，张子龙，
申请(专利权)人：内蒙古豪安能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：