下载一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备的技术资料

文档序号:38862502

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本实用新型公开了一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备,所述底座上固定设有坩埚传动装置,且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴,所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚,且石英坩埚内放置有硅溶液。该直拉式单晶硅棒生产的冷却设备的蓄水箱在水泵的驱动下通过进水管、Y...
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