一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为了解输送管路温度高和MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，在管路和管路支路上设置手动调节阀，当气动调节阀出现故障的时候可以使用手动调节阀进行手动调节，在蒸发器的蒸发器管路上设置绝热盒，起到对外的保护作用的同时还起到了保温作用，防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置


[0001]本技术涉及半导体领域，较为具体的，涉及到一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置。

技术介绍

[0002]近年来，液态源MOCVD已作为一种新方法应用于制备金属氧化物薄膜，它能够很好地避免了多源输送面临的复杂性问题，在太阳能电池、微电子半导体工艺制程中，液态源以生产效率高，成膜特性好，气压小，不易泄露等优点，广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。
[0003]为了防止气化后的液态源不遇冷液化的问题，需要使得输送管路保持在一定的高温，而且MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，管路的设计上需要考虑到众多安全隐患。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术为了解输送管路温度高和MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，在管路上设置手动调节阀，当气动调节阀出现故障的时候可以使用手动调节阀进行手动调节，在蒸发器3的蒸发器管路4上设置绝热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，包括：载气管路(1)、液态源管路(2)、蒸发器(3)、蒸发器管路(4)、绝热盒(8)和工艺室(5)，载气管路(1)连接蒸发器(3)，蒸发器(3)连接蒸发器管路(4)，蒸发器管路(4)连接工艺室(5)，液态源管路(2)连接蒸发器(3)，其特征在于：液态源管路(2)上设有第一气动调节阀(14)和第一手动调节阀(9)，液态源管路(2)的支路上设有第三手动调节阀，通过液态源管路(2)的支路连接第一手动调节阀(9)和第三手动调节阀，载气管路(1)上设有第二气动调节阀(15)和第二手动调节阀(10)，载气管路(1)的支路上设有第四手动调节阀，通过载气管路(1)的支路连接第二手动调节阀(10)和第四手动调节阀，蒸发器管路(4)外围设有绝热盒(8)。2.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：第一气动调节阀(14)的输入端和输出端各设有第一手动调节阀(9)，正常情况下，第一手动调节阀(9)为打开状态，第三手动调节阀为关闭状态，当第一气动调节阀(14)出现故障的时候，打开第三手动调节阀，液态源可以从液态源管路(2)的支路进入到蒸发器(3)。3.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：第二气动调节阀(15)的输入端和输出端各设有第二手动调节阀(10)，正常情况下，第二手动调节阀(10)为打开状态，第四手动调节阀为关闭状态，当第二气动调节阀(15)出现...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙飞，
申请(专利权)人：苏州尚勤光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：