一种清理MOCVD上喷淋头的工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种清理MOCVD上喷淋头的工具，包括与喷淋头匹配的圆形支架，所述圆形支架固定在喷淋头上；所述圆形支架上设有固定导轨，所述固定导轨上滑动设有基板，所述基板上设置有伸缩导轨，所述伸缩导轨的移动轨迹与固定导轨的移动方向在空间上垂直分布；所述伸缩导轨上设置有刷头安装座，所述刷头安装座上设置有与喷淋头接触的刷头。本实用新型专利技术一旦固定在喷淋头上时，其上的刷头与喷淋头的距离就固定了，从而刷头抵触喷淋头的力量也会固定下来，相比人工刷喷淋头，其受力均衡，对喷淋头的清理效果好，也减轻喷淋头清理时的劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
一种清理MOCVD上喷淋头的工具
本技术涉及MOCVD维护
，尤其涉及一种清理垂直式喷淋头MOCVD上喷淋头的工具。
技术介绍
MOCVD(金属有机源化学气相沉积设备)，是一种在高温腔体内利用气相源进行化合物沉积的设备。技术要点为将衬底(蓝宝石、硅片等基板)放置于石墨盘上，在一定温度和压力下，通入化学元素周期表III/V族气体，III/V族气体会在衬底表面合成化合物，该化合物会沿衬底晶相沉积(俗称外延生长)。如图1为垂直式喷淋头MOCVD设备的反应室结构，III/V族气体通过喷淋头C喷出，在衬底E上形成化合物薄膜(衬底E放置在石墨舟F上，石墨舟F下方设有加热系统G)。在衬底E上形成化合物薄膜的同时，也会有部分化学反应是在喷淋头C附近发生，会导致沉积物沉积在喷淋头C上，这些沉积物需要定期清理。目前所采用的是人工刷的方式，人工刷喷淋头，会出现由于不同操作人员经验不同，刷的干净程度也不相同，这些都会影响后续生产的产品品质。
技术实现思路
为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种清理MOCVD上喷淋头的工具，提高刷喷淋头的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清理MOCVD上喷淋头的工具，包括与喷淋头匹配的圆形支架，所述圆形支架固定在喷淋头上；其特征在于：所述圆形支架上设有固定导轨，所述固定导轨上滑动设有基板，所述基板上设置有伸缩导轨，所述伸缩导轨的移动轨迹与固定导轨的移动方向在空间上垂直分布；所述伸缩导轨上设置有刷头安装座，所述刷头安装座上设置有与喷淋头接触的刷头。/n

【技术特征摘要】
1.一种清理MOCVD上喷淋头的工具，包括与喷淋头匹配的圆形支架，所述圆形支架固定在喷淋头上；其特征在于：所述圆形支架上设有固定导轨，所述固定导轨上滑动设有基板，所述基板上设置有伸缩导轨，所述伸缩导轨的移动轨迹与固定导轨的移动方向在空间上垂直分布；所述伸缩导轨上设置有刷头安装座，所述刷头安装座上设置有与喷淋头接触的刷头。


2.根据权利要求1所述的工具，其特征在于：所述刷头安装座上设置有向外伸出的握持端。


3.根据权利要求2所述的工具，其特征在于：所述握...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙飞，
申请(专利权)人：苏州尚勤光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32