一种用于金刚石生成的沉积台联动驱动轴机构制造技术

技术编号:28065817 阅读:23 留言:0更新日期:2021-04-14 14:45
本实用新型专利技术的目的是提供一种用于金刚石生成的沉积台联动驱动轴机构,其特征在于:由主转轴、驱动电机、三个沉积台转动装置和两个传动齿轮组成,每个沉积台转动装置是由驱动轴、定位板件、驱动齿轮、助转轴承、润滑层、驱动轴套筒和沉积台组成;整个设施结构简单、使用方便,采用联动机制将三组沉积台转动装置进行连接,能够有效提升转动扭力和所生成金刚石的沉积台的持续转动,减小转动扭力给驱动齿轮所带来的启动磨损,并且能够保证联动机制下的每个沉积台能够独立均匀生产,提升了产品加工效率,让金刚石的沉积进程更加均匀,提高了金刚石生产的加工质量,整体的密闭性更强,提高了生产的安全性,以及降低了机体的磨损性,更加安全可靠。安全可靠。安全可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种用于金刚石生成的沉积台联动驱动轴机构


[0001]本技术涉及金刚石机加工生产领域,尤其涉及一种用于金刚石生成的沉积台联动驱动轴机构。

技术介绍

[0002]金刚石的制备反应是一种多用途化学气相沉积的过程,通过一个密闭的舱体进行沉积反应,换热器则是将装置内部腔体分隔为上部的沉积反应室和下部的气体收集室两部分,在沉积反应室内设有沉积台,则是用于金刚石的沉积生成,而沉积台需要连接沉积台驱动轴,沉积台驱动轴穿过换热器和气体收集室两部分,并延伸至整个舱体结构的外部,目前对于沉积台驱动轴都是采用独立式的驱动,即每个沉积台对应一个驱动轴,并且彼此之间互不影响,这样使得每个独立的沉积台驱动机制的周期转动都不相同,对于机体的损耗更大,不能同步运转进行,导致沉积台中生成的金刚石的大小结构也存在不均匀的现象,使得金刚石的质量存在差异,因此,需要对现有的金刚石沉积台的驱动机构进行改进,来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供了一种用于金刚石生成的过程中,采用联动机制将三组沉积台转动装置进行连接,能够有效提升转动扭力和所生成金刚石的沉积台的持续转动,减小转动扭力给驱动齿轮所带来的启动磨损,并且能够保证联动机制下的每个沉积台能够独立均匀生产,提升了产品加工效率,让金刚石的沉积进程更加均匀,提高了金刚石生产的加工质量,整体的密闭性更强,提高了生产的安全性,以及降低了机体的磨损性,更加安全可靠的沉积台联动驱动轴机构。
[0004]本技术的技术方案为:一种用于金刚石生成的沉积台联动驱动轴机构,其特征在于:由主转轴、驱动电机、三个沉积台转动装置和两个传动齿轮组成,所述驱动电机位于主转轴的一端,所述驱动电机与主转轴为固定连接,所述三个沉积台转动装置之间间隔相同的距离均匀分布在主转轴的另一端,并且所述主转轴与中间位置处的沉积台转动装置为固定连接,任意所述沉积台转动装置是由驱动轴、定位板件、驱动齿轮、助转轴承、润滑层、驱动轴套筒和沉积台组成,所述定位板件位于驱动轴靠近主转轴和驱动电机位置处的一端,所述定位板件与驱动轴为固定连接,所述驱动齿轮位于定位板件的一侧,所述驱动齿轮与驱动轴为固定连接,所述助转轴承位于驱动齿轮的一侧,所述助转轴承与驱动齿轮为固定连接,所述润滑层位于驱动轴的外侧,所述润滑层与驱动轴套筒为固定连接,所述驱动轴套筒位于驱动轴和润滑层的外部,所述驱动轴套筒的一端与定位板件为固定连接,所述驱动轴套筒的另一端与沉积台为固定连接,所述沉积台位于远离定位板件的驱动轴套筒的另一端,所述沉积台与驱动轴为固定连接,所述两个传动齿轮分别位于三个沉积台转动装置每两个之间的位置处,任意所述传动齿轮的一端与其中一个沉积台转动装置的驱动齿轮连接,所述传动齿轮的另一端与另外一个沉积台转动装置的驱动齿轮连接。
[0005]进一步,所述定位板件为中空通体结构。
[0006]进一步,所述助转轴承为滚珠式轴承。
[0007]进一步,所述润滑层为密封式机油环筒。
[0008]进一步,所述驱动轴套筒为钨钢合金。
[0009]进一步,所述沉积台为带有多层密封结构转动平台的凹槽式沉积容器。
[0010]本技术的有益效果在于:该驱动轴机构用于金刚石生成的过程中,整个设施结构简单、使用方便,采用联动机制将三组沉积台转动装置进行连接,能够有效提升转动扭力和所生成金刚石的沉积台的持续转动,减小转动扭力给驱动齿轮所带来的启动磨损,并且能够保证联动机制下的每个沉积台能够独立均匀生产,提升了产品加工效率,让金刚石的沉积进程更加均匀,提高了金刚石生产的加工质量,整体的密闭性更强,提高了生产的安全性,以及降低了机体的磨损性,更加安全可靠。
附图说明
[0011]图1为本技术的主视图。
[0012]图2为本技术的在金刚石生成舱体内部分布结构示意图。
[0013]其中:1、主转轴
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
2、驱动电机
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
3、沉积台转动装置
[0014]ꢀꢀꢀꢀ
4、驱动轴
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
5、定位板件
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
6、驱动齿轮
[0015]ꢀꢀꢀꢀꢀ
7、助转轴承
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
8、润滑层
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
9、驱动轴套筒
[0016]ꢀꢀꢀꢀꢀ
10、沉积台
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
11、传动齿轮
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术的具体实施方式做出简要说明。
[0018]如图1、图2所示一种用于金刚石生成的沉积台联动驱动轴机构,其特征在于:由主转轴1、驱动电机2、三个沉积台转动装置3和两个传动齿轮11组成,所述驱动电机2位于主转轴1的一端,所述驱动电机2与主转轴1为固定连接,所述三个沉积台转动装置3之间间隔相同的距离均匀分布在主转轴1的另一端,并且所述主转轴1与中间位置处的沉积台转动装置3为固定连接,任意所述沉积台转动装置3是由驱动轴4、定位板件5、驱动齿轮6、助转轴承7、润滑层8、驱动轴套筒9和沉积台10组成,所述定位板件5位于驱动轴 4靠近主转轴1和驱动电机2位置处的一端,所述定位板件5与驱动轴4为固定连接,所述驱动齿轮6位于定位板件5的一侧,所述驱动齿轮6与驱动轴4为固定连接,所述助转轴承7位于驱动齿轮6的一侧,所述助转轴承7与驱动齿轮6为固定连接,所述润滑层8位于驱动轴4的外侧,所述润滑层8与驱动轴套筒9为固定连接,所述驱动轴套筒9位于驱动轴4和润滑层8的外部,所述驱动轴套筒9的一端与定位板件5为固定连接,所述驱动轴套筒9的另一端与沉积台10为固定连接,所述沉积台10位于远离定位板件5的驱动轴套筒9的另一端,所述沉积台10与驱动轴4为固定连接,所述两个传动齿轮11分别位于三个沉积台转动装置3每两个之间的位置处,任意所述传动齿轮11的一端与其中一个沉积台转动装置3的驱动齿轮6连接,所述传动齿轮11的另一端与另外一个沉积台转动装置3 的驱动齿轮6连接。所述定位板件5为中空通体结构。所述助转轴承7为滚珠式轴承。所述润滑层8为密封式机油环筒。所述驱动轴套筒9为钨钢合金。所述沉积台10为带有多层密封结构转动平台的凹槽式沉积容器。
[0019]工作方式:该驱动轴机构用于金刚石生成的沉积台的联动,能够有效提升转动扭力和所生成金刚石的沉积台10的持续转动,整体机构主要是由主转轴1、驱动电机2、三个沉积台转动装置3和两个传动齿轮11组成,其中,主转轴1和驱动电机2全部安装在用于生成金刚石的舱体外部,主转轴1的一端与驱动电机2连接,三个沉积台转动装置3之间间隔相同的距离均匀分布在主转轴1的另一端,并且每个沉积台转动装置3是由驱动轴4、定位板件5、驱动齿轮6、助转轴承7、润滑层8、驱动轴套筒9和沉积台10组成,而驱动轴 4、定位板件5、润滑层8、驱动轴套筒9、沉积台10被安装在用于生成金刚石的舱体内部,只有驱动齿本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于金刚石生成的沉积台联动驱动轴机构,其特征在于:由主转轴、驱动电机、三个沉积台转动装置和两个传动齿轮组成,所述驱动电机位于主转轴的一端,所述驱动电机与主转轴为固定连接,所述三个沉积台转动装置之间间隔相同的距离均匀分布在主转轴的另一端,并且所述主转轴与中间位置处的沉积台转动装置为固定连接,任意所述沉积台转动装置是由驱动轴、定位板件、驱动齿轮、助转轴承、润滑层、驱动轴套筒和沉积台组成,所述定位板件位于驱动轴靠近主转轴和驱动电机位置处的一端,所述定位板件与驱动轴为固定连接,所述驱动齿轮位于定位板件的一侧,所述驱动齿轮与驱动轴为固定连接,所述助转轴承位于驱动齿轮的一侧,所述助转轴承与驱动齿轮为固定连接,所述润滑层位于驱动轴的外侧,所述润滑层与驱动轴套筒为固定连接,所述驱动轴套筒位于驱动轴和润滑层的外部,所述驱动轴套筒的一端与定位板件为固定连接,所述驱动轴套筒的另一端与沉积台为固定连接,所述沉积台...

【专利技术属性】
技术研发人员:高峰张代涛杨卫正
申请(专利权)人:天津市宝利欣超硬材料有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1