一种照射解胶设备制造技术

本发明专利技术属于晶圆加工技术领域，尤其涉及一种照射解胶设备，包括工作台、固定安装在工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在工作台上并且对应照射装置设置的照射输送装置、设置在料仓装置与照射输送装置之间转移物料的转移装置以及电控装置；照射输送装置包括固定安装在工作台上的照射输送驱动机构、固定安装在照射输送驱动机构的输出部上的载台，转移装置包括设置在料仓装置与照射输送装置之间的物料转移驱动机构、固定安装在物料转移驱动机构的输出部上的夹取机构，该照射装置、照射输送驱动机构、物料转移驱动机构及夹取机构分别与电控装置电连接。解决了人工操作解胶容易造成晶圆污染、晶圆重复解胶或漏解胶的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种照射解胶设备


[0001]本专利技术属于晶圆加工
，尤其涉及一种照射解胶设备。

技术介绍

[0002]晶圆加工时，是在晶圆框架上粘贴一层UV胶带，将晶圆粘贴到UV胶带上进行固定后再进行切割的，切割完毕后需要对UV胶带进行解胶后才能取下，在解胶前UV胶带起到固定晶圆的作用，在解胶后起到承载的作用。目前，是通过操作人员手动将抽屉式储料结构内的物料取出后放到箱式UV照射机内照射进行解胶的，照射完毕后再放回抽屉式储料结构内，人工操作很容易造成晶圆污染，也很容易造成晶圆重复解胶或漏解胶的误操作，而且UV照射的剂量、强度是人为控制的，很容易造成解胶不足或者过解胶的问题，导致解胶效果不可控。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种照射解胶设备，旨在解决人工操作解胶容易造成晶圆污染、晶圆重复解胶或漏解胶的问题。
[0004]本专利技术公开了一种照射解胶设备，所述照射解胶设备包括工作台、固定安装在所述工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在所述工作台上并且对应所述照射装置设置的照射输送装置、设置在所述料仓装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种照射解胶设备，其特征在于，包括工作台、固定安装在所述工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在所述工作台上并且对应所述照射装置设置的照射输送装置、设置在所述料仓装置与所述照射输送装置之间转移物料的转移装置以及电控装置；所述照射输送装置包括固定安装在所述工作台上的照射输送驱动机构、固定安装在所述照射输送驱动机构的输出部上的载台，所述转移装置包括设置在所述料仓装置与所述照射输送装置之间的物料转移驱动机构、固定安装在所述物料转移驱动机构的输出部上的夹取机构，所述照射装置、所述照射输送驱动机构、所述物料转移驱动机构及所述夹取机构分别与所述电控装置电连接。2.根据权利要求1所述的照射解胶设备，其特征在于，所述料仓装置包括固定安装在所述工作台上的升降驱动机构、固定安装在所述升降驱动机构的输出部上的仓体，所述升降驱动机构与所述电控装置电连接。3.根据权利要求2所述的照射解胶设备，其特征在于，所述仓体包括间隔设置的第一侧板与第二侧板、连接在的所述第一侧板与所述第二侧板的上侧之间的上连接板、连接在所述第一侧板与所述第二侧板的下侧之间的下连接板，在所述第一侧板与所述第二侧板的邻近侧上分别设有沿上下方向依次排列的多个卡槽，所述第一侧板上的多个卡槽与所述第二侧板上的多个卡槽一一对应。4.根据权利要求2所述的照射解胶设备，其特征在于，所述料仓装置还包括仓体支撑板，所述升降驱动机构设置在所述工作台与所述仓体支撑板之间，在所述仓体支撑板上对应所述仓体的四个角部处分别设有与所述仓体支撑板可拆卸连接的定位块，所述仓体放置在四个所述定位块形成的限位区域内。5.根据权利要求1所述的照射解胶设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙璞，孙有为，朱培侠，仲强，
申请(专利权)人：歌尔光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：