一种照射解胶设备制造技术

本发明专利技术属于晶圆加工技术领域，尤其涉及一种照射解胶设备，包括工作台、固定安装在工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在工作台上并且对应照射装置设置的照射输送装置、设置在料仓装置与照射输送装置之间转移物料的转移装置以及电控装置；照射输送装置包括固定安装在工作台上的照射输送驱动机构、固定安装在照射输送驱动机构的输出部上的载台，转移装置包括设置在料仓装置与照射输送装置之间的物料转移驱动机构、固定安装在物料转移驱动机构的输出部上的夹取机构，该照射装置、照射输送驱动机构、物料转移驱动机构及夹取机构分别与电控装置电连接。解决了人工操作解胶容易造成晶圆污染、晶圆重复解胶或漏解胶的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种照射解胶设备


[0001]本专利技术属于晶圆加工
，尤其涉及一种照射解胶设备。

技术介绍

[0002]晶圆加工时，是在晶圆框架上粘贴一层UV胶带，将晶圆粘贴到UV胶带上进行固定后再进行切割的，切割完毕后需要对UV胶带进行解胶后才能取下，在解胶前UV胶带起到固定晶圆的作用，在解胶后起到承载的作用。目前，是通过操作人员手动将抽屉式储料结构内的物料取出后放到箱式UV照射机内照射进行解胶的，照射完毕后再放回抽屉式储料结构内，人工操作很容易造成晶圆污染，也很容易造成晶圆重复解胶或漏解胶的误操作，而且UV照射的剂量、强度是人为控制的，很容易造成解胶不足或者过解胶的问题，导致解胶效果不可控。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种照射解胶设备，旨在解决人工操作解胶容易造成晶圆污染、晶圆重复解胶或漏解胶的问题。
[0004]本专利技术公开了一种照射解胶设备，所述照射解胶设备包括工作台、固定安装在所述工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在所述工作台上并且对应所述照射装置设置的照射输送装置、设置在所述料仓装置与所述照射输送装置之间转移物料的转移装置以及电控装置；所述照射输送装置包括固定安装在所述工作台上的照射输送驱动机构、固定安装在所述照射输送驱动机构的输出部上的载台，所述转移装置包括设置在所述料仓装置与所述照射输送装置之间的物料转移驱动机构、固定安装在所述物料转移驱动机构的输出部上的夹取机构，所述照射装置、所述照射输送驱动机构、所述物料转移驱动机构及所述夹取机构分别与所述电控装置电连接。
[0005]作为一种改进，所述料仓装置包括固定安装在所述工作台上的升降驱动机构、固定安装在所述升降驱动机构的输出部上的仓体，所述升降驱动机构与所述电控装置电连接。
[0006]作为一种改进，所述仓体包括间隔设置的第一侧板与第二侧板、连接在的所述第一侧板与所述第二侧板的上侧之间的上连接板、连接在所述第一侧板与所述第二侧板的下侧之间的下连接板，在所述第一侧板与所述第二侧板的邻近侧上分别设有沿上下方向依次排列的多个卡槽，所述第一侧板上的多个卡槽与所述第二侧板上的多个卡槽一一对应。
[0007]作为一种改进，所述料仓装置还包括仓体支撑板，所述升降驱动机构设置在所述工作台与所述仓体支撑板之间，在所述仓体支撑板上对应所述仓体的四个角部处分别设有与所述仓体支撑板可拆卸连接的定位块，所述仓体放置在四个所述定位块形成的限位区域内。
[0008]作为一种改进，所述照射装置包括呈罩状的外壳，所述外壳固定安装在所述工作台上并且所述外壳的罩口朝向下方设置，还包括对应所述外壳的罩口处设置的UV光源、安
装在所述外壳上的进气结构，所述UV光源与所述电控装置电连接。
[0009]作为一种改进，在所述外壳内设有与所述电控装置电连接的光线检测装置。
[0010]作为一种改进，在所述外壳的罩口与所述工作台之间留有间距；所述UV光源设置在所述工作台的下方，并且在所述工作台对应所述UV光源处设有照射缺口。
[0011]作为一种改进，所述载台包括固定安装在所述照射输送驱动机构的输出部上的载台支撑板、间隔设置在所述载台支撑板上的两根导轨，两根所述导轨的设置方向与所述卡槽的设置方向相同，在两根所述导轨之间设置固定安装在所述载台支撑板上的定位结构，在所述载台支撑板靠近所述定位结构的位置处设有照射孔。
[0012]作为一种改进，在两根所述导轨上靠近所述定位结构的位置处分别设有限位板，每块所述限位板与对应的所述导轨之间形成卡槽；在两根所述导轨靠近所述料仓装置的一端处分别固定安装有导向板，所述导向板与对应的所述导轨之间形成导向槽。
[0013]作为一种改进，在两根所述导轨之间设有与所述载台支撑板可拆卸连接的遮光板，在所述遮光板上设有与所述照射孔同轴的遮光板通孔，所述遮光板通孔的直径小于所述照射孔的直径。
[0014]作为一种改进，在所述工作台上固定安装有与所述电控装置电连接的扫码装置。
[0015]由于采用了上述技术方案，本专利技术的照射解胶设备包括工作台、固定安装在工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在工作台上并且对应照射装置设置的照射输送装置、设置在料仓装置与照射输送装置之间转移物料的转移装置以及电控装置；照射输送装置包括固定安装在工作台上的照射输送驱动机构、固定安装在照射输送驱动机构的输出部上的载台，转移装置包括设置在料仓装置与照射输送装置之间的物料转移驱动机构、固定安装在物料转移驱动机构的输出部上的夹取机构，该照射装置、照射输送驱动机构、物料转移驱动机构及夹取机构分别与电控装置电连接。物料放置在料仓装置内，由物料转移驱动机构驱动夹取机构移动至料仓装置处，由夹取机构将物料夹住，再由物料转移驱动机构驱动夹取机构将物料转移至照射输送装置的载台上，再由照射输送装置的照射输送驱动机构将物料输送至照射装置处进行照射解胶，解胶完毕后再由照射输送驱动机构驱动载台将解胶完毕的物料输送至靠近转移装置的位置处，再由物料转移驱动机构驱动夹取机构将解胶完的物料移动回料仓装置，整个解胶过程的取料、放料都是由设备完成的，不需要操作人员参与，能够避免晶圆污染及晶圆重复解胶或漏解胶，本专利技术实施例的照射解胶设备解决了人工操作解胶容易造成晶圆污染、晶圆重复解胶或漏解胶的问题。
附图说明
[0016]图1是本专利技术实施例的照射解胶设备的俯视结构示意图；
[0017]图2是本专利技术实施例的照射解胶设备的料仓装置的立体结构示意图；
[0018]图3是本专利技术实施例的照射解胶设备的照射输送机构的立体结构示意图；
[0019]其中，11、工作台，20、料仓装置，21、仓体，211、第一侧板，212、第二侧板，213、上连接板，214、下连接板，215、卡槽，22、升降驱动机构，23、导向机构，24、仓体支撑板，25、定位块，30、照射装置，31、外壳，32、UV光源，33、进气结构，40、照射输送驱动机构，50、载台，51、载台支撑板，52、导轨，53、晶圆框架定位柱，54、限位板，55、导向板，56、遮光板，60、物料转移驱动机构，70、夹取机构，71、夹爪气缸，72、夹持板，73、安装座，80、扫码装置，81、扫码支
架，82、扫码枪。
具体实施方式
[0020]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0021]图1至图3是本专利技术实施例的照射解胶设备的结构示意图，其中，图1示出了本专利技术实施例的照射解胶设备的俯视结构示意图，图2示出了本专利技术实施例的照射解胶设备的料仓装置的立体结构示意图，图3示出了本专利技术实施例的照射解胶设备的照射输送机构的立体结构示意图。为了便于表述，图中只给出了与本专利技术相关的部分。
[0022]由图1、图2和图3可知，该照射解胶设备包括工作台11、固定安装在工作台11上的料仓装置20和照射装置30，还包括固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种照射解胶设备，其特征在于，包括工作台、固定安装在所述工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在所述工作台上并且对应所述照射装置设置的照射输送装置、设置在所述料仓装置与所述照射输送装置之间转移物料的转移装置以及电控装置；所述照射输送装置包括固定安装在所述工作台上的照射输送驱动机构、固定安装在所述照射输送驱动机构的输出部上的载台，所述转移装置包括设置在所述料仓装置与所述照射输送装置之间的物料转移驱动机构、固定安装在所述物料转移驱动机构的输出部上的夹取机构，所述照射装置、所述照射输送驱动机构、所述物料转移驱动机构及所述夹取机构分别与所述电控装置电连接。2.根据权利要求1所述的照射解胶设备，其特征在于，所述料仓装置包括固定安装在所述工作台上的升降驱动机构、固定安装在所述升降驱动机构的输出部上的仓体，所述升降驱动机构与所述电控装置电连接。3.根据权利要求2所述的照射解胶设备，其特征在于，所述仓体包括间隔设置的第一侧板与第二侧板、连接在的所述第一侧板与所述第二侧板的上侧之间的上连接板、连接在所述第一侧板与所述第二侧板的下侧之间的下连接板，在所述第一侧板与所述第二侧板的邻近侧上分别设有沿上下方向依次排列的多个卡槽，所述第一侧板上的多个卡槽与所述第二侧板上的多个卡槽一一对应。4.根据权利要求2所述的照射解胶设备，其特征在于，所述料仓装置还包括仓体支撑板，所述升降驱动机构设置在所述工作台与所述仓体支撑板之间，在所述仓体支撑板上对应所述仓体的四个角部处分别设有与所述仓体支撑板可拆卸连接的定位块，所述仓体放置在四个所述定位块形成的限位区域内。5.根据权利要求1所述的照射解胶设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙璞，孙有为，朱培侠，仲强，
申请(专利权)人：歌尔光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：