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本发明属于晶圆加工技术领域，尤其涉及一种照射解胶设备，包括工作台、固定安装在工作台上的料仓装置和照射装置，还包括固定安装在工作台上并且对应照射装置设置的照射输送装置、设置在料仓装置与照射输送装置之间转移物料的转移装置以及电控装置；照射输送装...
该专利属于歌尔光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔光学科技有限公司授权不得商用。

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