OHT车辆控制方法以及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种OHT车辆控制方法以及装置，提出如下方案：在OHT的控制对象车辆的行驶中，根据与前行车辆的靠近距离达到而停止后，当所述前行车辆脱离靠近距离，控制对象车辆出发时，赋予缓冲距离或者缓冲等待时间，从而能够最小化轨道上的拥挤引起的车辆的出发和停车的重复。车的重复。车的重复。

【技术实现步骤摘要】
OHT车辆控制方法以及装置


[0001]本专利技术涉及OHT车辆控制方法以及装置，更详细地提出如下方案：在OHT的控制对象车辆的行驶中，根据与前行车辆的靠近距离达到而停止后，当所述前行车辆脱离靠近距离，控制对象车辆出发时，赋予缓冲距离或者缓冲等待时间，从而能够最小化轨道上的拥挤引起的车辆的出发和停车的重复。

技术介绍

[0002]半导体产品的生产工艺到成品为止执行几百工艺，在半导体制造工艺的执行过程中发生几十万件的物流移动。在这样的物流移送过程中，为了防止半导体材料的污染、损伤以及递送事故等，在半导体生产线中作为物流移送自动化系统适用OHT(Overhead Hoist Transfer；空中走行式无人搬送车)。OHT作为在诸多半导体工艺之间将物流移送自动化的系统，承担沿配置于顶棚的轨道将装载FOUP(Front Opening Unified Pod；晶圆传送盒)中的晶圆按照生产工艺向制造设备搬运的作用。
[0003]图1是示出应用OHT的物流移送自动化系统的概要性结构图。
[0004]OHT 30在设置于顶棚的轨道40上行驶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OHT车辆控制方法，其特征在于，包括：控制对象车辆停止步骤，车辆动作控制部根据与前行车辆的靠近临界距离达到，使控制对象车辆减速停止；以及控制对象车辆出发步骤，所述车辆动作控制部根据所述控制对象车辆与所述前行车辆间的间隔距离超过考虑有缓冲距离或者缓冲等待时间的出发间隔距离，使所述控制对象车辆出发。2.根据权利要求1所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，所述缓冲距离基于所述前行车辆的出发加速度而设定。3.根据权利要求1所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，在所述控制对象车辆停止步骤中，从设置在所述控制对象车辆中的前行车辆感测部接收基于设定为所述靠近临界距离的感测设定值的感测信号，使所述控制对象车辆减速停止，所述控制对象车辆出发步骤包括：从所述前行车辆感测部接收基于所述感测设定值的靠近临界距离超过的感测信号的步骤；在基于所述前行车辆的出发加速度的缓冲等待时间时段，保持所述控制对象车辆的停止的步骤；以及根据基于所述缓冲等待时间经过的所述出发间隔距离超过，使所述控制对象车辆出发的步骤。4.根据权利要求3所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，所述缓冲等待时间通过下述式1计算，其中，所述T
S
表示缓冲等待时间，所述L
S
表示缓冲距离，以及所述a
F
表示前行车辆的加速度。5.根据权利要求1所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，所述控制对象车辆停止步骤包括：从设置在所述控制对象车辆中的前行车辆感测部接收根据基于所述靠近临界距离的停止感测设定值的感测信号，使所述控制对象车辆减速停止的步骤；以及以基于在所述靠近临界距离上附加所述缓冲距离的出发间隔距离的出发感测设定值，重置所述前行车辆感测部的感测设定值的步骤，所述控制对象车辆出发步骤包括：从所述前行车辆感测部接收基于所述出发感测设定值的出发间隔距离超过的感测信号，使所述控制对象车辆出发的步骤；以及将所述前行车辆感测部的感测设定值重置为所述停止感测设定值的步骤。6.根据权利要求1所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，所述OHT车辆控制方法还包括：车辆运行开始步骤，所述车辆动作控制部从制定OHT的运行计划并使OHT车辆运行的OCS与控制对象车辆的运行命令一起接收基于所述靠近临界
距离的停止感测设定值设定命令，将前行车辆感测部的感测设定值设定为所述停止感测设定值，开始所述控制对象车辆的运行，所述控制对象车辆停止步骤包括：从所述前行车辆感测部接收基于所述停止感测设定值的靠近临界距离达到的感测信号而使所述控制对象车辆减速停止，向所述OCS传输车辆停止报告的步骤；以及从所述OCS接收基于在所述靠近临界距离上附加缓冲距离的出发间隔距离的出发感测设定值设定命令，以所述出发感测设定值重置所述前行车辆感测部的感测设定值的步骤，所述控制对象车辆出发步骤包括：从所述前行车辆感测部接收基于所述出发感测设定值的出发间隔距离超过的感测信号而使所述控制对象车辆出发，向所述OCS传输车辆出发报告的步骤；以及从所述OCS接收所述停止感测设定值设定命令，以所述停止感测设定值重置所述前行车辆感测部的感测设定值的步骤。7.根据权利要求6所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，在所述控制对象车辆停止步骤中，所述车辆动作控制部从所述OCS提取根据所述出发感测设定值设定命令持有的出发感测设定值信息，在所述控制对象车辆出发步骤中，所述车辆动作控制部从所述OCS提取根据所述停止感测设定值设定命令持有的停止感测设定值信息。8.根据权利要求6所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，在所述控制对象车辆停止步骤中，所述车辆动作控制部从所述OCS与所述出发感测设定值设定命令一起接收出发感测设定值信息，在所述控制对象车辆出发步骤中，所述车辆动作控制部从所述OCS与所述停止感测设定值设定命令一起接收停止感测设定值信息。9.根据权利要求1所述的OHT车辆控制方法，其特征在于，所述OHT车辆控制方法还包括：感测设定值设定步骤，设置在控制对象车辆中的前行车辆感测部的传感器控制部基于与前行车辆的靠近临界距离以及出发间隔距离来设定停止感测设定值以及出发感测设定值，在所述控制对象车辆停止步骤中，所述车辆...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊范，崔永才，梁东勋，金正恩，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：