刻划头及刻划装置制造方法及图纸

使得在刻划加工时不对杆施加轴交叉方向的力。本发明专利技术的刻划头(1)具备：保持器保持件(6)，其保持刻划工具(4)；气缸(3)，其使保持器保持件(6)相对于被加工物接近远离；以及支承体(7)，其支承保持器保持件(6)及气缸(3)，气缸(3)具有缸主体(3b)和轴体，该轴体从缸主体(3b)进退自如，轴体具有被相对于缸主体(3b)进行空气密封的结构，通过轴体从缸主体(3b)前进，而使得保持器保持件(6)相对于被加工物靠近，通过轴体向缸主体(3b)后退，而使得保持器保持件(6)远离被加工物，轴体的顶端与保持器保持件(6)形成为非连结，且构成为仅有沿着轴体的长度方向的力能够向保持器保持件(6)传递。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】刻划头及刻划装置
本专利技术是涉及对半导体、玻璃等的脆性材料基板进行刻划的刻划头以及使用了该刻划头的刻划装置的技术，特别涉及对载荷(力矩)沿轴交叉方向作用于使刻划工具加压的气缸的杆的情况进行抑制，而能够在脆性材料基板上准确地形成刻划线的技术。
技术介绍
以往，对于液晶显示面板、液晶投影仪基板等平板显示器等而言，在制造过程中，母玻璃基板在贴合后被截断成规定大小的面板。在截断这种母玻璃基板等脆性材料基板时，进行在基板形成刻划线(垂直裂纹)的刻划工序和使垂直裂纹完全渗透的断开工序。并且，在刻划工序中，在形成刻划线时使用了刻划头。具体而言，该刻划头具备使用了刻划轮、金刚石尖头等刻划工具。另外，刻划工具被保持器保持为使刀尖朝向下方，并被气缸朝向基板加压。也就是说，在刻划头中，使用气缸来通过刻划工具对脆性材料基板施加载荷而在脆性材料基板形成垂直裂纹。然而，最近，作为刻划对象的脆性材料基板的薄壁化不断进展，以低的接触压力即低加工压力进行刻划的情况不断增多。在这种情况下，问题在于气缸的特性。一般的气缸在缸主体与进退自如于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刻划头，其具备：保持器，其保持对被加工物进行刻划的刻划工具；保持器保持件，其在顶端设置有所述保持器；气缸，其使所述保持器保持件相对于被加工物接近；以及支承体，其支承所述保持器保持件及所述气缸，所述刻划头的特征在于，/n所述气缸具有缸主体和轴体，所述轴体在导入至所述缸主体内的空气的作用下从该缸主体进退自如，且所述轴体具有被相对于所述缸主体进行空气密封的结构，/n通过所述轴体从所述缸主体前进，而使得所述保持器保持件相对于被加工物靠近，/n所述轴体的顶端与所述保持器保持件形成为非连结，且构成为仅有沿着所述轴体的长度方向的力能够向所述保持器保持件传递。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180928 JP 2018-1846531.一种刻划头，其具备：保持器，其保持对被加工物进行刻划的刻划工具；保持器保持件，其在顶端设置有所述保持器；气缸，其使所述保持器保持件相对于被加工物接近；以及支承体，其支承所述保持器保持件及所述气缸，所述刻划头的特征在于，
所述气缸具有缸主体和轴体，所述轴体在导入至所述缸主体内的空气的作用下从该缸主体进退自如，且所述轴体具有被相对于所述缸主体进行空气密封的结构，
通过所述轴体从所述缸主体前进，而使得所述保持器保持件相对于被加工物靠近，
所述轴体的顶端与所述保持器保持件形成为非连结，且构成为仅有沿着所述轴体的长度方向的力能够向所述保持器保持件传递。


2.根据权利要求1所述的刻划头，其特征在于，
所述刻划头构成为，在面对所述轴体的一侧具有平坦的接触面，所述轴体...

【专利技术属性】
技术研发人员：中垣智贵，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP