【技术实现步骤摘要】
扩频模块及在片测试系统
本专利技术涉及微电子测试测量
，特别是涉及一种扩频模块及在片测试系统。
技术介绍
半导体的晶圆放大器测试通常会在探针台上完成高低温环境下信号的全参数测试，比如线性和非线性参数测试。传统的测试方法，在进行线性参数测试时，主要是以矢量网络分析仪为核心的在片测试系统；在进行非线性参数测试时，主要是以信号源和功率计或信号源和频谱仪为核心的在片测试系统。这类方法存在明显的弊端：首先，非线性测试方法不能将误差修正至探针尖处，因为无法进行矢量误差校准。其次，完成全参数的测试需要多次拆卸连接多套测试系统，增加测试不确定性，最大缺陷在于这类方法不能同时获得非线性测试条件下测试幅度和相位的信息。另外一种测试方法采用负载牵引(LoadPull)的在片测试方案，但是该种方案也存在明显的弊端，比如无源负载牵引测试系统核心器件是阻抗调谐器，由于阻抗调谐自身的损耗，校准结束后无法消除阻抗调谐器插损的影响，限制了测试范围，且频率越高，调谐器的损耗越大，影响越大，同时负载牵引测试只能针对某一频点进行校准，若要完成不同频率...
【技术保护点】
1.一种扩频模块，其特征在于，所述扩频模块包括：/n微波开关，第一倍频器，第二倍频器，放大器，定向耦合器，双定向耦合器，衰减器，第一混频器及第二混频器；/n所述微波开关接收激励信号及触发信号，基于所述触发信号将所述激励信号发送至所述第一倍频器或所述第二倍频器；/n所述第一倍频器连接所述微波开关的第一输出端，对所述激励信号进行倍频，得到第一倍频信号；/n所述第二倍频器连接所述微波开关的第二输出端，对所述激励信号进行倍频，得到第二倍频信号；所述放大器连接所述第二倍频器的输出端，对所述第二倍频信号进行放大；/n所述定向耦合器连接所述第一倍频器及所述放大器的输出端，将所述第一倍频器...
【技术特征摘要】
1.一种扩频模块，其特征在于，所述扩频模块包括：
微波开关，第一倍频器，第二倍频器，放大器，定向耦合器，双定向耦合器，衰减器，第一混频器及第二混频器；
所述微波开关接收激励信号及触发信号，基于所述触发信号将所述激励信号发送至所述第一倍频器或所述第二倍频器；
所述第一倍频器连接所述微波开关的第一输出端，对所述激励信号进行倍频，得到第一倍频信号；
所述第二倍频器连接所述微波开关的第二输出端，对所述激励信号进行倍频，得到第二倍频信号；所述放大器连接所述第二倍频器的输出端，对所述第二倍频信号进行放大；
所述定向耦合器连接所述第一倍频器及所述放大器的输出端，将所述第一倍频器或所述放大器的输出信号传输至所述双定向耦合器；
所述双定向耦合器将所述定向耦合器的输出信号的一部分直通输出，另一部耦合输出作为参考信号，并将所述衰减器输出的测试件的反馈信号耦合输出；
所述衰减器连接所述双定向耦合器，对所述双定向耦合器输出的所述第一倍频信号进行衰减得到用于测试的线性参数，将所述双定向耦合器输出的所述第二倍频信号的放大信号直接输出得到用于测试的非线性参数；
所述第一混频器连接所述双定向耦合器，将所述参考信号下变频，得到参考中频信号；
所述第二混频器连接所述双定向耦合器，将所述被测件的反馈信号下变频，得到测试中频信号。
2.根据权利要求1所述的扩频模块，其特征在于：所述被测件的反馈信号为所述被测件的反射信号或所述被测件输出的测试信号。
3.一种在片测试系统，其特征在于，所述在片测试系统至少包括：
矢量网络分析仪，探针台及如权利要求1或2所述的扩频模块；
所述矢量网络分析仪用于产生测试所需的激励信号并对测试中频信号进行处理；
所述扩频模块连接所述矢量网络分析仪，对所述矢量网络分析仪输出的激励信号的频率进行扩展得到用于测试的线性参数及非线性参数，并将所述被测件的反馈信号转化为测试中频信号传输至所述矢量网络分析仪；
所述探针台连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴亮，李江夏，任轩邑，高捷，袁其响，钱蓉，许东，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海明垒实业有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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