一种高效单晶硅SE-PERC电池片的制备方法技术

本发明专利技术公开一种高效单晶硅SE‑PERC电池片的制备方法，包括选取原料硅片、制绒、扩散、激光掺杂、去磷硅玻璃、沉积钝化膜、沉积钝化减反射膜、背面激光开槽、丝网印刷和烧结的步骤；其中，所述原料硅片为通过线切方法制备而成的硅片，设定所述硅片上具有的切割线纹为X向，则在所述去磷硅玻璃步骤中控制所述硅片的输送方向为Y向，所述Y向与所述X向呈夹角设置。本发明专利技术提供的制备方法可以有效提高电池片的整体转换效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高效单晶硅SE-PERC电池片的制备方法
本专利技术涉及单晶硅电池的生产制造
，尤其涉及一种高效单晶硅SE-PERC电池片的制备方法。
技术介绍
PERC电池(PassivatedEmitterandRearCell)与常规电池最大的区别为在电池背表面进行了介质膜钝化，采用局域金属接触，降低背表面复合，提高开路电压。增加背表面反射，提高短路电流，从而提高电池效率。PERC电池由于其工艺相对简单，成本增加较少，是目前和未来的主流量产工艺。PERC技术与现有产线兼容度高，易于进行产线升级，例如SE-PERC技术即在PERC技术上，进一步采用选择性发射极和局部硼掺杂，结合丝网印刷及掺杂技术实现局部开孔并形成“硼掺杂层”，从而实现0.2％-0.3％的效率提升。然而，现有的SE-PERC技术为进一步提升电池片的转换效率，扩散工艺均趋向于浅结高方阻，但是在扩散时很容易破坏PN结的完整性，提高EL发黑低效低效片的比例，进而影响整体的转换效率；而且为了降低银浆的消耗量，随着银浆网版线宽与膜厚越来越低，在现有技术的制备过程中很容易出现E本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效单晶硅SE-PERC电池片的制备方法，其特征在于，包括选取原料硅片、制绒、扩散、激光掺杂、去磷硅玻璃、沉积钝化膜、沉积钝化减反射膜、背面激光开槽、丝网印刷和烧结的步骤；/n其中，所述原料硅片为通过线切方法制备而成的硅片，设定所述硅片上具有的切割线纹为X向，则在所述去磷硅玻璃步骤中控制所述硅片的输送方向为Y向，所述Y向与所述X向呈夹角设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效单晶硅SE-PERC电池片的制备方法，其特征在于，包括选取原料硅片、制绒、扩散、激光掺杂、去磷硅玻璃、沉积钝化膜、沉积钝化减反射膜、背面激光开槽、丝网印刷和烧结的步骤；
其中，所述原料硅片为通过线切方法制备而成的硅片，设定所述硅片上具有的切割线纹为X向，则在所述去磷硅玻璃步骤中控制所述硅片的输送方向为Y向，所述Y向与所述X向呈夹角设置。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述Y向与所述X向的夹角为90°。


3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，在所述激光掺杂步骤时控制硅片上的激光图像的方向为X向，并在所述背面激光开槽时控制开槽的方向为X向，在所述丝网印刷时控制硅片上的副栅线的方向为X向。


4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述副栅线包括丝网印刷于硅片背面的铝栅线以及丝网印刷于硅片正面的细栅线。


5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述原料硅片为掺镓硅片，所述掺镓硅片的电阻率为0.3-1.1Ω·cm，优选所述掺镓硅片的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贵梅，张志敏，刘苗，
申请(专利权)人：晶澳太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13