一种晶圆探针测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆探针测试装置，包括：机台，机台设有一冲压支撑部；机台上表面转动设有一工作盘，机台下表面固定连接有一电机，电机的输出轴穿过机台延伸至上表面，电机输出轴与工作盘固定连接；工作盘上表面设有两组工位，工位均设有多个物料台；其中一组工位正上方设有一组探针，探针通过驱动组件驱动；驱动组件与冲压支撑部固定连接。驱动组件带动探针与晶圆配合，由于驱动组件设有缓冲组件，缓冲组件减小冲击带来的大量不良品以及提高测试稳定性，且工作盘设有两组工位，两组工位分工明确，一组工作，一组卸料以及装料，省时省力，提高测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆探针测试装置
本技术涉及测试装置领域，尤其涉及一种晶圆探针测试装置。
技术介绍
晶圆在完成后需要通过探针进行测试，现有探针测试都是将产品放置工位，驱动装置带动探针下行对晶圆进行测试，但是现有探针与晶圆都是刚性接触，测试过程中会产生大量的不良品。且测试完成后需要一个个将产品拿下，更换新的需要测试的产品，费时费力，测试效率低，测试稳定性差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可有效解决上述技术问题的一种晶圆探针测试装置。为了达到本技术之目的，采用如下技术方案：一种晶圆探针测试装置，包括：机台，所述机台设有一冲压支撑部；所述机台上表面转动设有一工作盘，所述机台下表面固定连接有一电机，所述电机的输出轴穿过机台延伸至上表面，所述电机输出轴与所述工作盘固定连接；所述工作盘上表面设有两组工位，所述工位均设有多个物料台；其中一组工位正上方设有一组探针，所述探针通过驱动组件驱动；所述驱动组件与所述冲压支撑部固定连接。优选的，驱动组件包括：液压缸，所述液压缸与所述冲压支撑部固定连接，所述液压缸的伸缩杆穿过冲压支撑部固定有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆探针测试装置，其特征在于，包括：机台，所述机台设有一冲压支撑部；所述机台上表面转动设有一工作盘，所述机台下表面固定连接有一电机，所述电机的输出轴穿过机台延伸至上表面，所述电机输出轴与所述工作盘固定连接；所述工作盘上表面设有两组工位，所述工位均设有多个物料台；其中一组工位正上方设有一组探针，所述探针通过驱动组件驱动；所述驱动组件与所述冲压支撑部固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆探针测试装置，其特征在于，包括：机台，所述机台设有一冲压支撑部；所述机台上表面转动设有一工作盘，所述机台下表面固定连接有一电机，所述电机的输出轴穿过机台延伸至上表面，所述电机输出轴与所述工作盘固定连接；所述工作盘上表面设有两组工位，所述工位均设有多个物料台；其中一组工位正上方设有一组探针，所述探针通过驱动组件驱动；所述驱动组件与所述冲压支撑部固定连接。


2.根据权利要求1所述的晶圆探针测试装置，其特征在于，所述驱动组件包括：液压缸，所述液压缸与所述冲压支撑部固定连接，所述液压缸的伸缩杆穿过冲压支撑部固定有一矩形压缩框；所述矩形压缩框配合有一驱动盘，所述探针固定于所述驱动盘上；所述驱动盘与所述矩形压缩框之间设有缓冲组件。


3.根据权利要求2所述的晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐峰，
申请(专利权)人：苏州崇凌信息技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32